《单晶培养技术》PPT课件
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第4章单晶材料制备ppt课件
晶体大小<0.5 mm
数据处理与结构精修
已收到的衍射点: HK L ; I -1 2 4 ; 3678 -2 0 2 ; 2354 1 2 -4 ; 3496
结构解析 Cycle 2 : R1 = 11.28% Cycle 3 : R1 = 8.49% Cycle 4 : R1 = 7.21% Cycle 5 : R1 = 5.73% (final refined structure)
熔体过冷或者溶液过饱和后不能立即成核的主要障碍是生成晶核时 要出现液-固界面,为此需要提供界面能。如果成核依附于已有的界 面上(如容器壁、杂质颗粒、结构缺陷、气泡、成核剂等)形成, 则高能量的液-固界面能就被低能量的晶核与成核基体之间的界面所 取代。显然,这种界面代换比界面的生成所需要的能量要少得多。 因此,成核基体的存在可大大降低成核位垒,使成核能在较小的过 冷度下进行。这种情况下,成核过程将不再均匀地分布在整个系统 内,故常被称为非均匀成核。
单晶的制备方法通常可以分为气相生长、溶液生长、熔体生 长和固相生长等四大类。
相变
成核
4.1 晶体形成的科学
❖ 相变过程和结晶的驱动力 ❖ 成核 ❖ 生长
❖ 相变过程和结晶的驱动力
➢ 气相生长:当蒸气压达到饱和状态时,体系才能由气相转 变为晶相。衡量相变驱动力大小的量是体系蒸气压的过饱 和度
➢ 熔体生长:液-固相变的驱动力是过冷度 ➢ 溶液生长:液-固相变的驱动力是过饱和度
SC-XRD能得到什么?
小分子
三维结构
精确的键长 120° 键角数据
活性位点的形 状和化学结构
蛋白质的三维结构/ 折叠
蛋白质晶体结构
分支学科——化学晶体学
化学晶体学 Chemical Crystallography
半导体第三讲:单晶硅生长技术、工艺、设备培训课件
2022/5/2
采用钕铁硼永磁体向熔硅所在空间中引入 Cusp磁场后,当坩埚边缘磁感应强度达到 0.15T时,熔硅中杂质输运受到扩散控制, 熔硅自由表面观察到明显的表面张力对流, 单晶硅的纵向、径向电阻率均匀性得到改 善。
2022/5/2
氧浓度的控制
在直拉单晶硅生长过程中, 由于石英坩埚的 溶解, 一部分氧通常会进入到单晶硅中, 这些 氧主要存在于硅晶格的间隙位置。当间隙 氧的浓度超过某一温度下氧在硅中的溶解 度时, 间隙氧就会在单晶硅中沉淀下来, 形成 单晶硅中常见的氧沉淀缺陷。如果不对硅 片中的氧沉淀进行控制, 将会对集成电路造 成危害。
2022/5/2
由于生长过程中熔区始终处于悬浮状态, 不与任何物质接触,生长过程中的杂质分凝 效应和蒸发效应显著等原因, 因此产品纯度 高, 各项性能好。
但由于其生产成本高, 对设备和技术的 要求较为苛刻, 所以一般仅用于军工。太空 等高要求硅片的生长。
2022/5/2
Fz单晶的氧含量比直拉硅单晶的氧含量 低2~3个数量级,这一方面不会产生由氧 形成的施主与沉积物,但其机械强度却不 如直拉单晶硅,在器件制备过程中容易产 生翘曲和缺陷。在Fz单晶中掺入氮可提高 其强度。
2022/5/2
对1000 ℃、1100℃退火后的掺氮直拉硅中 氧沉淀的尺寸分布进行的研究表明,随着 退火时间的延长,小尺寸的氧沉淀逐渐减 少,而大尺寸的氧沉淀逐渐增多。氮浓度 越高或退火温度越高, 氧沉淀的熟化过程进 行得越快。
2022/5/2
区熔(FZ )法生长硅单晶
无坩埚悬浮区熔法。 原理:在气氛或真空的炉室中,利用高频
另一方面,热屏起到了氩气导流作用。在敞开 系统中,氩气流形成漩涡,增加了炉内气氛流 的的不稳定性,氩气对晶体的直接冷却能力弱, 不利于生长出无位错单晶。增加热屏后,漩涡 消失,氩气流速增加,对晶体的直接冷却和溶 液界面吹拂能力加强。
采用钕铁硼永磁体向熔硅所在空间中引入 Cusp磁场后,当坩埚边缘磁感应强度达到 0.15T时,熔硅中杂质输运受到扩散控制, 熔硅自由表面观察到明显的表面张力对流, 单晶硅的纵向、径向电阻率均匀性得到改 善。
2022/5/2
氧浓度的控制
在直拉单晶硅生长过程中, 由于石英坩埚的 溶解, 一部分氧通常会进入到单晶硅中, 这些 氧主要存在于硅晶格的间隙位置。当间隙 氧的浓度超过某一温度下氧在硅中的溶解 度时, 间隙氧就会在单晶硅中沉淀下来, 形成 单晶硅中常见的氧沉淀缺陷。如果不对硅 片中的氧沉淀进行控制, 将会对集成电路造 成危害。
2022/5/2
由于生长过程中熔区始终处于悬浮状态, 不与任何物质接触,生长过程中的杂质分凝 效应和蒸发效应显著等原因, 因此产品纯度 高, 各项性能好。
但由于其生产成本高, 对设备和技术的 要求较为苛刻, 所以一般仅用于军工。太空 等高要求硅片的生长。
2022/5/2
Fz单晶的氧含量比直拉硅单晶的氧含量 低2~3个数量级,这一方面不会产生由氧 形成的施主与沉积物,但其机械强度却不 如直拉单晶硅,在器件制备过程中容易产 生翘曲和缺陷。在Fz单晶中掺入氮可提高 其强度。
2022/5/2
对1000 ℃、1100℃退火后的掺氮直拉硅中 氧沉淀的尺寸分布进行的研究表明,随着 退火时间的延长,小尺寸的氧沉淀逐渐减 少,而大尺寸的氧沉淀逐渐增多。氮浓度 越高或退火温度越高, 氧沉淀的熟化过程进 行得越快。
2022/5/2
区熔(FZ )法生长硅单晶
无坩埚悬浮区熔法。 原理:在气氛或真空的炉室中,利用高频
另一方面,热屏起到了氩气导流作用。在敞开 系统中,氩气流形成漩涡,增加了炉内气氛流 的的不稳定性,氩气对晶体的直接冷却能力弱, 不利于生长出无位错单晶。增加热屏后,漩涡 消失,氩气流速增加,对晶体的直接冷却和溶 液界面吹拂能力加强。
《单晶生长方法介绍》课件
3 晶体生长中的传质和传热过程
研究晶体生长过程中的传质和传热规律,以确保高质量的单晶生长。
单晶生长的工艺优化
生长温度和压 力的控制
调控生长温度和压力, 以实现理想的生长条 件。
晶体成核和生 长速度的控制
控制晶体成核和生长 速度,以获得所需的 晶体质量和尺寸。
推拉速率的控 制
优化推拉速率,以获 得均匀和高质量的单 晶生长。
气态法
气态法是一种常用的单晶生长方法,包括化学气相沉积法和气相淀积法。
固态法
固态法是一种常见的单晶生长方法,包括摩尔堆叠法和热悬挂法。
单晶生长技术的核心问题
1 晶体凝固界面移动规律
理解晶体凝固界面的移动规律对单晶生长至关重要。
2 晶体结构性质与生长条件之间的相互作用
探索晶体结构性质与生长条件之间的相互作用,以优化单晶生长的过程。
技术改进和创 新
通过技术改进和创新, 提高单晶生长的效率 和质量。
结论
应用前景
单晶生长技术具有广泛的应用前景,可应用于材料 科学、电子器件等领域。
研究意义
对单晶生长技术的研究具有重要意义,可推动材料 科学和工业的发展。
《单晶生长方法介绍》 PPT课件
单晶生长是一项重要的技术,广泛应用于材料科学和工业领域。本课件将介 绍单晶生长的方法、核心问题以及工艺优化,以及其在未来的应用前景。
简介
单晶生长是一项关键的技术,具有广顾其发展历程。
单晶生长方法介绍
液态法
液态法是一种常见的单晶生长方法,包括Bridgman法、Czochralski法和化学气相输运法。
研究晶体生长过程中的传质和传热规律,以确保高质量的单晶生长。
单晶生长的工艺优化
生长温度和压 力的控制
调控生长温度和压力, 以实现理想的生长条 件。
晶体成核和生 长速度的控制
控制晶体成核和生长 速度,以获得所需的 晶体质量和尺寸。
推拉速率的控 制
优化推拉速率,以获 得均匀和高质量的单 晶生长。
气态法
气态法是一种常用的单晶生长方法,包括化学气相沉积法和气相淀积法。
固态法
固态法是一种常见的单晶生长方法,包括摩尔堆叠法和热悬挂法。
单晶生长技术的核心问题
1 晶体凝固界面移动规律
理解晶体凝固界面的移动规律对单晶生长至关重要。
2 晶体结构性质与生长条件之间的相互作用
探索晶体结构性质与生长条件之间的相互作用,以优化单晶生长的过程。
技术改进和创 新
通过技术改进和创新, 提高单晶生长的效率 和质量。
结论
应用前景
单晶生长技术具有广泛的应用前景,可应用于材料 科学、电子器件等领域。
研究意义
对单晶生长技术的研究具有重要意义,可推动材料 科学和工业的发展。
《单晶生长方法介绍》 PPT课件
单晶生长是一项重要的技术,广泛应用于材料科学和工业领域。本课件将介 绍单晶生长的方法、核心问题以及工艺优化,以及其在未来的应用前景。
简介
单晶生长是一项关键的技术,具有广顾其发展历程。
单晶生长方法介绍
液态法
液态法是一种常见的单晶生长方法,包括Bridgman法、Czochralski法和化学气相输运法。
定向凝固和单晶制备技术62页PPT
END
16、业余生活要有意义,不要越轨。——华盛顿 17、一个人即使已登上顶峰,也仍要自强不息。——罗素·贝克 18、最大的挑战和突破在于用人,而用人最大的突破在于信任人。——马云 19、自己活着,就是为了使别人过得更美好。——雷锋 20、要掌握书,莫被书掌握;要为生而读,莫为读而生。——布尔沃
定向凝固和单晶制备技术
11、获得的成功越大,就越令人高兴 。野心 是使人 勤奋的 原因, 节制使 人枯萎 。 12、不问收获,只问耕耘。如同种树 ,先有 根茎, 再有枝 叶,尔 后花实 ,好好 劳动, 不要想 太多, 那样只 会使人 胆孝懒 惰,因 为不ห้องสมุดไป่ตู้ 践,甚 至不接 触社会 ,难道 你是野 人。(名 言网) 13、不怕,不悔(虽然只有四个字,但 常看常 新。 14、我在心里默默地为每一个人祝福 。我爱 自己, 我用清 洁与节 制来珍 惜我的 身体, 我用智 慧和知 识充实 我的头 脑。 15、这世上的一切都借希望而完成。 农夫不 会播下 一粒玉 米,如 果他不 曾希望 它长成 种籽; 单身汉 不会娶 妻,如 果他不 曾希望 有小孩 ;商人 或手艺 人不会 工作, 如果他 不曾希 望因此 而有收 益。-- 马钉路 德。
单晶生长技术
• 溶液搅拌避免浓差极化。溶液表面用流动液层覆盖以
防止溶剂蒸发。
• pH、温度保持稳定。
• 可以在室温下进行,适用于溶解度温度系数较小的物
质,也适用于生长有数种晶相存在,而每种晶相仅在
一定温度范围内才能稳定存在的物质晶体。例子:
KDP型晶体
精品PPT
水热法生长(shēngzhǎng)晶体
• 培养晶体(jīngtǐ)的原料放在高压釜较热的底
•
SiO2 + (2x-4)NaOH = Na(2x-4)SiOx + (x-2)H2O
• 温度(wēndù)越高,电导率越接近,电导率下降表
明溶液中OH-和Na+减少,参与了石英溶解反应。
• 温度(wēndù)对溶液中的生成物起主要作用;水晶
在NaOH中产物以Si3O132-为主要形式,在Na2CO3
影响
精品PPT
刚玉(gāngyù)的生长
• 各晶面生长大小速率顺序:
• 生长过程:刚玉晶面上吸附了OH-, 不同晶面对OH-吸
附能力不同。(0001)面上游离键Al-O较多,吸附水层性
能好,生长速度慢。
• Al-OH + AlO2- = Al-O-Al-O + OH• 刚玉在K2CO3及KHCO3溶液中的生长速率比在Na2CO3
有添加剂LiF等,使NaAlSiO4,Na3Li3Fe2F12,Li2Si2O5
等会在热扰动下进入晶体。
• 包裹体分布不均匀,一方面与晶体所在高压釜中的部位
和本身结构有关,另一方面与温度波动有关。
精品PPT
杂质(zázhì)
• 人造水晶用天然水晶的碎料作培养体,含有
金属杂质Ge, Cr, Mn, Fe, Mg, Al, Ca, Cu, Ag等。
防止溶剂蒸发。
• pH、温度保持稳定。
• 可以在室温下进行,适用于溶解度温度系数较小的物
质,也适用于生长有数种晶相存在,而每种晶相仅在
一定温度范围内才能稳定存在的物质晶体。例子:
KDP型晶体
精品PPT
水热法生长(shēngzhǎng)晶体
• 培养晶体(jīngtǐ)的原料放在高压釜较热的底
•
SiO2 + (2x-4)NaOH = Na(2x-4)SiOx + (x-2)H2O
• 温度(wēndù)越高,电导率越接近,电导率下降表
明溶液中OH-和Na+减少,参与了石英溶解反应。
• 温度(wēndù)对溶液中的生成物起主要作用;水晶
在NaOH中产物以Si3O132-为主要形式,在Na2CO3
影响
精品PPT
刚玉(gāngyù)的生长
• 各晶面生长大小速率顺序:
• 生长过程:刚玉晶面上吸附了OH-, 不同晶面对OH-吸
附能力不同。(0001)面上游离键Al-O较多,吸附水层性
能好,生长速度慢。
• Al-OH + AlO2- = Al-O-Al-O + OH• 刚玉在K2CO3及KHCO3溶液中的生长速率比在Na2CO3
有添加剂LiF等,使NaAlSiO4,Na3Li3Fe2F12,Li2Si2O5
等会在热扰动下进入晶体。
• 包裹体分布不均匀,一方面与晶体所在高压釜中的部位
和本身结构有关,另一方面与温度波动有关。
精品PPT
杂质(zázhì)
• 人造水晶用天然水晶的碎料作培养体,含有
金属杂质Ge, Cr, Mn, Fe, Mg, Al, Ca, Cu, Ag等。
配位化合物合成单晶培养PPT课件
取代和交换反应
加成和消除反应: 代表性的具有平面四边形配位构型的金属离子有Ni(II)、 Cu(II)、Rh(I)、Ir(I)、Pd(II)、Pt(II)等,
Ph3P RhI Cl + H2
Ph3P
PPh3
Ph3P H
H RhIII PPh3
Cl PPh3
Ph3P
Cl
RhI
+ Cl2
Ph3P
PPh3
Ph3P Ph3P
Cl RhIII Cl
Cl PPh3
氧化还原反应
• 金属单质氧化制备配合物,水溶液中金属溶解在酸中制
备金属离子水合物,非水溶液中氧化金属制备配合物。 在非水溶液中也常用这种方法制备配合物,例如在N2保护下的反应:
按Lewis酸碱理论,配合物的直接加成反应为:
• 低氧化态金属氧化制备高氧化态金属配合物,过渡金属 Cu2O(s)+2HPF6+8CH3CN=2[Cu(CNCH3) 4]PF6+H2O
非水溶液的直接加成 • 对于金属中心离子与卤素、胂、磷酸酯,膦,胺,β-二 酮,席夫碱,冠醚等配体的配合物一般都要在非水溶剂中 合成。常用的溶剂有醇,乙醚,甲苯,丙酮,氯仿,四氢 呋喃,吡啶等。有时溶剂就是目标化合物中的配体, 后产生N2,不会给反应引入其他副产物。
K2[Ni(CN)4] + 2K K4[Ni(CN)4]
Werner型配位化合物合成化学
• 直接法 • 组分交换法 • 氧化还原反应法 • 固相反应法 • 包结化合物的合成 • 大环配体模板法
直接法
• 配体和金属离子直接进行配位反应合成配合物, 主要包括溶液中直接进行配位反应-即溶剂法、 无溶剂法、气相法、金属蒸气法及固相反应法等。
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过滤:注意避免将滤纸上的纤维带入滤液。
封口、挥发:可用保鲜膜封好口,用很细的针
戳孔,通过孔的数量来控制挥发速度。
清洁稳定的环境
晶体在底部生长
注意:缓慢挥发,不能让溶剂完全挥发。
长在上面?
常用溶剂:甲醇、乙醇、氯仿、甲醇. -水及 CH2Cl2-正己烷等。
3
2. 液相扩散法
➢ 向良溶剂的溶液中扩散不良溶剂:适用于两 种溶剂中溶解度差别很大的化合物。
• 更换取代基有时会有理想的效果。如 4-氯苯基取代化 合物比苯基取代化合物往往容易长单晶。
外观角度判断培养前景:
• 旋蒸或简单重结晶所得样品,如果光泽很好 (不是贴在烧
瓶内壁的一层薄膜刮下来之后产生的光泽),在显微镜下
观察,如果是块状,有规则外形,则容易生长;
• 油状物很难长出单晶,经过进一步提纯后再去培养。
• 液相扩散法和气相扩散法,数毫克就可以。样品量少的时候可选择较 小的容器。
2. 样品的预处理
一般情况下,样品要尽量纯,可预先重结晶。很多配合物样品一般得 到固体后,将很难再溶解。这种情况下,可以不经提纯,用反应溶液 直接生长晶体。样品溶液要过滤,尽量不用滤纸,而是用一小团棉花 塞在滴管的中下部过滤。过滤样品之前,用良溶剂洗涤所有用品。
的办法反复尝试,提高成功的概率。例如,有 50 mg 样 品,可以同时实验 5 种溶剂体系,每种溶剂体系尝试两 次,每次 5 mg 。注意做好记录,以免重复采用已经失败 的溶剂体系,而且单晶解析时往往需要知道所用的溶剂。
实验记录要详细。有时候测出晶体结构之后,还要收 集更多晶体,以研究相关性能。如果实验记录不够详细, 很可能造成晶体生长无法重复的后果。
.
2
三、常见的单晶生长方法
1. 溶剂缓慢挥发法:挥发化合物的近饱和溶液
干净光滑的器皿,但是全新的玻璃仪器效果往往也不好
合适的溶剂:沸点适中,不能太高或太低,60 ~ 90 度较合适。可以用不良溶剂和良溶剂的混 合溶剂溶解化合物 (不良与良溶剂必须互溶, 且沸点要高于良溶剂。如,甲醇里可加适量水), 以避免在溶剂体积特别小时才析出晶体。
• 需控制好溶剂和温度,高温条件下溶剂蒸汽自动 产生一定压力,反应一段时间后,控制降温,冷 却到室温之后,收集晶体。
.
7
四、一些重要的细节问题
1. 样品用量
• 缓慢挥发法一般需样品量稍多。例如,配合物的甲醇溶液挥发,通
常需要数十毫克到上百毫克样品。为减少样品用量,可加入适量的差 溶剂,以降低溶解度;
.
10
五、晶体的挑选标准
大小是一个重要因素。理想的尺寸取决于:晶体的衍射能力和吸收效应程 度(决定于晶体所含元素的种类和数量);所用射线的强度和探测器的灵 敏度(仪器的配置)。晶体的尺寸一般不能超过光斑的内径(0.5 ~ 0.6 mm)。对于CCD,晶体合适的尺寸是:纯有机物 0.2 ~ 0.5 mm,金属配
4. 溶剂比例
液相扩散法中良溶剂与不良溶剂的比例最好为 1:2-1:4。对于液 相扩散法,选择溶剂体系时,尽量使良溶剂 (如二氯甲烷,氯仿) 沸点低于不良溶剂 (如己烷,正辛烷) 沸点。通过这样选择,如果 扩散均匀后无固体析出,还可以再进行缓慢挥发。
.
9
5. 多尝试、详细记录 单晶生长有很大偶然性。可采取少量样品多溶剂体系
层铺法:
上层:不良溶剂 中间:混和溶剂缓冲层 下层:良溶剂的溶液
下层溶剂比重应比 上层大,且两种溶 剂必须互溶。
良溶剂
不良溶剂
下层:CH2Cl2 (CHCl3) 上层:己烷 (庚烷、辛烷等) 下层: CH2Cl2 (CHCl3) 上层:甲醇 (乙醇等)
甲醇-水,水. -甲醇?
不行
4
➢ 两种反应物的溶液之间进行扩散:适用于反应 物溶解度好,而产物溶解度很差的体系。
溶剂比重需要有明显差异?
5
3. 气相扩散法
A: 良溶剂溶液,沸点较高 B:不良溶剂,沸点较低
常用溶剂体系:DMF/乙醚 DMF/己烷
适用于极性较大化合物
DMF/水 适用于极性较小化合物
DMSO/水 .
6
4.水热法或溶剂热法
• 适用于特别难溶的化合物 (如二维或三维配位网 络),经常在反应生成某种化合物的同时,生长其 晶体。该方法有时可以得到其他方法无法得到的 奇特结构;
合物 0.15 ~ 0.4 mm,纯无机物 0.08 ~ 0.3 mm。
形状:最好选三个方向尺寸相近的,过大的可以用解剖刀切割,切割时 要用惰性油或凡士林。 品质好的晶体,肉眼看光泽很好,在显微镜下观察,应该是均匀、透明、 没有裂痕、表面干净、有光泽、有规则外形 (多面体,不是球形!球形的 往往是液滴凝固生成的) 。
.
8
3. 样品的放置和观察
培养单晶时,最好放到没人碰的地方。不能一天去看几次,也不 能放一两个星期都不管。也许有的溶剂体系一两天就析出了晶体, 几天之后,溶剂全干了。一般两三天看一次合适,看的时候不要 动它,可拿亮度较高的手电筒照射,观察晶体的大小和光泽。较 好的晶体有很光滑的镜面,光泽度很好。明显不行的体系(如析 出大量絮状固体或粉末)就要用别的溶剂体系再重新培养。
层铺法:
反应物 A 的溶液
H-形管:
可用一种或 两种溶剂。
可在此处加砂芯, 以控制扩散速度。
混和溶剂缓冲层
反应物 B 的溶液
空白溶剂
反应物 B 的溶液 反应物 A 的溶液
常用溶剂体系:
CH2Cl2 (CHCl3)/己烷 (庚烷、辛烷等)
CH2Cl2 (CHCl3)/甲醇 (乙ห้องสมุดไป่ตู้等)
.
两边可以是一种溶剂, 也可以是不同溶剂。
形成过快就会形成大量微晶,很难长大,并易出现晶体团
聚。生长的速率太快则会导致晶体出现缺陷;
➢ 尝试、耐心和运气。
.
1
二、什么样的样品适合生长单晶?
分子结构角度考虑:
• 刚性化合物比柔性的更容易,烷基链超过4 个碳的一般 难以培养单晶;
• 从晶体学家角度考虑,分子中最好不含叔丁基,因为容 易无序,影响单晶解析的质量,但是从化学角度考虑, 叔丁基可增加溶解度,所以也经常使用。氯仿和高氯酸 根等也存在类似的问题;
单晶培养技术
一、单晶生长中的普遍性问题
➢ 从溶液中生长晶体最为常见;
➢ 从溶液中生长晶体一般都经历近饱和→饱和→过饱和→结 晶的过程。我们出发点就是控制好这个过程;
➢ 晶体生长的难易程度首先取决于化合物的本性。各种技巧
的掌握和运用可以显著提高获得单晶的几率;
➢ 晶体的生长和质量主要依赖于晶核形成和生长速率。晶核