FEI台式扫描电镜PHENOM(飞纳)
Phenom简易操作步骤

Phenom 飞纳 台式扫描电镜
简易操作步骤
1. 装样
将制作完成的样品用专用镊子放入样品杯
调平:顺时针方向旋低样品杯,保证样品的最高点和样品杯口平面持平; 调低:继续顺时针旋低五个刻度,即样品下降2.5mm ;
插入样品杯,试样灯亮起,关闭舱门,舱门会自动锁上。
2. 观察
在光学模式下找到要观测的样品,然后点击切换到电子模式。
调焦,辅以亮度、对比度调节,由低倍到高倍依次调节,直至获得最清晰的图片效果为止。
3. 取图
建议“高倍聚焦,低倍拍照”,即在较高倍数下调节焦距,然后保持焦距不变,缩小放大倍数拍照取图。
在setting 界面设置图像的分辨率(resolution )和图片质量(quality),修改图片名称,返回image 界面后点击拍照即可。
4. 卸样
点击image 界面的退出样品图标
,点击“√”确定,可实现舱门自动解锁,
取出样品即可。
FEI(Phenom)飞纳台式扫描电镜产品手册

FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品PHENOM TMG2飞纳台式扫描电子显微镜第二代数秒之内,遍览微观世界飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作,详情请咨询Phenom World BV中国公司:复纳科学仪器(上海)有限公司本文由深圳易商仪器有限公司/提供!数秒之内,遍览微观世界>>> 数秒之内,遍览微观世界现在,Phenom-World B.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜:Phenom G2和电镜能谱一体化的Phenom proX。
Phenom(飞纳) G2和proX 采用全新的硬件及软件架构,在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时,为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品01 自2007年美国FEI 公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来,Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格,成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。
2009年,为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发,FEI 公司与国际知名的NTS-Group 公司、Sioux 嵌入式系统公司合作,成立Phenom-World B.V.公司,专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。
Phenom G2包含两款: 专业版 G2 pro 标准版 G2 pure 主要参数:产品主要特点:◎高质量的图像◎30s 快速成像◎操作简便,结合控制旋钮和触摸显示器便可获得 高倍SEM 图像◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500 h)◎自动灯丝对中,自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节◎光学与低倍电子双重导航,想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体,无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计,对放置环境无特殊要求◎丰富的拓展模块:全景图像拼合、3D 粗糙度重 建、纤维测量系统......◎多功能样品杯选件:控温样品杯(-25~50℃)、 自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯......0220-120x (G2 pro)20x (G2 pure)80-45,000x (G2 pro)70-17,000x (G2 pure)<25nm (G2 pro)<30nm (G2 pure)5 kV <30s四分割背散射电子探测器台式电脑大小普通实验室或办公室、厂房光学显微镜:电子显微镜: 分 辨 率:加速电压:成像时间:探 测 器:主机体积:放置环境:新一代电镜能谱一体化Phenom proX 台式扫描电子显微镜电镜主要参数光学显微镜:电子显微镜:分辨率:探测器:加速电压:成像时间:主机体积:放置环境:20-120x 80-45,000x <25nm四分割背散射电子探测器5kV、10kV、15kV <30s 台式电脑大小普通实验室或办公室能谱仪主要参数探测器类型:硅漂移探测器(SDD)冷 却 方 式:无液氮Peltier 效应电制冷探测器晶体活性面积:25mm 2能量分辨率:<137eV(Mn Kα) X 射线分析模式:15kV元素探测范围:Boron(5)-Uranium(92)FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品>>> 数秒之内,遍览微观世界032012年Phenom Word BV公司推出了全世界第一款电镜能谱一体化台式扫描电镜Phenom proX系统 。
飞纳台式电镜新高度,让桌面型扫描电镜分辨率突破

飞纳台式电镜新高度,让桌面型电镜分辨率突破10 nm庆祝飞纳台式扫描电镜再创新高度,分辨率突破10 纳米,将桌面型电镜的分辨率从真正意义上提高到个位数。
飞纳电镜现已成为桌面式扫描电镜市场领导者,是主流扫描电镜厂家中,唯一只专注桌面式电镜研发的厂商。
研发的投入取得了显著的成果,飞纳电镜成为首个采用高亮度,1500 小时寿命CeB6 灯丝的厂家,一举成为主流台式扫描电镜中分辨率最高的;同时,将扫描电镜抽真空的时间缩短为15s,速度惊人;首次在扫描电镜中集成光学显微镜,方便用户获得样品台的全貌,有了它,就像有了谷歌地图,用户对样品的位置可以有清晰准确的定位,结合全自动马达样品台,查找样品某个位置快速简单。
回顾飞纳台式扫描电镜的历史:1997 年,FEI 和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务,强强联手,代表了全世界最先进的电镜技术;2006 年,FEI 成立Phenom World 公司,发布全球第一台台式扫描电子显微镜飞纳(Phenom),是一款桌面型扫描电镜,放大倍数10,000 倍;2012 年3 月,Karel.Mast 教授带领原飞利浦电镜部门精英研发出世界首台电镜能谱一体机,能谱探头从此可以安全地待在电镜外壳内部;同时推出3D 粗糙度测量等软件;2013 年4 月,Phenom World 优化CeB6 灯丝和内部防震设计,将分辨率优化到17 nm, 正式推出第三代产品,放大倍数100,000 倍,与大型钨灯丝电镜分辨率接近,同年11 月推出颗粒测量统计系统;其后不久,Phenom World 推出了新产品Phenom XL, 样品尺寸100*100 mm,可选配二次电子,拓展功能媲美大型钨灯丝电镜;同时推出了孔径测量统计系统;2015 年,PW 推出第4 代产品,分辨率达到14 纳米,放大倍数13 万倍;同年,PW 推出了世界首台荧光电镜一体机Delphi,首将关联电镜技术发展成为台式设计;飞纳,不仅仅代表着扫描电镜,更代表着一种创新精神,一种追求卓越的精神,飞纳电镜用实际成果带给人们不断的惊喜。
关注人类的健康生存——利用扫描电镜SEM有效地进行

关注人类的健康生存——利用扫描电镜(SEM)有效地进行石棉检测发布者:飞纳电镜因石棉具有耐火性,吸音性,抗拉强度和低价格,于19世纪初开采增加。
奥地利工程师 Ludwig Hatschek 发明了第一种石棉水泥,用于生产沥青,刹车片,电绝缘体,防火服,技术织物和其他日常用品,石棉开始了它的黄金世纪 。
特别是石棉材料的轻巧性和弹性,使世界各地的建筑工程和石棉水泥工厂开始了革命似的改变。
讽刺的是,在20世纪后半期,由于它的持久性而被认为是永恒的材料,但一些研究将石棉纤维释放与肺癌,间皮瘤和慢性炎症疾病(后来被称为石棉沉着病)联系在一起。
因为风蚀,火灾,建筑倒塌和材料老化会将这些纤维释放到空气中,公众开始关注使用石棉的危害,石棉材料在几个国家被禁止使用。
但已经太晚了:石棉无处不在。
据估计,1973年美国所有类型石棉的消费量为80.4万吨。
2003年,有17个国家正式禁止使用石棉材料。
迄今为止,在美国仍有1%的石棉在用于生产某些产品。
图1:该图显示了全球石棉使用的趋势。
今天,它仍然在一些国家被提取,使工人面临严重的健康威胁不同类型的石棉许多工厂持续使用石棉材料,石棉纤维的暴露对生产线上的工作人员造成了恶劣的影响。
在一些国家,石棉材料仍然大量地生产和使用,主要是用于屋顶涂层。
下表列出了六种不同种类的石棉:它们全都具有致癌性,对人类健康构成严重威胁。
图2: 表中列出了六种不同种类的石棉。
温石棉和闪石类(包括青石棉和直闪石)最为分散,不仅在建筑材料中,而且在一些织物和粘合材料中也能找到。
扫描电镜(SEM)在石棉检测中起到至关重要的作用世界各地的政府正在进行紧急开展工作,检测、识别和回收所有含石棉的瓷砖。
然而,石棉纤维的检测并不容易,必须通过复杂的分析才能确定受污染的部位。
如果怀疑存在石棉,则有专业人员配备适当的防护装备从潜在危险区域采集样品(根据具体情况采集气体或固体),并使用扫描电镜对其进行分析。
飞纳电镜 Phenom XL 在金属行业(领域)的应用

飞纳桌面型扫描电镜Phenom XL 在金属行业(领域)的应用飞纳桌面型扫描电镜Phenom XL为Phenom-World于2015年6月发布的产品。
XL 样品仓尺寸与可视范围均为100*100*60mm*,预留56个钉式样品台插口。
可以选配二次电子探头与能谱探头。
各项性能优异,自推出以来迅速得到市场认可。
下面以金属行业(领域)为例,结合飞纳桌面式扫描电镜Phenom XL在不同工作模式下的优势,讲述其应用。
桌面式电镜操作简单,维护方便。
1.金相样品背散射成像分析背散射探头成像可以显示出材料的成分衬度,但背散射探头属于被动信号采集,所以背散射成像对灯丝亮度有着极高的要求。
只有在灯丝亮度足够高的情况下才能获取良好的背散射成像照片。
图1. 为金相样品的背散射成像。
沿着箭头方向从内到外可以看到4种不同的成分衬度,且分界线非常明显。
代表这4个位置元素含量各不相同,并且沿着箭头方向,重元素占比越来越低。
图1. 金相样品背散射成像2.金相样品能谱分析得益于良好的灯丝亮度,超薄氮化硅窗口,大面积能谱活性面积,飞纳电镜PhenomXL在能谱中有着出色表现。
通过能谱面扫可以获取材料元素的分布情况,如图2所示。
可以通过能谱线扫获得线上的元素分布情况,如图3所示。
图2. 金相样品能谱面扫结果图3. 金相样品能谱面扫结果3.断口成像分析在端口分析中,背散射成像与二次电子成像各有优势。
背散射成像可以看到不同的成分衬度,且背散射成像对具有陡直的高度差的位置有着良好的成像显示。
二次电子对于起伏的细节信息更有优势。
结合种探头,可以为材料端口分析提供更多信息。
PHENOM飞纳台式扫描电镜测试申请表2014版
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客户信息
测试单位联系人姓名*:
电话*:
研究领域:
您是否使用其他电镜测试过类似样品*?
其它电镜型号:
单位*:
地址:
邮件*:
线索编号*:
销售工程师*:
样品信息(请您为我们提供以下信息,以便我们更好的为您测试样品)
样品1*
样品名称/状态:
是否需要喷金?
放大倍数有何要求?示例照片(如有请附)
样品2
样品名称/状态:
是否需要喷金?
放大倍数有何要求?(请在80-100,000倍内选择)其他要求?
示例照片(如有请附)
样品3
样品名称/状态:
是否需要喷金?
放大倍数有何要求?(请在80-100,000倍内选择)其他要求?
示例照片(如有请附)
样品是否对人体有危险*?(如果选择“是”,请指出具体危害,并确保把危害排除)*
辐射危险?
生化危险?
剧毒危险?
注:*为必填项
浅析fei扫描电镜的工作方式和操作流程
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浅析fei扫描电镜的工作方式和操作流程fei扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜,它利用电子束而不是光束来形成图像。
下面是fei扫描电镜的工作方式和操作流程的概述。
1、准备样品:首先,需要准备要观察的样品。
样品通常需要被切割、研磨、涂覆导电材料或冷冻处理等预处理步骤,以便在FE-SEM中进行观察。
样品也可以是固体、粉末、薄片、纤维等不同形式。
2、投射电子束:电子枪生成高能电子束。
这个电子束通过一个称为“透镜系统”的装置来控制和聚焦。
透镜系统由多个磁透镜组件组成,用于聚焦和形成非常小的束斑。
3、扫描样品表面:样品放置在一个可移动的样品台上。
样品台可以水平和垂直移动,以便对样品进行精确定位。
一旦样品定位正确,电子束开始在样品表面上进行扫描。
4、探测信号:当电子束照射到样品表面时,与电子相互作用的产生多种信号。
常见的信号包括二次电子和反射电子。
这些信号被称为“显微镜图像”,可以提供关于样品表面形貌、元素分布或晶体结构等信息。
5、接收和处理信号:使用一系列探测器来接收不同类型的信号,并将其转换成电子图像。
例如,二次电子探测器用于产生样品表面形貌图像,而反射电子探测器用于获取更深入的信息,如材料的组成和晶体结构。
6、形成图像:接收到的信号经过放大、滤波和数字化处理后,传送到显示器上形成图像。
通过调整扫描参数(如电子束能量、聚焦、扫描速度等),可以获得所需的图像对比度和分辨率。
7、分析和解释图像:一旦获得了图像,研究人员可以对图像进行进一步的分析和解释。
他们可以观察样品的微观结构、孔隙性质、晶体取向等,并根据需要进行定量测量和形态分析。
8、数据记录和保存:FE-SEM通常配备有数据记录和保存的功能,可以将观察到的图像和相关信息保存在计算机或其他储存设备中。
这样,研究人员可以随时回顾、比较和分享结果。
fei扫描电镜广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术等领域,帮助研究人员获得高分辨率的表面形貌和微结构信息。
操作需要一定的专业知识和技能,以确保样品的准备和操作步骤正确无误,并获得可靠和准确的显微图像。
飞纳台式扫描电镜在锂电材料形貌观察及粒径分析中的应用

飞纳台式扫描电镜在锂电材料形貌观察及粒径分析中的应用高鹏;欧阳志勇【摘要】本实验室采用飞纳台式扫描电镜对锂电正负极材料进行了形貌观察及粒径分析.结果表明,在不喷金直接观察样品的情况下,能清晰地观察材料形貌特征,并对材料粒径分布进行有效分析,为材料的筛选分类及后续电性能研究提供了指导性意见.进一步的,研究了不同材料的不同制样方法,有效地降低了人员及设备的成本,提高了材料形貌观察及粒径分析的效率.【期刊名称】《江西化工》【年(卷),期】2018(000)005【总页数】4页(P55-58)【关键词】飞纳台式扫描电镜;锂电正负极材料;形貌观察;粒径分析【作者】高鹏;欧阳志勇【作者单位】江西省锂电产品质量监督检验中心,江西宜春336000;江西省锂电产品质量监督检验中心,江西宜春336000【正文语种】中文1 前言随着能源产业的高速发展,锂离子电池以其比能量高、无记忆效应、工作电压高、环境友好、使用安全、寿命长等特点得到人们越来越多的关注。
锂离子电池是通过锂离子在正负极材料之间的嵌入/脱嵌来实现化学能与电能之间的转换,因此锂离子电池的正负极材料性能直接决定了最终锂离子电池的性能,除去正负极材料自身特性的影响,正负极材料的形貌及粒径与其电性能也有着密切的关系。
吕岩[1]等研究了D50为10μm的中间相微球、D50为10μm的层状石墨及D50为15μm的层状石墨作为负极材料时的电性能,发现同等粒径下,中间相微球较层状石墨有更好的倍率及循环性能,相同形貌下,粒径较小的石墨有更好的倍率及循环性能;邢军龙[2]等使用不同粒径前驱体合成了LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2,对其电性能进行研究发现,粒径较大的材料有更低的粉末电阻率,但其倍率和循环性能较差;刘为刚[3]通过控制钴酸锂生产过程中的合成炉温度,提高了产品粒度的均匀性,进而使产品稳定性和电性能得到了进一步的提升。
因此,科学合理地对正负极材料进行形貌观察和粒径分析,能更好地对材料进行筛选分类,为材料后续电性能的研究及应用提供有力的参考价值。
Phenom电镜用户手册

拉下关闭,注意:拇指和食指必须放在舱门外,否 则下落的舱门会夹到手指;下拉过程请稍微用力, 直接将舱门拉下,中间不要有超过 2 次的停顿
当舱门拉下时,样品会自动移动到光学成像界面 舱门会自动锁住,主机控制面板前方的关锁指示灯 会亮起 样品正确安装,准备操作
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
屏幕校准
首次启动触摸屏时可能需要校准屏幕 长按控制旋钮直至触摸屏显示为白色界面 依次用手指(或其他较软的物体尖端)点击屏幕上 出现的四个十字叉中心 如需重做校准屏幕,重复上述操作
系统状态认知
如果主机面板上的电源灯:一直持续绿色,说明系统处于可操作状态 在这种情况下如果按下电源灯上方的按钮,系统将进入待机(Standby)状态,电源灯 变成橘红色;
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
扫描电镜使用技巧 Get,有机颗粒样品分析有妙招

扫描电镜使用技巧 Get,有机颗粒样品分析有妙招飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统(Phenom Particle Metric),简称颗粒系统,由荷兰Phenom-World 公司发布于2013 年11 月。
颗粒系统通过颗粒与背景衬度的差异对颗粒进行图像识别,在获取SEM 图像的同时可以获取所有颗粒的形貌数据,例如直径、等效面积、等效体积、圆度等。
并且可以将这些数据进行统计。
颗粒探测范围:100 nm - 0.1 mm,颗粒探测速度高达1000 颗/分。
图1. Phenom Particle Metric 配置图在实际操作过程中,颗粒与背景元素差异大的颗粒可以很好的识别,但由于图像识别技术局限性,如颗粒与背景元素差异较小,例如有机颗粒,则软件难以进行有效识别,在这种情况下,我们可以采用喷金的办法人为创造出黑色颗粒边界,从而增加软件识别的准确性。
粘在导电胶表面的颗粒与导电胶之间形成空隙区,如图2 右上所示,在喷金过程中,此孔隙区无法被金覆盖。
喷金完成之后,结构示意图如图3 所示。
此时在SEM 视图下,可以清晰看到颗粒边缘的黑色边界,图4 为颗粒在喷金后阴影边界与颗粒识别案例。
识别结果证明适当喷金有利于提升颗粒系统识别的准确性。
而喷金多少呢?我们通过实践总结规律得出,喷金厚度为颗粒尺寸5 ~ 10% 范围内,可以有效增强颗粒系统识别的准确性。
图2. 颗粒样品喷金过程示意图图3. 颗粒样品喷金结果示意图图4. 喷金后阴影边界与颗粒识别案例在拍照过程中,应注意调节图像的亮度/对比度,如亮度对比度都较低,则容易造成软件识别率下降,如图5 所示。
因此,我们在实际操作过程中,可适当增大亮度,增大对比度,待颗粒周围出现明显黑色边缘时,尚可开展颗粒系统统计,如图6 所示。
图5. 亮度对比度偏小,造成识别率较低图6. 亮度对比度合适,识别率较高。
台式扫描电镜产品对比表_飞纳与日立

分辨率表征扫描电镜性能的最重要参数优于17纳米无官方数据标准金样品放大倍数80-100,000x15-30,000x见最后一页高倍照片光学放大20-120x无除光学放大之外,还可以实现样品导航电子枪灯丝用来发射电子信号,单位束斑面积内电子数目越多,则从样品表面反馈回来的电子信号越多,对样品该区域形貌的表征细节越丰富,高亮度、低色差灯丝有助于提高图像分辨率。
CeB6晶体钨灯丝CeB6晶体色差低、亮度高(单位面积产生的信号是钨灯丝10倍,如下图所示)1500 h寿命,这种灯丝要求在高真空环境下使用,然而成像又需要低真空,因此要求制造商具备顶尖的真空分离和真空封锁技术。
低亮度,40-80h寿命加速电压高加速电压可以提高分辨率,但会造成样品的损伤和穿透效应,对低原子序数样品尤为严重,真正体现扫描电镜的技术含量是低电压下仍能得到高分辨率。
5kV,10kV,15kV5kV ,15kV使用CeB6灯丝,即使在低加速电压下,图片分辨率仍很高而且细节丰富。
钨灯丝亮度低,对加速电压要求高,5kV下图像质量差台式扫描电镜对比表: Phenom飞纳 vs. 日立钨灯丝台扫蓝色部分为被观测区域产生的电子数目,电子数目越多,细节越丰富蓝色部分为被观测区域产生的电子数目,电子数目越多,细节越丰富信号探测:背散射电子探测器在15到30纳米的分辨率前提下,背散射电子和二次电子在分辨率上的优势相差不大,然而,探测背散射信号却允许设备在操作方便性,成像模式以及样品前处理方面有很多探测二次电子的设备所没有的优势四分割背散射电子探测器四分割背散射电子探测器高灵敏度的半导体探测器,优势如下:1. 背散射电子:同时提供成分和形貌信息;2. 背散射电子允许用低真空观测,奶粉样品无需喷金直接观察;3. 可直观从灰度上看到杂质;4. 不怕震动成像时间快速成像有利于提高测试效率,主要包括预抽真空时间和图像扫描时间30秒3分钟只对样品杯抽真空,预抽时间12秒;一般一小时可以观察20个样品;须对整个大样品腔抽真空;预抽时间120秒;一般一小时观察5个样品;低真空技术可实现不导电样品不喷金直接观看。
扫描电镜颗粒分析系统

散点选择的截图 4. 直接由 Phenom 获取图像,识别并确认诸如破损颗粒、附着物和外来颗粒,关联颗粒物的特征,比如直径、充
实度、纵横比和凹凸度 5. 便捷的操作提升了工作效率并使计划表简单化和可视化 6. 无限制的图像采集,可轻松存储于网络或优盘,便于共享、交流或以后参考 7. Phenom 的易用性和对环境的良好适应力,用户可以将试样最大程度视觉化 8. 附有高清图片的统计学数据。
飞纳扫描电镜颗粒系统软件 ParticleMetric 的功能
1. 可进行以下颗粒分析 颗粒尺寸范围:100nm ~ 0.1mm 颗粒探测速度:高达 1000 个/分钟 颗粒测量属性:大小、形状、数量 2. 可以测量的颗粒参数 面积、当量直径、表面积、外接圆直径、比表面积、周长、宽高比 充实度、伸长率、灰度等级、长轴长度和短轴长度(椭圆) 凸壳体、重心、像素点数、凸状物。 3. 可以提供的图形显示 按数量或体积的线性、对数、双对数点状图
配合 ParticleMetric 软件使用干粉分散器可以为用户 提供的好的颗粒分析结果。 Nebula 1 参数 粉末尺寸范围:0.1~1500μm 分散真空度范围:0~0.8Bar 压力设置精度:0.05Bar 尺寸和重量 规格:390(长)×210(宽)×350(高),8.5kg 隔膜泵:1450(长)×220(宽)×213(高),4.5kg
飞纳台式扫描电镜在锂电行业的应用
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飞纳台式扫描电镜在锂电行业的应用随着近几年扫描电镜台式化,桌面化,电镜的操作维护也越来越简便,材料研发及品质控制方面,扫描电镜的使用率越来越高。
锂电材料供应厂家在材料出厂后,材料各项指标如何,可以通过扫描电镜等仪器检测,是否在合理的波动范围内,应当有清晰的报告,并详细地告知电池厂。
电池厂可配备扫描电镜、激光粒度分析仪等齐全的检测设备,建立材料分析数据库,形成自己的评价体系,从而有足够能力选择及鉴别适合电池生产的材料。
如此,双方都能在锂电材料上把好关,创造出最佳的经济效益。
锂离子电池的四大关键材料为正极材料、负极材料、电解液以及隔膜:锂电正极材料——三元材料(测试电镜型号:飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX)钴酸锂电池的正极材料是钴酸锂LiCoO2,三元材料则是镍钴锰酸锂Li(NiCoMn)O2,三元复合正极材料前驱体产品,是以镍盐、钴盐、锰盐为原料,里面镍钴锰的比例可以根据实际需要调整,三元材料做正极的电池相对于钴酸锂电池安全性高。
10 000倍50 000倍镍钴锰氢氧化物——未喷金镍钴锰氢氧化物——喷金碳负极材料(测试电镜型号:飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX)目前已经实际用于锂离子电池的负极材料基本上都是碳素材料,如人工石墨、天然石墨、中间相碳微球,石油焦,碳纤维、热解树脂碳等。
20 000倍 5 000倍隔膜材料(测试电镜型号:飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX)隔膜的主要功能是隔离正负极并阻止电子穿过,同时能允许离子通过,从而完成在充放电过程中锂离子在正负极之间的快速传输。
隔膜性能的优劣直接影响着电池内阻、放电容量、循环使用寿命以及电池安全性能的好坏。
隔膜越薄、孔隙率越高,电池的内阻越小,高倍率放电性能就越好。
锂离子电池隔膜是一种多孔型塑料薄膜,种类包括织造膜、非织造膜(无纺布)、微孔膜、碾压膜等几类,因此成膜的孔隙率,孔洞直径及拉伸情况对产品质量至关重要。
10 000倍10 000倍2015 年是锂电行业爆发的一年,在国内GDP 增速回落、产业结构转型的大环境下,锂电产业链的整体爆发,资本竞相涌入,使其成为2015 年风口上最瞩目的行业。
利用扫描电镜全面了解样品

图 3.a 背散射成像下裂痕位置 500 X 图 3.b 背散射成像下裂痕位置 1,000 X
3
图 3.c 背散射成像下裂痕位置 2,000 X
图 3.d 背散射成像下裂痕位置 5,000 X 更高倍数下对样品进行观察,展示出镀层表面的形貌,图 4。样品表面存在黑色斑点。由于 背散射成像性质,可以推断此处成分元素较轻,也有可能为陡直的坑。分别使用背散射 Top 模式,3D 粗糙度重建系统,二次电子模式,以及能谱对此处进行深入分析。
利用扫描电镜全面了解样品
样品名称 铅电池极片框架 样品类型 金属,固体 是否喷金 未喷金 设备型号 飞纳台式扫描电镜 Phenom Pure+ 测试项目 • 扫描电镜:
背散射探头 Full 模式 Topo 模式 3D 粗糙度重建 二次电子探头 • 能谱: EDS mapping 测试目的 表面镀层质量观察 光学导航介绍 借助光学导航显微镜,可以定位到不同位置。操作人员始终明白当前样品所处的位置。对于 想观察的区域,也只需要在光学导航图上点击鼠标左键即可移动至此位置。图 1. 右上小图 中黄框代表当前照片成像位置。 借助右下方电子导航,可以在高倍数下进行更精准的位置导航。
EDS 能谱测试 EDS 能谱为了对黑斑位置进行进一步分析,我们进行 EDS 能谱 mapping 面扫。面扫显示 出黑斑位置存在 Al 元素的聚集。
总结
一些位置存在裂纹缺陷,另外一些位置镀层存在孔洞缺陷。使用不同探头成像模式对样品进 行分析。不同探头分别可以获得不同的信息。
8
图 7. 3D 粗糙度重建 二次电子成像 二次电子成像获得样品表面更为敏感的形貌信息。
6三种不同成像模式对比图 8. 样品表面图 9. 三种成像模式对比,左:BSD Full 模式;中,BSD Top 模式;右:二次电子模式
Phenom 简易用户手册介绍

调节样品的位置 通过旋转样品杯上的高度调节环钮来降低样品的高度 继续降低样品直到样品的最高面和样品杯的旋转环钮上
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
3
平面平齐 继续降低样品,使得样品最高面比样品杯旋转环钮上平面至少低 2 毫米,环钮周围
有竖直刻线,每一刻度为 0.5 毫米,要达到 2.5 毫米,需要将环钮旋转 5 格 至关重要的一点是:样品的最高面必须低于样品杯的最高面,否则样品在装进机器
的过程中会被破坏,机器也会遭到破坏,这种破坏不属于免费保修范围 请参阅详细说明书了解样品的高度不视野和分辨率的关系
当主机面板上的开锁灯亮起的时候,说明这时候打开舱 门是安全的
会亮起 样品正确安装,准备操作
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
4
用户控制界面
一般来讲,所有的控制操作方式都是一样的
轻触戒点击触摸屏上的图标即可激活此图标表示的功能 通过旋转戒者按压控制旋钮调节已激活图标代表的功能
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光学成像
当样品正确安装丏舱门正确关闭后,样品会自动移到光学成像位置 光学照相机被激活,光学像出现主观测屏幕上 优化图像
触摸戒者点击 使其激活,变成绿色,然后旋转控制旋钮来调节焦距 触摸戒者点击 在粗略聚焦和精细聚焦乊间转换, 通过按压控制旋钮也可以实现此
功能 字母 F 出现在图标上 说明当前聚焦是精细聚焦 亮度和对比度的优化调节通过选择 实现,绿色代表当前已激活的调节功能
用大拇指和弯曲的食指捏住舱门突出的把手,适当 用力将舱门完全拉上去,丌要做多次停顿。
飞纳台式扫描电镜在司法鉴定行业的应用

飞纳台式扫描电镜在司法鉴定行业的应用电镜能谱一体机在司法鉴定行业发挥着不可忽视的作用,它具有快速简便、取材少、无损检测、放大倍数高、景深大等一系列优点,成为刑事技术检验的重要工具。
随着犯罪分子反侦查技术的不断提高,作案手段呈现多样化、智能化、高科技含量化发展趋势,犯罪分子可以通过人为地伪装、伪造现场、毁灭证据等手段,掩盖或破坏犯罪现场,使刑事侦查难上加难。
为此,我们有必要借助某些高科技设备,来赢得这场较量,还原事实的真相,作出公正的判罚。
本文举例介绍飞纳台式扫描电子显微镜在司法鉴定行业中的应用,飞纳台式扫描电子显微镜是一款小型电镜,桌面式设计,操作简单,维护方便。
(注:以下根据真实案例改编)浙江省某交通事故案件起因:王某、李某、赵某分别是三个货车司机,为方便描述,分别将他们各自驾驶的货车编号A、B、C。
2014 年7 月15 日晚,王某驾驶自己的货车A 正在320 国道上行驶,在行驶到一个拐弯的地方,突然前方同样驶来一辆大货车,王某猛打方向盘但为时已晚,还是躲闪不及,导致王某翻车造成重伤,而这辆肇事货车随后则驾车逃逸。
接到报警后,警方根据监控录像锁定了李某的嫌疑车辆B,车辆上存在一定刮擦痕迹,而车主李某辩称自己的车辆确实发生过刮擦,但是并非7 月15 日晚发生的刮擦,而是7 月14 日晚与赵某的货车C 在另外一个地点发生的刮擦,事发后双方经友好协商已经处理完毕了,对于王某的情况一无所知,坚决否认王某货车A 上的刮擦是自己造成的。
对于李某的陈述,警方随后找到事发时货车C 的驾驶员赵某确认此事,得到了赵某的肯定答复。
面对王某几十万元的高额医疗手术费,李某到底该不该承担一定责任,王某的家属和李某意见不一,双方就此问题争执不下。
案情分析:要明确这个问题,首先要回到案情本身。
究竟是李某的刮擦碰撞导致王某的翻车还是王某自己驾车不慎,过弯道速度太快导致的翻车呢?显然,如果是前者,按照法律规定,李某确实需要负一定的法律责任;而如果是后者,则跟李某完全没有关系,自然也就不用承担责任。
FEI台式扫描电镜Phenom 中文手册

科研实验室 由于使用简便、价格低廉,Phenom 非常适 于应用于科学研究。技术专家们在开发创新 产品和系统时,可利用 Phenom 的解析能力 和宽泛的景深清晰地显现新材料的特征。
主屏
存档屏
Phenom 投资回报快 Phenom的价格与中档光学显微镜相仿,但性能则 远超其上。只要花上雇请外单位做电镜花费的一部 分,就可以把人人都可以使用的高分辨率成像系统 带回家。
制药行业 随着制药和化学行业临界尺寸的持续变小, 光学显微镜的解析能力已不能满足需要。 Phenom 分辨率达 30 nm,可为清晰地确认 和比较新剂型中微粒或沉淀物的形貌。
制造工序及质量控制 Phenom 的高分辨率成像使工序和质量控 制检查中的差错探测变得更容易。其宽泛的
景深范围可以看到在光学显微镜下不可见的 新物质和化合物。制造商转向更小尺寸时, 由 Phenom 得到的图像可帮助得到新的加工 参数。
“用心想像,用 Phenom 观量”
Phenom的事实 • 置于桌面上 • 20 到 20,000 的放大倍数 • 毫米到微米尺度均可成像 • 易操作 • 处理量大 • 单位图像价格低廉,操作成本低 • 无需其它辅助设备
实际应用的完美伴侣
冶金应用 Phenom 将冶金成像带到一个新的清晰度水 平。Phenom 可用来对金属作微结构分析, 发现热处理后发生的变更,确定成分和应力 分布。Phenom 光学彩色图像可作为参考 图像。对于 3D 物体的失效分析,Phenom 的大景深使断裂起源和疲劳特征都能够显示 出来。
规格表飞纳台式扫描电子显微镜

针尖
只需点击对应按钮,即可实现从光学模式到电镜模式的快速切 换。装载样品后,只需 30 秒就可以获得高分辨率扫描电镜 图像。存储图像方便,可以存储于 U 盘或者网络,用于离线 分析和共享。 独特的永不丢失导航使用户可以始终知道样品上的各个位置。光 学导航图和电镜导航图可以为用户持续提供参照,便于选择最佳 观测位置。点击屏幕中感兴趣的位置,即可轻松地实现样品移 动。自动马达样品台会持续工作,直到移动到目标位置。
3D 粗糙度重建系统
纤维统计分析测量 系统 颗粒统计分析测量 系统 孔径统计分析测量 系统
• 基于“阴影复形”(shape from shading)技术,无需倾斜旋转样品
• 实现快速重建
• 快速自动采集、统计数据 • 可以大范围地测量纤维孔径
• 快速自动采集、统计数据 • 给出颗粒及颗粒分布的数据
系统规格参数
系统
• 成像模块 • 19” 显示器 • 控制旋钮 • 隔膜泵 • 电源 • 存储数据用的 U 盘
尺寸 & 重量 • 主机 • 隔膜泵 • 电源 • 显示器
286(w) x 566(d) x 495(h) mm, 50 kg 145(w) x 220(d) x 213(h) mm, 4.5 kg 156(w) x 300(d) x 74(h) mm, 3 kg 375(w) x 203(d) x 395(h) mm, 7.9 kg
网址: 邮箱:info@ 电话:400 857 8882
环境条件 • 温度 • 湿度 • 电源
15°C ~ 30°C (59°F ~ 86°F) < 80 % RH 单相交流电 110 - 240 V 50/60 Hz, 300 W (最大功率)
扫描电镜哪家好

扫描电镜哪家好
扫描电镜较好的厂家有北京达昱科仪科技有限公司、郑州予达仪器科技有限公司、上海荣皋激光学元件有限公司、复纳科学仪器上海有限公司、上海机电科技有限公司。
1、郑州予达仪器科技有限公司
郑州予达仪器科技有限公司是重点开发、生产、销售、生物化工仪器、药厂制药仪器、科研教学仪器的专业生产厂家。
主营产品:高压反应釜,玻璃反应釜,无油隔膜真空泵。
业务范围:化工成套设备。
2、上海荣皋激光学元件有限公司
荣皋激光下设有:特种精密加工部、光学部、激光设备及配件部、激光礼品部。
上海荣皋激光成立于2000年,公司内部的技术人员全为高级工程师,主营产品:0.01微孔加工,激光刻字加工打标,不锈钢微孔加工。
业务范围:其他仪器仪表。
3、复纳科学仪器上海有限公司
专业研发并生产Phenom(飞纳)系列台式扫描电镜。
Phenom(飞纳)台式扫描电镜具有45,000×放大倍数,10秒快速抽真空,Phenom(飞纳)台式扫描电镜的一系列产品及相关领域的配件,可应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
4、上海机电科技有限公司
机电产品领域内的技术开发、技术咨询,机电产品及配件的安装及维修,销售仪器仪表及配件、自动化控制设备及配件、电线电缆、电子产品、家用电器、五金交电、电脑及配件、金属材料、汽车配件、化工产品。
5、北京达昱科仪科技有限公司
公司主要从事电子显微镜以及半导体行业的相关耗材及设备买卖及技术支持。
同时也合作开发及代理了各种实验室仪器设备(清洗机系列,电炉系列,干燥箱系列、电子天平等)、医疗设备、化学试剂、光掩模BLANK、LED产品、与设备翻修服务。
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成份模式成像原理: 4块背散射探测 器扇区所得的信号相叠加。
形貌模式成像原理: 4块背散射探测器扇 区分为相对的两组,所得的信号相减。
5
成份模式图像
形貌模式图像
包含样品成份与形貌信息
仅突出样品表面形貌特征
高亮度 & 长寿命 CeB6 灯丝
Phenom采用CeB6灯丝,不仅亮度为钨灯丝的10倍,为您提 供更高的图像对比度,寿命更是长达1500小时,为钨灯丝的 15-40倍,可正常使用2-4年无需更换灯丝,免去了您频繁更 换灯丝的麻烦,保证工作进度。
空气过滤网SEM图像
左:纤维系统自动进行纤维直径及孔径的测量
右:左图中纤维尺寸的分布柱状统计图。用 户可以对统计图坐标进行调整。纤维的最小、 最大及平均尺寸均显示在图片下方。
应用示例
齿轮
木炭 10
球形石墨
金属滤网
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
应用示例
11
卵壳内侧
过滤纤维
Phenom 采 用 4 扇 区 式 背 散 射 电子探测器,为您提供两种成 像模式:
• 成份模式(Full mode):同 时给出样品表面形貌与成份 信息,不同元素可由其对比 度的不同加以分辨。
• 形貌模式(Topographical mode):在图像中去除了成 份不同所造成的差异,强化 样品的3D信息,使样品表面 的凹凸起伏等微观结构更加 明晰。尤其适用于表面粗糙 度和缺陷分析。
操作简便,全程导航
Phenom直观的用户界面、简便的触摸屏控制,以及各项自 动调节功能,使用户仅需极少的培训,就可以得到高质量的 图像。独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降 低到类似于光学显微镜的水平,使更多用户可以轻松操作。
• 自动聚焦
点击自动聚焦按钮,Phenom将自动进行聚焦,轻松得 到清晰图像。也可根据用户喜好,进行手动聚焦,精细 调节。
主要参数
• 放大倍数:24-24,000x • 分 辨 率:30nm • 成像时间:<30s • 主机体积:台式电脑大小 • 放置环境:普通实验室或办公室
主要特点
• 高质量的图像 • 30秒快速成像 • 多种自动调节功能,操作简便 • 全程导航功能 • 可直接观察不导电样品 • 兼得样品表面形貌与成份信息 • 长寿命高亮度灯丝 • 远程检测功能 • 丰富的拓展模块:全景图像拼合、 3D重建、纤维测量系统……
环境适应性高,完全防震
Phenom可以放置在几乎任意的室内环境当中,无需超净间。 各主要部件相互固定在一起,震动不会引起各固件之间的相对 运动,使得Phenom成像不受震动影响。
CeB6灯丝
远程检测功能
Phenom 拥 有 远 程 检 测 功 能,通过网络,专业工程 师可随时为您远程检测系 统、答疑解难,为您提供 全方位的保护,让您的 Phenom 随 时 处 于asureIT
Phenom Pro Suite应用模块中的远程控制界面使 得用户可以在不同地点对Phenom进行远程操作, 您也可以在报告中实时演示Phenom中的图像;也 为在不同地点的同事之间的合作提供了便利。
对图像进行各种离线处理和测量。
3D粗糙度重建
3D 粗 糙 度 重 建 摸 块 ( 3D Roughness Reconstruction ) 是 Phenom 台 式 扫 描 电 镜 所 独有的强大图像处理工具。借助3D粗糙度重建 模块,Phenom可以产生样品的3D还原图,对 其进行任意旋转,并进行亚微米量级的粗糙度 测量,帮助用户更加细致的分析样品形貌。
最大样品尺寸:直径:25mm;高30mm
金相样品杯
降低充电效应金像样品杯
在显微图像观测中,获得表面平滑的样品的常
适用于金相研究中不导电样品的直接观测。获
6
规办法是镶嵌和抛光等技术。金相样品杯可用
得样品的原始形貌和成份信息。
于观测镶嵌在树脂等材料中的样品。
最大样品尺寸:直径:32mm;高30mm
最大样品尺寸:直径:32mm;高30mm
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
PHENOMTM 飞纳
台式扫描电子显微镜
数秒之内,遍览世界
Phenom将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的高效率 详情请联系Phenom World BV中国总代理Quantum Design 中国子公司
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
系统控制钮
触摸屏
装样间
样品杯
U盘存储器
旋转手柄
1
数秒之内,
遍览世界
在当今计量临界尺寸降到纳米量级的 形势下,如何保持行业领先地位和竞 争力?一直以来,FEI 以向各行各业 提供最高分辨率的成像和分析工具, 致力于新领域的开拓。现在,我们自 豪地向您介绍 Phenom,一款能为显 微领域带来新视野的成像工具。在此 以前,以如此低的价位实现如此高水 平的图像质量、分辨率和样品处理率, 是根本不可能的。Phenom 使高端成 像成为所有人都能负担起的现实。
FEI 远程服务 工程师
互 联 网
防火墙 安全入口 防火墙
防火墙
适用于不同领域的样品杯
标准样品杯
适用于30nm高分辨率成像,不仅适用于粉末 ,薄膜,同时适用于不规则形状的三维样品。
最大样品尺寸:直径:25mm;高30mm
降低充电效应样品杯
无需喷金,可以直接观察不导电样品,从而获 得样品的原始形貌和成份信息。
• 自动亮度对比度调节
点击自动调节亮度对比度按钮,Phenom将自动进行亮 度、对比度调节。也可根据用户喜好,进行手动调节。
• 自动灯丝对中调节
Phenom可通过调节线圈电流进行灯丝对中,无需进行 机械调节。
Phenom操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成 图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。 界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口,方便用 户在不同样品、不同区域间进行切换。
• 自动样品台
Phenom采用自动样品台,配合触摸屏,通过点击屏幕 上希望观测的区域,即可轻松移动样品,移动范围 36mm x 36mm。
• 全程导航
Phenom独有的光学导航功能,为您全程提供整个样品
Phenom独有的光学导航和低倍SEM导航窗口,导 航窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的观测区
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的导航图像,点击导航图像上感兴趣的区域即可准确移
最大样品尺寸:直径10mm;长度100mm 倾斜角度:-5° ~+40° 旋转角度:+/- 35°
X-断面观测插件
适合于涂层以及多层半导体器 件等断口、断面的观测。与传 统的耗时又费钱的树脂镶嵌相 比,这种办法简单而快速,且 不需要螺丝等其它工具来固定 样品。
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
纤维系统
纤维系统使得直接观察和测量微米、纳米纤维 变得前所未有的快捷、简单。结合Phenom台 式扫描电子显微镜,纤维系统可以使您获得微 米、纳米纤维的精确尺寸信息。
纤维系统的自动图像表征功能可以在几秒内完 成数百次测量,提供更加精确的数据。与以往 耗时费力且精确度难以保证的手动测量相比, 纤维系统将为您节省大量时间、精力,给您最 大的回报。
适用领域:
• 纹理分析
• 缺陷&失效分析
• 摩擦学-磨损分析
• 机械加工的质量控制
• 证物鉴定 ……
主要特点:
• 自动创建3D图像 - 全3D图像
钻头表面SEM图像,放大倍数600x。图像中可以看到钻 头表面磨损所致的纹理,但由于为2D图像,纹理的起伏 不够直观,无法进行较为精确的测量。
- 2D或3D图像,通过颜色指示高度
利用标准样品杯(上图)与降低充电效应样品杯(下图)得到的头发图像
降低充电效应样品杯
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品
成份 & 表面形貌两种成像模式
Phenom选择背散射电子成像 。背散射电子的产率、出射角 度,与样品成份和表面形貌息 息相关,因而可以同时给出样 品成份和形貌信息。
丰富的拓展功能:Phenom Pro Suite应用模块
Phenom Pro Suite是专为Phenom台式扫描电子显微镜 设计的应用模块,其开发目的是使用户可以从Phenom的 SEM图像中提取更多信息,拓展Phenom的应用,满足特 定的用户需求。
标准组件: • 自动全景图像拼合 • 远程控制界面 • MeasureIT
• 探测背散射电子,展现清晰形貌结 构的同时,提供丰富的成份信息。
• 低加速电压,电子穿透深度浅,避 免样品的破坏,展现更多表面细节。
传统SEM在15kV加速电压下得到的 海藻图像,电子穿透效应非常严重。
Phenom得到的海藻图像
30秒快速成像
Phenom采用专利真空技术,独特的样品杯和 低真空设计,为您省去了大量抽真空的时间。 装入样品后30秒钟内即可得到高质量图像,耗 时仅为传统电镜的1/10左右,将极大的提高您 的工作效率。
适用领域:
• 过滤网膜 • 织物 • 造纸 ……
纤维系统用户界面,图中显示了纤维及孔径测量
主要特点:
• 自动测量,几秒内完成数百次测量,
节省时间
• 每张图片测量1-1000组数据自动生成
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统计数据
• 可以观察和测量从纳米到微米量级的
纤维 • 同Phenom连接,可进行实时测量
• 数据可以标准格式导出
微型电子器件插件
采用特制夹具将微型电子器件 、太阳能电池以及其他晶片状 材料固定在样品杯中,使其免 遭到破坏。测试后,样品可以 完好无损的取下,重新回到制 备环节中去,或者参与其他损 耗检测。
微型工具样品杯