激光测试原理绪论
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2． 等高莫尔条纹（人体形测量） 参考书目
1． 激光原理：清华大学周炳琨，国防工业出版社，1984.11第一版
2． 近代光学测试技术，杨国光，机械工业出版社
3． 激光在精密计量中的应用，天津大学，叶声华，机械工业出版社 4． 激光测量学：金国藩，科学出版社，1998.8
参考书目
1.激光原理：清华大学周炳琨，国防工业出版社，1984.11第一版 2.近代光学测试技术，杨国光，机械工业出版社，
中文自科图书阅览室(203) O43 63 馆内阅览
3.激光在精密计量中的应用，天津大学，叶声华，机械工业出版社
流通三线书库 TB9 9 在架上
馆内阅览
4.在架上激光测量学：金国藩，科学出版社，1998.8
中文自科图书阅览室(203) P225.2 6
（一）按所采用的光学测量原理分
1．干涉法：干涉测长
2．衍射法：测微小尺寸
3．光扫描法：扫描测径，扫描对准
4．准直法：准直仪 5．光脉冲法：激光脉冲测距——精度m 6．百度文库调制法：激光相位测距——精度mm 7．多谱勒法：测流体速度 8．全息法：测变形 9．散斑法：测微位移 10．光谱法：测大气污染，测化学成分
1．跟踪：红外制导导弹
2．激光测距：测距机、激光雷达、激光探潜
3．激光预警
（二）工业领域 1．长度、角度、光洁度 2．声光、热电磁 （三）生物科学 1． OCT，探测组织对激光的吸收 2． 血流（激光Doppler测量）
（四）环境科学 1． 测大气污染 2． 地形地貌测量 （五）公安系统
1． 指纹测量
点。这样可迅速准确的检测掩膜板。
同样用此方法可以检验人的指纹、唇纹等。
（二）激光测试的特点 ① 非接触：无接触力，柔性 ② 高灵敏度 ③ 高精度 ④ 三维性 ⑤ 相关性，高低温 ⑥ 实时性 ⑦ 抗干扰性（电磁干扰）
⑧ 通信保密性：光通信的定向性，光纤的保密性
二、激光测试方法的应用领域 （一）军事领域
11．数字图像法：（CCD成像）OCT
12．傅里叶频谱法：如下例（指纹检测） 13．莫尔条纹法：莫尔条纹法测量角度、莫尔偏析法测焦透镜焦 距等、等高莫尔法测三维物体。
附：傅里叶频谱法： 例：利用下面的4f′系统（双透镜相干系统）
图0-1
1 ．先将合格的掩膜板放在 F1 面，并用平行激光束（如氦氖激光） 照射，在L1的后焦点上（即F1′面）形成该掩膜的频谱，用化学胶 片记录下该频谱的照片（负片）。 2．将负片作为空间滤波器，放在F1′面上。 3 ．将被测掩膜板放在 F1 面，并用平行激光照射，如无缺陷，则 由于其频谱和标准掩膜板的频谱面一样。所有信息被空间滤波器 全部滤掉，在F2′面上（象面）无任何信息；若有缺陷，则该缺陷 处的频谱 通过空间滤波器，并在F2′面上成像，则可看到一个亮
度，已达nm（10-9m）量级，并使测量智能化。
国际上倾向性的看法是：激光测量是一门综合性实用技术，能
记录、分析激光与被研究对象相互作用而发生变化的光波场参数， 以便测出被研究对象的动力学参数，声学参数，重力场参数，热 力学参数，电磁学参数，光学参数和微观信息等。即可用激光检 测的方法探测、声、光、热、电磁、力学等物理参数，长度、角 度、表面光洁度等几何参数以及化学参数。
绪 论
测量是科学的眼睛，可以说，没有测量就没有科学，就没有现代 工业的发展。测量方法的改进和测量精度的提高，代表当代科学
发展的水平。
·长 ·时 ·光 度——已测得到nm（10-9m） 间——fs（10-15S） 纤——几个μ~10μ
·光刻对准——0.05μ（10-5mm）
一、激光测量方法
激光的亮度，高相干性和高准直性，使光学检测方法产生革命性 的变化，并有可能对过去不能测量对象进行测量。提高了测量精
1． 激光原理：清华大学周炳琨，国防工业出版社，1984.11第一版
2． 近代光学测试技术，杨国光，机械工业出版社
3． 激光在精密计量中的应用，天津大学，叶声华，机械工业出版社 4． 激光测量学：金国藩，科学出版社，1998.8
参考书目
1.激光原理：清华大学周炳琨，国防工业出版社，1984.11第一版 2.近代光学测试技术，杨国光，机械工业出版社，
中文自科图书阅览室(203) O43 63 馆内阅览
3.激光在精密计量中的应用，天津大学，叶声华，机械工业出版社
流通三线书库 TB9 9 在架上
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4.在架上激光测量学：金国藩，科学出版社，1998.8
中文自科图书阅览室(203) P225.2 6
（一）按所采用的光学测量原理分
1．干涉法：干涉测长
2．衍射法：测微小尺寸
3．光扫描法：扫描测径，扫描对准
4．准直法：准直仪 5．光脉冲法：激光脉冲测距——精度m 6．百度文库调制法：激光相位测距——精度mm 7．多谱勒法：测流体速度 8．全息法：测变形 9．散斑法：测微位移 10．光谱法：测大气污染，测化学成分
1．跟踪：红外制导导弹
2．激光测距：测距机、激光雷达、激光探潜
3．激光预警
（二）工业领域 1．长度、角度、光洁度 2．声光、热电磁 （三）生物科学 1． OCT，探测组织对激光的吸收 2． 血流（激光Doppler测量）
（四）环境科学 1． 测大气污染 2． 地形地貌测量 （五）公安系统
1． 指纹测量
点。这样可迅速准确的检测掩膜板。
同样用此方法可以检验人的指纹、唇纹等。
（二）激光测试的特点 ① 非接触：无接触力，柔性 ② 高灵敏度 ③ 高精度 ④ 三维性 ⑤ 相关性，高低温 ⑥ 实时性 ⑦ 抗干扰性（电磁干扰）
⑧ 通信保密性：光通信的定向性，光纤的保密性
二、激光测试方法的应用领域 （一）军事领域
11．数字图像法：（CCD成像）OCT
12．傅里叶频谱法：如下例（指纹检测） 13．莫尔条纹法：莫尔条纹法测量角度、莫尔偏析法测焦透镜焦 距等、等高莫尔法测三维物体。
附：傅里叶频谱法： 例：利用下面的4f′系统（双透镜相干系统）
图0-1
1 ．先将合格的掩膜板放在 F1 面，并用平行激光束（如氦氖激光） 照射，在L1的后焦点上（即F1′面）形成该掩膜的频谱，用化学胶 片记录下该频谱的照片（负片）。 2．将负片作为空间滤波器，放在F1′面上。 3 ．将被测掩膜板放在 F1 面，并用平行激光照射，如无缺陷，则 由于其频谱和标准掩膜板的频谱面一样。所有信息被空间滤波器 全部滤掉，在F2′面上（象面）无任何信息；若有缺陷，则该缺陷 处的频谱 通过空间滤波器，并在F2′面上成像，则可看到一个亮
度，已达nm（10-9m）量级，并使测量智能化。
国际上倾向性的看法是：激光测量是一门综合性实用技术，能
记录、分析激光与被研究对象相互作用而发生变化的光波场参数， 以便测出被研究对象的动力学参数，声学参数，重力场参数，热 力学参数，电磁学参数，光学参数和微观信息等。即可用激光检 测的方法探测、声、光、热、电磁、力学等物理参数，长度、角 度、表面光洁度等几何参数以及化学参数。
绪 论
测量是科学的眼睛，可以说，没有测量就没有科学，就没有现代 工业的发展。测量方法的改进和测量精度的提高，代表当代科学
发展的水平。
·长 ·时 ·光 度——已测得到nm（10-9m） 间——fs（10-15S） 纤——几个μ~10μ
·光刻对准——0.05μ（10-5mm）
一、激光测量方法
激光的亮度，高相干性和高准直性，使光学检测方法产生革命性 的变化，并有可能对过去不能测量对象进行测量。提高了测量精