【国家自然科学基金】_薄膜淀积_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140803

2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
科研热词 推荐指数 化学气相淀积 3 金属有机物化学气相淀积 2 能量色散谱仪 2 碳化硅 2 热退火 2 氧化锌 2 扩散 2 原子力显微镜 2 x射线衍射 2 x射线双晶衍射 2 gan 2 高介电常数(high-k)栅介质 1 非晶态半导体 1 霍尔测试 1 阴极射线发光 1 镁掺杂 1 锰掺杂氮化稼 1 锐钛矿 1 锌源 1 铟镓氮 1 铁电 1 金红石 1 金属有机化学气相淀积 1 金属in 1 金属 1 遗传算法 1 透射电子显微镜 1 退火 1 计算流体力学 1 计算机模拟 1 表面形貌 1 薄膜 1 蒙特卡洛 1 膜厚 1 脉冲激光淀积 1 聚合物 1 结构各向异性 1 纳米硅 1 紫外可见光吸收谱 1 等离激子 1 稀磁半导体gamnn材料 1 离子注入 1 磁控溅射 1 磁性 1 硅薄膜 1 电学特性 1 理论模型 1 激光晶化 1 深能级 1 洛伦兹振子模型 1 氮化镓 1 氧气流量 1
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氧化锌薄膜 气体传感器 有机化学气相淀积 晶格应变 无水硝酸盐 掺杂浓度 掠入射x射线衍射 微电机系统 微电子机械系统 异质外延 射频 多晶硅纳米薄膜 场发射 各向异性 反射 参数提取 压阻式 压电 化学浴淀积法 化学气相沉积(cvd) 化学气相沉积 内应力 光致体积变化 光电特性 光栅 光折变效应 偏振光致发光 低温生长 位错 串联电容式rf mems开关 串联电容式 x射线衍射光谱 x射线光电子谱 tio2 sige超高真空化学气相淀积 si1-xgex∶c合金薄膜 si1-xgex:c合金薄膜 raman散射 pzt m面gan mocvd mg掺杂 in分凝 ge薄膜 cds纳米晶薄膜 as2s8半导体薄膜 algan薄膜
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52
科研热词 化学气相淀积 阴极荧光 异质外延 原子层淀积 4h-sic薄膜 高介电常数 锗金属氧化物半导体 银 铪铝氧介质 退火气氛 被动锁模 表面形貌 脉冲激光沉积 能隙 结晶质量 线阵列 纳米薄膜 粗糙度 磁控溅射法 碳纳米管 相结构 界面层 电致发光 电极 电容-电压特性 生长速率 生长温度 环形光子晶体器件 牺牲层 热化学气相淀积 灵敏度 激光技术 淀积后退火 氮化镓 氮化铝 氧化钛铪 工艺设计 射频磁控溅射 密封腔 多晶硅 场发射特性 喇曼散射 发光中心 反应室压力 原子力显微镜 压力传感器 保型性 二氧化钛薄膜 yag激光器 x射线衍射 x射线光电子能谱 si1-xgex
推荐指数 5 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2010年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43
2011年 科研热词 推荐指数 序号 非晶硅(a-si),退火,红外透射,释h_2 1 1 阻变存储器 1 2 阻值窗口 1 3 银掺杂 1 4 薄膜光学 1 5 膜厚控制 抗反射(ar)镀膜 反射光谱 1 等离子体增强化学气相淀积(pecvd) 6 能隙 1 7 纳米结构铁电膜 1 8 稳定性 1 9 硼化锆(zrb2) 1 10 硼化铪(hfb2) 1 11 硼化钛(tib2) 1 12 硫系相变材料 1 13 生长温度 1 14 溅射 1 15 深能级缺陷 1 16 氧化镍 1 17 村底 1 18 晶粒界 1 19 微结构 1 20 工艺控制 1 21 射频磁控溅射 1 22 密度泛函理论 1 23 原子层淀积 1 24 化学气相淀积(cvd) 1 25 光致发光 1 26 光致亲水性能 1 27 光电特性 1 28 光电性能 1 29 光学特性 1 30 光学性质 1 31 低压化学气相沉积 1 32 介电和铁电性能 1 33 二氧化钛薄膜 1 34 zno多晶薄膜 1 35 sicge薄膜 1 36 p型zno薄膜 1 mocvd 1 ge2sb2te5 1 ge1sb2te4 1 gamnn 1 batio3 1 a12o3薄膜 1
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si/sinx多量子阱 nd mim电容 ingan ingaasp多量子阱 hfo2薄膜 ge薄膜 ge/sio2 c缓冲层 c/sio2 aln/si(111)复合衬底 ain/si(111)复合衬底
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