单晶炉参数

一：拉棒设备技术支持以及设备技术参数与规范

1. 设备参数：

设备名称

（设计参

数）

规格数量备注

单晶炉

1、结晶直径： 8”，6”

2、结晶全长： 2000mm以下

3、投料量： 120kg

4、热场规格： 16’18’ 20’

5、炉内最高温度： 1600℃

6、坩埚规格：φ20”³H15

7、保护气氛：氩气，负压

8、软轴：无螺旋编织（不锈钢304材质以上）

9、主副室连接法兰一次成型，无焊接

10、真空度

结晶的拉制环境： 2.7kPa

冷炉极限真空度： 3Pa以下

11、允许漏泄量： 0.6mTorr/min以下

12、坩埚中轴的承重量： 250kg

13、籽晶夹头：圆柱型（钼材质）

14、水路系统回水点最高温差：<12℃

15、设备进、出水法兰：配备标准法兰

16、真空泵、球阀、除尘器罐：真空胶管

连接配备法兰接口

17、减速器、电机：采用东方电机

18、控制方式：全自动且各阶段均可转入手动

控制（全自动描述：抽空、检漏、化料、稳定、

引晶、放肩、转肩、等径、收尾全过程自动）

提供与全自动运行相关的技术资料。

19、控制电脑配置不少于30min的UPS电源。

20、配套流量计实现氩气流量自动控制。

21、单晶炉体内壁材质需采用进口不锈钢316

材料（内壁厚度8mm）。

4台

周围温度：

15-25℃

周围湿度：

40-70%（需

要保证没

有结露的

情况发生）

洁净度：一

般环境

2、技术要求

2.1真空炉体

炉体总体结构是双层带水套不锈钢筒体，材质内层要求为316L不锈钢、外层为普通不锈钢；炉体分主炉室、副炉室，主副炉室之间由隔离阀隔开,且主副室各“O”型圈使用倒梯形，角度为36°；冷炉极限真空度应小于3Pa，压升率小于等于1Pa/10min；副炉室打开时主炉室真空度应小于等于2Pa，压升率小于

等于1Pa/10min。

2.2加热系统

a．加热器

加热器要求采用石墨加热器，加热器材质必须采用指定品牌材料（德国西格里）并提供单件加热器电阻及电阻均匀性；加热系统对外部电源谐波污染应符合国家标准，功率因数≥0.9这样保证了贵公司使用设备的平稳用电；

b.保温、导流装置

保温、导流装置采用指定品牌（德国西格里）高纯度等静压石墨材料和优质的隔热材料，设计合理，以便给熔硅稳定的液面温度及合适的温度梯度从而提高生产效率和保证较高的成晶率。

c．柔性碳毡：使用标准厚度，且上下均匀，捆绑使用φ3mm钼丝来保证热系统的长时间实用性。

2.3埚升、埚转装置

采用精密丝杠传动，使坩埚轴平稳运动，无爬行抖动从而体现了设备的先进性和高精密性。

2.4水冷系统

能有效地将单晶硅晶体凝固过程中散发的热量带走，并保证炉体安全有效运行；带流量、压力、温度显示或检测报警装置，能实时反应水冷系统是否正常运行。

2.5动力及控制系统

动力配电提供相应的主配电盘柜，主配电盘柜内应包括变压器、滤波器等。

控制系统采用PLC控制，器件采用西门子品牌，图形界面、界面友好，操作简单，操作系统必须汉化或直接使用中文操作系统。能有效地反应炉体运行状态，并具备故障自诊断，对一些安全隐患能及时提醒操作者注意；控制系统应包括不同工艺参数储存功能和故障信息的储存功能，并预留远传监控的通讯接口，能够实现中央集成控制，传输协议应公开，实现远程监控维护。

2.6真空系统

a.主室抽压使用水冷滑阀真空泵（使用上海神工真空泵），副室抽压使用旋片真空泵（QXZ-15）。

b.能快速有效地将真空炉体进行抽空，并满足炉体不同状态下的真空度要求，冷炉极限抽空时间可控制在90分钟以内；关键零部件如真空泵、真空计、

主体管道阀门（选用进口电动）、真空过滤器等采用进口元器件或国内知名品牌来保证设备长时间使用性，并提供真空泵与单晶炉之间的管道及安装工程指导。

2.7进气、出气控制系统

能维持炉内压力稳定，对整个控制系统起关键作用的伺服阀、质量流量计等必须采用进口；

2.8 钢结构平台

满足炉体安装使用，并方便设备维护保养等操作。

2.9环境条件:

（1）环境温度：20±5℃；

（2）相对湿度：≤65%(须保证没有结露情况的发生)，杜绝腐蚀性气体；

（3）洁净度：一般环境；

（4）外界振源当大于10 Hz时，振幅值应小于0.003 mm；

电压：三相五线制380V

频率:50Hz

所有电器设备须适合以下操作条件，并以不影响其性能为原则：

电压波动:±10％

频率波动:±2％

接地电阻:<1.0Ω

以上说明相关的技术参数等选用配件，证明了我公司所生产的NCZ系列单晶的先进性、产品质量高端性。

二²售后以及人员培训等工作要求如下：

1²售后的准备主要体现在设备的备品备件

A 随机备品备件清单

序号

名称

单

位

数量备注

1 石英玻璃块 1

2 石英玻璃块 1

3 石英玻璃块 1

4 石英玻璃块 1

5 石英玻璃块 1

6 石英玻璃块 1

7 电极石英护套支 2

8 电极套支 2

9 钼销支 1

10 籽晶引线条 1

11 埚传动皮带条 1

12 籽晶旋转皮带条 1

13 籽晶升降皮带条 1

14 O型圈条 1 隔离阀

15 O型圈条 1 主炉室

16 O型圈条 1 副室

17 O型圈条 2 电极

18 接近开关条 2

B 确认我们安装调试完成后，我公司根据设备运行状况开始抽离工作人员，在未来一年给予1-2名技术员不定期巡访贵公司进行维护和指导相关的机修人员工作。如贵公司设备有出现问题，我们将在2小时进行响应相关的指导工作。

C 在人员培训过程中我公司早已准备了相关技术文件和单晶操作工规程，并提供一名有经验的工艺工程师进行指导和培训，如客户有需要的条件下可安排相关人员来我公司试验车间进行长时间的培训工作。