激光传感器
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§ 4.8
激光特性 高方向性 高单色性 能量高度集中 干涉能力强
激光传感器
德西门子系列激光传感器
Leabharlann Baidu
利用激光技术可以 检测长度位移速度 转速振动表面质量 等参数
激光干涉测长技术
单频
激光干涉测长技术
被测长度计算公式
单频
L=Nλ/2=Nλ0/2n=Nkq/2n=mλ0/2nk
N －干涉信号的交变次数 λ－空气中的激光波长 λ 0 －真空中的激光波长 n －空气折射率 k －细分系数 q －细分后脉冲的长度当量q=λ0/k m －细分后接受的数m=Nk
测量误差
激光干涉测长技术
双频
被测长度计算公式
c t L N fdt fdt 2 2 0 2v 0
t
激光全息干涉测量技术
主要用于测量物体表面位移（变形）
激光衍射测量技术
被测直径计算公式
f d S
激光准直测量技术
激光特性 高方向性 高单色性 能量高度集中 干涉能力强
激光传感器
德西门子系列激光传感器
Leabharlann Baidu
利用激光技术可以 检测长度位移速度 转速振动表面质量 等参数
激光干涉测长技术
单频
激光干涉测长技术
被测长度计算公式
单频
L=Nλ/2=Nλ0/2n=Nkq/2n=mλ0/2nk
N －干涉信号的交变次数 λ－空气中的激光波长 λ 0 －真空中的激光波长 n －空气折射率 k －细分系数 q －细分后脉冲的长度当量q=λ0/k m －细分后接受的数m=Nk
测量误差
激光干涉测长技术
双频
被测长度计算公式
c t L N fdt fdt 2 2 0 2v 0
t
激光全息干涉测量技术
主要用于测量物体表面位移（变形）
激光衍射测量技术
被测直径计算公式
f d S
激光准直测量技术