半导体TRACK换液(丙酮、PR、显液)规范

TRACK换液（丙酮、光刻胶、显液）规范

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文

控

中

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一、目的：熟悉TRACK换液程序，保证安全作业生产

二、更换光刻胶胶

图1 光刻胶胶管路图

1、更换同种光刻胶胶

1）把空瓶拿走,装上新光阻瓶,盖好盖子

2）打开前面管路2#缓冲排气阀(由于缓冲杯中有较大的气,经由2#排走)

3）慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲杯,液位sensor亮,此时除去N2管,同时关掉2#阀

4）由光刻胶泵排掉适量管路中的光阻

2、更换不同种（或新与旧）光刻胶胶

1）把光阻瓶拿走,打开光刻胶泵直到喷嘴没有光阻滴出

2）把原来放光阻瓶的位置换上丙酮瓶,作清洗

3）打开2#缓冲排气阀

4）慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲瓶,液位sensor亮,除去N2管,同时关掉2#阀

5）打开3#排液阀

6）慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入接过滤器的排液管路, 除去N2管,关闭3#阀

7）启动光刻胶泵直接纯净的丙酮排出后,再停止光刻胶泵

8）再启动光刻胶泵,直接没有液体从喷嘴中排出

9）换上新的光刻胶瓶,

10）打开2#缓冲排气阀

11）慢慢打开1#针阀,连接N2到光刻胶瓶盖上,把光阻压入缓冲杯中直至液位sensor亮,关掉2#缓冲阀

12）更换完成

三、更换丙酮

1、打开丙酮柜门，，将氮气阀门关闭，拉出丙酮柜子，开启罐盖

2、倒入新丙酮，盖好罐盖，将丙酮柜子推回原位。

3、打开氮气阀门，观察压力表，指针指向绿色区域即为正常

四、显影液更换方法与丙酮溶液更换方法类似

相关图片：

注意事项：

1，更换新光刻胶及新显影液时需专人更换。

2，更换新光刻胶及新显影液后需试产顺利后方可量产。