真空计维修
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真空规管的使用与保养
皮拉尼规 PSG
皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101
PCG400（复合规）
3
皮拉尼规 PSG ---电气连接
电气连接口
FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
订货号：354-490 订货号：354-491
20
冷电离规---潘宁规
PEG100
21
PEG 潘宁规 输出信号
测量范围 1E-9 … 1E-2 mbar
测量输出信号 0.66 – 10V
输出信号 0 – 10.6V
故障信号输出 (无放电) 0.4V 正常测量时绿色指示灯亮
9
皮拉尼规 PSG ---维护 1. 清洗规管
清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点
灯丝部分可清洗
10
皮拉尼规 PSG ---维护 规管调整
调整方法: 1 安装规管成正常使用状态 2 放气至大气压,等10分钟 3 按下调整电位器 ,规管自动 调整满点 4 排空到小于1X10-4 mbar， 等待10分钟 5 按下调整电位器，规管自动 调整零点
28
PEG ： 清洗或更换备件
第四步：清洁部件及探头内部（用酒精，丙酮，纱布，压 缩空气）
29
PEG ： 清洗或更换备件 第五步：插入陶瓷片
30
PEG ： 清洗或更换备件 第六步：插入阳极环
31
PEG ： 清洗或更换备件 第七步：调整阳极环
32
PEG ： 清洗或更换备件
第八步：装入阴极片
33
22
PEG: 电气连接
FCC68 接线:
针1 电源14~32 V
针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
23
PEG: 故障诊断 1。无指示灯亮：检查电连接
2。”Power”灯亮，“Ready”灯不亮：
A。压力过高 B。压力过低《3x10-9mbar C。测量环，或阳极接触不良 3。压力低于10-2mbar 而输出信号一直大于10v
测量环对壳短路
4。规管污染，需清洗，现象： A。测量不准确，或不稳定 B。测量信号停止在某特定值
24
PEG ： 清洗或更换备件 工具及备件
25
PEG ： 清洗或更换备件
第一步：用镊子拆下阴极片
26
PEG ： 清洗或更换备件
第二步：拆下阳极环，注意：轻轻摇晃，不能过度搬动
27
PEG ： 清洗或更换备件 第三步：倒出陶瓷垫
针15 接外壳接地
7
12
BPG400: 电气连接
注意：第五脚必须与屏蔽壳连接与地连接
13
复合规BPG------信号输出 1 输出电压范围:0-10V； 2 测量信号输出范围0.774—10V； 3 输出0.3V=热阴极故障 4 输出0.5V= 皮拉尼故障 5 输出电压与压力的关系式:(对数输出) P= 10 (U-7.75)/0.75+C P:实际压力; U :输出电压; C:常数 mbar :0 pa: 2 Torr : -0.125 例如:BPG的输出信号为4.00 V, 那么实际压力为P= 10 (4-0)/0.75+0 =1x10-5 mbar
² ¨
Ï Ê ¡ no signal¡ , µ ³² ²¹ ³² Á Ô¾° ± ç Ó ¿ Ö ¤ð» ¼
1 4
18
BPG400: 故障诊断
灯丝
皮拉尼灯丝1断 皮拉尼灯丝2断 熱电离灯丝断
短路
短路 短路
短路
短路 短路
19
BPG400: 备件
BPG400 规管传感器 DN25KF BPG400 规管传感器 DN40CR
40
维修资料 如果你的真空测量仪器出现故障，需要帮助，请提供：:
1. 故障产品的订货号 2. 故障产品的出厂编号 3. 故障描述（越详细越好） 4. 联系方式 5. 购买日期 6. 污染情况报告表
41
12
皮拉尼规 PSG ---维修 常见故障:
1 输出信号< 0.5V
可能原因: 无电源
需要调整 灯丝故障
2 真空测量不准确
可能原因: 零点漂移,需调整 灯丝污染,需清洗
3 其它故障或无法解决,请与维修部门联系
13
PSG: 灯丝检查
检查灯丝阻值 PSG500 (2 wires)
PSG100/101 (1 wire)
BCG450 （热规+皮拉尼+ 薄膜规）
BPG402 (开发中）
11
3
复合规BPG------电气连接
D-Sub 电气连接口
电气连接： 针2 测量信号输出 针5 电源地 针7 除气 针8 24V电源 针11 18~26V电源 针12 信号地 针13 RS232C TXD
针14 RS232C RXD
PEG ： 清洗或更换备件 第九步：检漏（建议）
34
PEG: 备件
1。更换清洗套件： 包括 阴极片（5个） 陶瓷垫（5个） 2。阳极环 3。测量头（包括磁组件）
订货号：351-490
订货号：351-499 订货号：399-510
35
MPG400, MPG401
36
SPARE PARTS
MPG400
PSG100: 87 Ohm +/- 5%
PSG101: 50 Ohm +/- 5%
37 Ohm +/- 5% 37 Ohm +/- 5%
9
PSG: 污染防护
带中心环的O-圈
带中心环及过滤网的O-圈
10
电离- 皮拉尼复合规
复合规型号：
BPG400（B-A 规+皮拉尼 ）
HPG400 （热规+皮拉尼）
37
Pirani Adjustment
High Vacuum Adjustment
ATM Adjustment
38
Electrical Connection – Pin out
39
VGຫໍສະໝຸດ Baidu40X (真空计控制器）
VGC40x 控制器可连接我司生产的各种型号规管；
--- 自动识别规管 A/D转换分辨率为16数据位； --- 最多小数点后有4位数据 软件升级可通过计算机自动完成，不需更换硬件； --- 最大程度兼容信规管 2/3 通道规管可同时显示，或自动/设置关闭； 有自动故障检测程序，方便故障查找； 软件内容丰富，满足各种设置需要；
7
Sensor element
4
皮拉尼规 PSG ---信号输出
1 输出电压范围:0-10.0V； 2 测量信号范围：1.9-10.0V； 3 灯丝故障：<0.5V； 4 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级) P=10 1.286(U-C) P:实际压力; U :输出电压; C:常数 (mbar:6.143; Torr:6.304; Pa:3.572) 例如:某规管测量的输出信号为6.14 V 那么实际压力为P=10 1.286(6.14-6.143) =1.0 mbar
17
复合规BPG------常见故障
¹ÕÐÏ ÊÏÅ¢ ¿ÄÔÒ ÉÜî ½¾² âö½ Ê ³ Ð º Ð Ó 0.2 V » µ Ô Ã Ó ½ È ¹ ¹ » 1)¹ » Ô ¿ » äöÅÅ¡Ù î ç´»ÐÓèæÜî ×úتú Ò Ö Ð Ó 0.29V » ±¡ Ù ½´²Á Ó¥»¼ 2)¼ ² Á Ï ¼ µ Ô ì é ¬ ß °ç ´ ´ Î ´  ¡ Error=8¡ íïúè ° ± ¡ Error=9¡ ° ± ¹¹µËË» æÜÆ¿ðµ Ê ³ Ð º 0.5 V äöÅÅ µ ³² ²½ ´ ² Á çÓ¿ÖÓ¥»¼ ¸»¹¹ ü æÜ ¼²Á½ ìé¬Ó 1)¹ » Ô ¿ » ×úتú 2)¸ » µ ³² ² ü çÓ¿Ö
1 0
14
复合规BPG------维护 满量程调整处
调满量程
1 大气压下规管通电至 少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少5秒 种 3 规管自动完成调整
1 2
15
复合规BPG------维护
皮拉尼零点调整
原理上讲，当压力低于1E-3mbar时，规管自动调整零点，调整值每六小时自动存储。
调零点
1 在压力《1x10-4mbar下规管 通电至少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少2秒种 3 规管2分钟后自动完成调整
16
BPG400: 维护
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行 除气主要目的是清除灯丝污染 除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA 除气时显示值偏大 除气3分钟自动结束 除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活
皮拉尼规 PSG
皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101
PCG400（复合规）
3
皮拉尼规 PSG ---电气连接
电气连接口
FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
订货号：354-490 订货号：354-491
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冷电离规---潘宁规
PEG100
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PEG 潘宁规 输出信号
测量范围 1E-9 … 1E-2 mbar
测量输出信号 0.66 – 10V
输出信号 0 – 10.6V
故障信号输出 (无放电) 0.4V 正常测量时绿色指示灯亮
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皮拉尼规 PSG ---维护 1. 清洗规管
清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点
灯丝部分可清洗
10
皮拉尼规 PSG ---维护 规管调整
调整方法: 1 安装规管成正常使用状态 2 放气至大气压,等10分钟 3 按下调整电位器 ,规管自动 调整满点 4 排空到小于1X10-4 mbar， 等待10分钟 5 按下调整电位器，规管自动 调整零点
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PEG ： 清洗或更换备件
第四步：清洁部件及探头内部（用酒精，丙酮，纱布，压 缩空气）
29
PEG ： 清洗或更换备件 第五步：插入陶瓷片
30
PEG ： 清洗或更换备件 第六步：插入阳极环
31
PEG ： 清洗或更换备件 第七步：调整阳极环
32
PEG ： 清洗或更换备件
第八步：装入阴极片
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22
PEG: 电气连接
FCC68 接线:
针1 电源14~32 V
针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
23
PEG: 故障诊断 1。无指示灯亮：检查电连接
2。”Power”灯亮，“Ready”灯不亮：
A。压力过高 B。压力过低《3x10-9mbar C。测量环，或阳极接触不良 3。压力低于10-2mbar 而输出信号一直大于10v
测量环对壳短路
4。规管污染，需清洗，现象： A。测量不准确，或不稳定 B。测量信号停止在某特定值
24
PEG ： 清洗或更换备件 工具及备件
25
PEG ： 清洗或更换备件
第一步：用镊子拆下阴极片
26
PEG ： 清洗或更换备件
第二步：拆下阳极环，注意：轻轻摇晃，不能过度搬动
27
PEG ： 清洗或更换备件 第三步：倒出陶瓷垫
针15 接外壳接地
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BPG400: 电气连接
注意：第五脚必须与屏蔽壳连接与地连接
13
复合规BPG------信号输出 1 输出电压范围:0-10V； 2 测量信号输出范围0.774—10V； 3 输出0.3V=热阴极故障 4 输出0.5V= 皮拉尼故障 5 输出电压与压力的关系式:(对数输出) P= 10 (U-7.75)/0.75+C P:实际压力; U :输出电压; C:常数 mbar :0 pa: 2 Torr : -0.125 例如:BPG的输出信号为4.00 V, 那么实际压力为P= 10 (4-0)/0.75+0 =1x10-5 mbar
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Ï Ê ¡ no signal¡ , µ ³² ²¹ ³² Á Ô¾° ± ç Ó ¿ Ö ¤ð» ¼
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BPG400: 故障诊断
灯丝
皮拉尼灯丝1断 皮拉尼灯丝2断 熱电离灯丝断
短路
短路 短路
短路
短路 短路
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BPG400: 备件
BPG400 规管传感器 DN25KF BPG400 规管传感器 DN40CR
40
维修资料 如果你的真空测量仪器出现故障，需要帮助，请提供：:
1. 故障产品的订货号 2. 故障产品的出厂编号 3. 故障描述（越详细越好） 4. 联系方式 5. 购买日期 6. 污染情况报告表
41
12
皮拉尼规 PSG ---维修 常见故障:
1 输出信号< 0.5V
可能原因: 无电源
需要调整 灯丝故障
2 真空测量不准确
可能原因: 零点漂移,需调整 灯丝污染,需清洗
3 其它故障或无法解决,请与维修部门联系
13
PSG: 灯丝检查
检查灯丝阻值 PSG500 (2 wires)
PSG100/101 (1 wire)
BCG450 （热规+皮拉尼+ 薄膜规）
BPG402 (开发中）
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复合规BPG------电气连接
D-Sub 电气连接口
电气连接： 针2 测量信号输出 针5 电源地 针7 除气 针8 24V电源 针11 18~26V电源 针12 信号地 针13 RS232C TXD
针14 RS232C RXD
PEG ： 清洗或更换备件 第九步：检漏（建议）
34
PEG: 备件
1。更换清洗套件： 包括 阴极片（5个） 陶瓷垫（5个） 2。阳极环 3。测量头（包括磁组件）
订货号：351-490
订货号：351-499 订货号：399-510
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MPG400, MPG401
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SPARE PARTS
MPG400
PSG100: 87 Ohm +/- 5%
PSG101: 50 Ohm +/- 5%
37 Ohm +/- 5% 37 Ohm +/- 5%
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PSG: 污染防护
带中心环的O-圈
带中心环及过滤网的O-圈
10
电离- 皮拉尼复合规
复合规型号：
BPG400（B-A 规+皮拉尼 ）
HPG400 （热规+皮拉尼）
37
Pirani Adjustment
High Vacuum Adjustment
ATM Adjustment
38
Electrical Connection – Pin out
39
VGຫໍສະໝຸດ Baidu40X (真空计控制器）
VGC40x 控制器可连接我司生产的各种型号规管；
--- 自动识别规管 A/D转换分辨率为16数据位； --- 最多小数点后有4位数据 软件升级可通过计算机自动完成，不需更换硬件； --- 最大程度兼容信规管 2/3 通道规管可同时显示，或自动/设置关闭； 有自动故障检测程序，方便故障查找； 软件内容丰富，满足各种设置需要；
7
Sensor element
4
皮拉尼规 PSG ---信号输出
1 输出电压范围:0-10.0V； 2 测量信号范围：1.9-10.0V； 3 灯丝故障：<0.5V； 4 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级) P=10 1.286(U-C) P:实际压力; U :输出电压; C:常数 (mbar:6.143; Torr:6.304; Pa:3.572) 例如:某规管测量的输出信号为6.14 V 那么实际压力为P=10 1.286(6.14-6.143) =1.0 mbar
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复合规BPG------常见故障
¹ÕÐÏ ÊÏÅ¢ ¿ÄÔÒ ÉÜî ½¾² âö½ Ê ³ Ð º Ð Ó 0.2 V » µ Ô Ã Ó ½ È ¹ ¹ » 1)¹ » Ô ¿ » äöÅÅ¡Ù î ç´»ÐÓèæÜî ×úتú Ò Ö Ð Ó 0.29V » ±¡ Ù ½´²Á Ó¥»¼ 2)¼ ² Á Ï ¼ µ Ô ì é ¬ ß °ç ´ ´ Î ´  ¡ Error=8¡ íïúè ° ± ¡ Error=9¡ ° ± ¹¹µËË» æÜÆ¿ðµ Ê ³ Ð º 0.5 V äöÅÅ µ ³² ²½ ´ ² Á çÓ¿ÖÓ¥»¼ ¸»¹¹ ü æÜ ¼²Á½ ìé¬Ó 1)¹ » Ô ¿ » ×úتú 2)¸ » µ ³² ² ü çÓ¿Ö
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复合规BPG------维护 满量程调整处
调满量程
1 大气压下规管通电至 少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少5秒 种 3 规管自动完成调整
1 2
15
复合规BPG------维护
皮拉尼零点调整
原理上讲，当压力低于1E-3mbar时，规管自动调整零点，调整值每六小时自动存储。
调零点
1 在压力《1x10-4mbar下规管 通电至少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少2秒种 3 规管2分钟后自动完成调整
16
BPG400: 维护
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行 除气主要目的是清除灯丝污染 除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA 除气时显示值偏大 除气3分钟自动结束 除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活