中科院苏州纳米所实习报告

一、实习目的

了解专业理论知识，了解相关微纳加工技术，包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、CMP及封装工艺将理论与工艺操作结合，熟悉超净间工作环境，了解元器件加工生产工序和生产设备，加强理论跟实践密切相结合，提升专业素质和专业技能。

二、实习单位及岗位介绍

实习单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台实习岗位：工艺实习员

岗位介绍：纳米加工平台是集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能的加工平台。在纳米加工平台的工艺实习员在优秀的老师的指导下完成样品微米、纳米加工和检测，按照要求并做好记录，完成必要的报告文献。

三、实习安排

四、实习内容及过程

7.4全班同学在老师的带领下一起乘车抵达苏州，办理入住并熟悉周围环境。

7.5入所教育及超净间参观

一，苏纳所简介

经老师介绍及相关资料的查询我了解到苏纳所的概况：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称中科院苏州纳米所）由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建，位于风景秀丽的苏州工业园区独墅湖科教创新区内。根据中国科学院调整科技布局的规划，面向国际科技前沿、国家战略需求与未来产业发展，开展相关领域基础性、战略性、前瞻性研究。建设公共技术平台，为我国现代制造业与高新技术产业发展不断提供新的知识与技术，发挥国家研究机构的骨干与引领作用。

当前主要的研究内容：信息领域，能源领域，环境领域，生命与医学领域。

老师同时也为我们介绍了苏纳所研究生招生，待遇，以及发展等情况。二，纳米加工平台

老师首先为我们介绍了微电子技术整体的发展：从1947年肖克利团队发明第一个锗晶体管到60年代后集成电路的出现及发展，一直到今天仍在蓬勃发展

的超大规模集成电路，微电子技术在人类社会信息化的过程中起到了不可替代的巨大作用。而在发展过程中它又衍生出许多的交叉学科，如微机电系统，生物芯片等，也都是具有广阔应用前景的技术。

纳米加工平台的定位及特色：国际先进水平，面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台。加工精度最小为10nm。

纳米加工平台的加工能力：微纳米电子器件，光电子器件，微纳光机电系统，生物传感器及生物芯片，化合物半导体器件。

平台设备概况：主要包括镀膜，刻蚀，光刻，掺杂，封装等工艺的设备。

平台现阶段研究方向：宽带隙半导体材料与器件（主要包括功率器件，InP 光电器件以及微电子机械系统），新型信息功能材料及器件（自旋电子器件，可用于非易失性存储器，传感器，硬盘，自旋发光二极管，微波器件，自旋晶体管等），二维材料纳米器件。

三，超净间参观

老师带领我们参观了超净间一楼及二楼的几个实验室，简单介绍了相关的一些仪器及注意事项，着重提到了清洗间，灰区，黄光室等。

7.6加工平台综合培训（超净间的使用，安全知识，常用小型设备介绍）

一，超净间的使用（主要包括超净间使用指引，超净间进出步骤，超净间管理规定，设备预约四方面）

超净间使用指引：老师解释了纳米加工平台用户培训的流程，介绍超净间每个楼层的具体布局。每个实验室旁边都有一个灰区，用来存放相关的设备和器材，清洁度要求比超净间低，可以节约一定的能源，同时一些有毒有害物质也存放在

里面，所以一般非工作人员禁止进入，非紧急情况禁止进入。每一层都有两个安全门。

超净间进出步骤：穿一次性鞋套（不能将未穿鞋套的脚放置在鞋柜内或将穿鞋套的脚放置在鞋柜外）—指纹门禁（严禁一人按指纹多人进入）—一次更衣—二次更衣（口鼻完全遮住，头发不外露，手腕不外露）—风淋室，出来步骤相反，但二次更衣手套要最后一个脱掉。

超净间管理规定：听从平台工作人员的指导和指示，平台工作人员有权纠正违反加工平台规章制度人员的行为。使用设备时，如存在任何疑问，应及早主动与平台工作人员沟通或咨询。除在相关工作区域作业外，不能随意走动。非紧急情况严禁进入灰区。湿法腐蚀只能在清洗间进行。光刻间（104和105）限制人数，无工艺者不能进入。未经平台规定的培训并考核合格及预约人员不得擅自操作任何设备。未经许可，严禁挪动任何设备、仪器和装置。工艺之前必须进行网上预约。未经许可，除待加工样品、光刻版外严禁带入任何物品。在超净间内严禁吸烟、拍照、摄像、饮食、接打手机。必须保持工作环境整洁有序。在非紧急状况下，严禁使用应急设备和设施（灭火器、消防栓、灭火毯、六氟灵、逃生门、洗眼器、淋浴器、急救包、排烟口开放装置）。

设备预约：使用设备必须先在平台网站进行预约。预约时间注意点：工作时间（上午9:00-12:00，下午13:30-18:00）可以随时预约（仅限可以自己操作设备的用户）。中午12:00-13:30，需提前1小时以上预约,下午18:00以后的工艺需在下午17:00前预约。周末时间需在周五下午16:00前预约。

二，安全知识（安全意识，水电气安全，消防安全，逃生路线，化学品安全）安全意识：树立正确的安全意识是事故防范及处理的基础。

水电气安全：水电气安全问题立刻报告平台工作人员。

消防安全：碱金属，三酸（硫酸，硝酸，盐酸），轻于水的易燃液体不能用水扑救。常见的灭火器有干粉灭火器（有腐蚀性，不适用于昂贵的仪器），二氧化碳灭火器（一般摆放在设备旁边，一拔二压）。消防栓中水管与水带的阀门不同。无机和有机清洗间均有防火棉。

逃生路线：每个楼层都有两个逃生门，一楼A逃生门外开，B逃生门内开。

化学品安全：

1.清洗间（有机清洗间和无机清洗间）使用流程：

①.预约并阅读化学品安全技术说明书（MSDS）。

②.额外的器皿和特殊化学品如要带入需向平台管理员申请。

③.填写《加工平台清洗台使用记录表》相关操作内容并记录开始时间。

④ .防护用品准备和穿戴（所有无机化药和有机中的三氯乙烯、四氯化

碳、氯苯均需要穿戴完整防护，其余有机化药需要佩戴防护眼镜和手

套）。手部防护：防护橡胶手套。眼部防护：防护眼镜。面部防护：防

护面罩。身体防护：围裙、护袖。

⑤ .化学品操作：混合溶液时密度大的注入密度小的，稀释时加溶液于

水，不可颠倒。不可将氢氟酸放置在石英和玻璃器皿中。要节约使用化

药。

⑥ .操作结束后要清洗台面及橡胶手套，废液按要求处理。

⑦ .脱下防护用品，与穿戴顺序相反。

⑧ . 填写《加工平台清洗台使用记录表》相关操作内容并记录结束时间。

2.废液的回收和存放：