酸雾净化塔操作规程

目录

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1.0目的 (3)

2.0范围 (3)

3.0责职 (3)

4.0工作程序 (3)

5.0支持文件 (5)

6.0记录 (5)

1.0 目的

为使用酸雾净化塔设备处理生产过程中产生的废气的操作提供指导，以保证排放到大气中的气体符合国家标准，使生产环境及人员的健康得到保障。

2.0范围

本规程适用于设施部运行操作及维修保养人员。

2.1设备分布及控制范围

TS-1 酸雾净化塔：5#厂房切片车间；磨边车间。

TS-2 酸雾净化塔：5#厂房GaAs单抛车间；GaAs粗抛车间；配药房。

TS-3 酸雾净化塔：3#厂房GaAs洁净室；InP洁净室。

TS-4 酸雾净化塔：3#厂房去离子水站；双精抛9B、16B；研磨车间；退火；测平；测试。

TS-5 酸雾净化塔：8#厂房POLY车间；水处理车间。

TS-6 酸雾净化塔：8#厂房POLY车间；水处理车间。5#、6#可互为备用。

TS-7 酸雾净化塔：8#厂房单晶车间。

TS-8 酸雾净化塔：6#厂房InP车间。

3.0职责

设施部运行值班班组负责酸雾净化塔的日常运行操作及巡检工作。

设施部运行值班班组负责对酸雾净化塔在运行操作时产生的废水、固体废弃物转送水处理车间处理。

4.0工作程序

4.1酸雾净化塔的开机前准备

4.1.1从库房领用工业级NaOH（片碱）1袋（25Kg/袋）、广泛试纸1包。

4.1.2贮液箱中加入450~650MM高度的自来水。

4.1.3确认轴承箱中的油位，使其达到观察窗的1/3～1/2高度。

4.2酸雾净化塔的启动

4.2.1启动酸雾净化设备。风机与水泵的开机顺序为：先开风机后开水泵；风机启动后，必须打

开浮球供水阀门。

4.2.2按照贮液箱容积的大小，往贮液箱中加入工业级NaOH片碱约1/3～2/3袋，配制成NaOH

溶液，循环半小时后，用广泛试纸测定溶液的pH值，使溶液的pH值为＞8；如果＜8，加碱，直到pH值为＞8为止。

4.2.3检查喷淋情况，如一切正常，设备进入工作状态。

4.3酸雾净化塔的关机

4.3.1接到停产通知或设备需要检修时，停运酸雾净化塔设备。

4.3.2风机与水泵的关机顺序为：先关水泵后关风机；风机停止前，必须先关闭浮球供水阀门。

4.4酸雾净化塔的巡视检查：

4.4.1巡视检查每2小时一次。

4.4.2检查贮液箱液位：为防止风机带走部分水汽，引起贮液箱液位不足，贮液箱液位应保持在

450~650MM，巡检人员应检查浮球供水阀门是否正常。

4.4.3检查槽液的pH值：每次巡检时用试纸测定pH值，pH值＞8正常，pH值＜8时，加入

NaOH调整。

4.4.5检查轴承箱的油位：为保证传动机构润滑，在设备运转起来后，油位保持在观察窗的1/3～

1/2高度。油位不够时补充机油。

4.4.6检查电机声音：巡检过程中注意电机及风机工作状况，注意观察运行声音是否异常。

4.4.7检查电机温度：检查电机工况，可用手接触电机，若感觉烫手，可用红外线枪确定电机的

工作温度，如电机工作温度超过65。C，应报告主管。

4.4.8查看喷淋情况：巡检时通过观察孔，查看喷淋情况，如有喷头堵塞，应报告主管。

4.4.9检查设备、管道及节门的连接处是否有漏液情况，发现渗漏应报告主管，同时巡检人员要

用容器接住漏液，用应急沙围堵、吸附洒落到地面上的液体，以防止其蔓延。收集的漏液送水处理车间处理；应急沙放入黑垃圾袋中送水处理车间处理。

4.4.10主管在接到上述报告时，应及时向部门经理汇报，由部门经理与生产部门协调，确定维修

时间。

4.5槽液的更换：

4.5.1贮液箱中由酸碱中和生成的盐浓度大于20%时，容易堵塞喷嘴，应定期更换槽液，清理杂

质。

4.5.2每月1日更换1# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月2日更换2# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月3日更换3# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月4日更换4# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月5日更换5# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月6日更换6# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月7日更换7# 酸雾净化塔贮液箱的槽液；

每月8日更换8# 酸雾净化塔贮液箱的槽液。

4.5.4更换槽液应在夜班生产完活后进行，将更换日期及加碱量填写在《酸雾塔巡视记录》表的

备注栏中。

4.5.5按4.3程序关闭酸雾净化塔设备，用泵将贮液箱中的溶液抽到废水池中，送水处理车间处

理。严禁排放到雨水管道中。

4.5.6按4.2程序启动酸雾净化塔设备，恢复正常工作状态。

4.5.7操作人员应穿戴劳保用品，一次性的防护用品应全部收集放入黑垃圾袋送水处理车间处

理，严禁随意丢弃或与白垃圾混放，污染环境。

4.5.8巡检人员应将巡检情况填写在《酸雾塔巡视记录》表中，记录内容真实，字迹工整，不得

涂改。

5.0 支持文件

无

6.0 记录

《酸雾塔巡视记录》