扫描电子显微镜技术参数

扫描电子显微镜技术参数
1. 扫描电镜主机
★1.1 分辨率
二次电子探测器分辨率：<3.0 nm （30 KV）；<8nm (3 KV )，
背散射电子探测器分辨率：<3.5nm（30kv )。

★1.2 放大倍数：
最低倍率可达到1倍，最高倍率可达到1000,000。

1.3 真空系统
★1.3.1 具有高低真空功能,高低真空自动转换；
★1.3.2 样品室真空度：高真空可达到5×10-4 Pa；
低真空范围不小于5-500Pa；
1.4 电子光学系统
1.4.1 电子枪：钨灯丝，具有自动加热及对中的功能；
1.4.2 聚光镜：具有自动可变焦功能；
1.4.3 加速电压:200V-30kV，10V步进可调；
1.4.4电子探针束流：最大束流不小于2uA，并连续可调。

★1.4.5电子光学镜筒可全自动自动调节，可以精确控制束流和束斑尺寸；
1.5 样品室和样品台
★1.5.1 样品台尺寸：装载直径≥200mm样品；
★1.5.2全自动五轴优中心台：具有全自动五轴马达驱动功能；
样品台移动范围：X=100 mm，Y=100mm，Z=100 mm
旋转：360度连续
倾斜：-30度到+90度
更换样品后抽真空时间：< 5分钟；
1.5.3 样品台具有报警与自动停止功能，具有样品位置感知功能。

1.6 探测器及成像系统
★1.6.1具备高灵敏度YAG晶体二次电子探测器
具备可伸缩的YAG晶体背散射电子探测器
具备用于观察样品室情况的红外摄像机；
★1.6.2 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像，也可四幅图像同时成像，BSE可分别成像，并和SE任意叠加混合；
1.6.3具备五种电子光学工作模式；
★1.6.4扫描速度：从20 ns至10 ms像素，可阶段或连续式的调整，可进行3维
电子束扫描，电子束沿X和Y轴倾斜扫描实时立体成像。

1.7电镜控制
1.7.1电镜操作控制系统：鼠标、键盘、轨迹球；
1.7.2工作站：Intel® Core 3.6GHz，8GB内存，500GB硬盘，nVIDIA GT630 2GB DDR3，Windows
8
1.7.3完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；
★1.7.4具备中英文操作系统。

2. 能谱仪（EDS）部分
2.1该设备可与扫描电镜配套使用，用于材料的微区成分分析，并配备与相关扫描电镜连接的接
口。

2.2 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，不小于10mm2有效探测面积，无需液氮冷却，
仅消耗电能。

2.3 能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV, 元素分析范围：Be4～Am95。

3. 离子溅射仪
配备离子溅射仪，可实现试样喷金。

4. 扫描电镜配件
随机备件：包括标准附件及工具和消耗品1套（包括有高寿命钨灯，以及各种保险丝、密封圈、样品托、机械泵油、导电胶带）。

5．售后服务
5.1 厂家免费负责仪器安装、调试，对仪器管理人员提供免费现场培训。

5.2 必须要求由制造商厂家资深工程师安装、调试设备，拒绝由制造商指定代理商的工程师进行
设备的安装、调试。

5.3 仪器安装后厂家派仪器管理操作人员2人到国内培训部（或实验室）提供免费培训，并常年
设有技术人员提供免费技术咨询和服务。

★条款为必须满足指标。