FEI(Phenom)飞纳台式扫描电镜产品手册

FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品

PHENOM TM

G2

飞纳台式扫描电子显微镜第二代

数秒之内，遍览微观世界

飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作，详情请咨询Phenom World BV

中国公司：复纳科学仪器（上海）有限公司

本文由深圳易商仪器有限公司/提供！

数

秒之内，遍览微观世界

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现在，Phenom-World B.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜：Phenom G2和电镜能谱一体化的Phenom proX。

Phenom(飞纳) G2和proX 采用全新的硬件及软件架构，在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时，为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。

FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品

01

自2007年美国FEI 公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来，Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格，成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。

2009年，为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发，FEI 公司与国际知名的NTS-Group 公司、Sioux 嵌入式系统公司合作，成立Phenom-World B.V.公司，专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。

Phenom G2包含两款： 专业版 G2 pro 标准版 G2 pure 主要参数:

产品主要特点:

◎高质量的图像◎30s 快速成像

◎操作简便，结合控制旋钮和触摸显示器便可获得 高倍SEM 图像

◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500 h)◎自动灯丝对中，自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节

◎光学与低倍电子双重导航，想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体，无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计，对放置环境无特殊要求

◎丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D 粗糙度重 建、纤维测量系统......

◎多功能样品杯选件：控温样品杯（-25~50℃）、 自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯

......

02

20-120x (G2 pro)20x (G2 pure)

80-45,000x (G2 pro)70-17,000x (G2 pure)<25nm (G2 pro)<30nm (G2 pure)

5 kV <30s

四分割背散射电子探测器台式电脑大小

普通实验室或办公室、厂房

光学显微镜：

电子显微镜： 分 辨 率：

加速电压：成像时间：探 测 器：主机体积：放置环境：

新一代电镜能谱一体化

Phenom proX 台式扫描电子显微镜

电镜主要参数

光学显微镜：电子显微镜：分辨率：探

测

器：加速电压：成像时间：主机体积：放置环境：20-120x 80-45,000x <25nm

四分割背散射电子探测器

5kV、10kV、15kV <30s 台式电脑大小普通实验室或办公室

能谱仪主要参数

探测器类型：硅漂移探测器（SDD）冷 却 方 式：无液氮Peltier 效应电制冷探测器晶体活性面积：25mm 2能量分辨率：<137eV（Mn Kα） X 射线分析模式：15kV

元素探测范围：Boron（5）-Uranium（92）

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03

2012年Phenom Word BV公司推出了全世界第一款电镜能谱一体化台式扫描电镜Phenom proX系统 。Phenom proX 的能谱仪(EDS)完全嵌入在电镜主机中，集成的能谱仪采用半导体制冷技术，无需额外冷却设备。Phenom proX继承了Phenom系列产品简单易用、低维护成本的优点。

◎自动可靠的元素识别

集成EDS的Phenom proX操作界面，点击您感兴趣的样品位置，即可完成元素的定性定量分析。 元素分析软件提供基本分析模式和高级

分析模式，用户根据测试需要进行选择。

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FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品

◎高质量的图像

Phenom（飞纳）G2采用低加速电压（5kV）、低真空度（0.1mBar）、高灵敏度背散射电子探测器与长寿命高亮度低色差CeB6灯丝的最优化组合，为您提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像：

◎20x-45,000x 连续放大，分辨率<25nm，令人惊叹的大景深。

◎探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

◎低加速电压，电子穿透深度浅，避免样品的破坏，展现更多表面细节。

Phenom（飞纳）专利样品杯和低真空设计，装入样品后30秒钟内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右， 为您省去了大量抽真空的

时间，极大的提高您的工作效率。

ZnO（复旦大学）

金属锡球图像

传统SEM

在15kV 加速电压下得到的海藻图像，电子穿透效应非常严重。

Phenom（飞纳）5kV 加速电压下得到的海藻图像。

◎30秒快速成像

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◎操作简便，全程导航

Phenom 独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降低到类似于光学显微镜的水平，使更多用户可以轻松使用。Phenom（飞纳）直观的导航界面，用户经过半小时培训即可得到高质量的图像。

◎直接观测不导电样品

利用标准样品杯（上图）与降低荷电效应样品杯（下图）得到的头发图像降低荷电效应样品杯

利用控制旋钮和触摸屏您可以完成以下操作◎自动/手动聚焦

◎自动/手动亮度对比度调节◎自动/手动灯丝对中调节◎自动样品移动

Phenom （飞纳）采用马达驱动样品台，点击屏幕上希望观测的区域，即可轻松移动样品。◎全程导航

Phenom （飞纳）独有的光学/低倍SEM 导航功能，为您全程提供整个/局部样品的导航图像，点击您感兴趣的区域即可准确移动样品，不必再频繁的缩小、放大图像，方便您在不同样品、不同区域之间切换，轻松实现想看哪里

点哪里。

Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM 导航窗口，

方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。

Phenom 独有的光学导航和低倍SEM 导航窗口，导航窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的观测区域。Phenom 结合控制旋钮和触摸显示屏调节SEM

图像

06

Phenom （飞纳）采用低真空技术，背散射电子成像，可以有效抑制荷电效应的产生，使得直接观测各种不导电样品成为可能，免去了耗时费力的样品预处理过程。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右。