充六氟化硫气体工艺

文件名称抽真空氦检充SF6气体工艺主管部门技术部
生效日期2019.11.16
文件制订 / 修订履历
制订/修订日期版本制订/修改内容编制2019．11.16 A/0 康伟涛
审核/日期批准/日期
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生效日期2019.11.16 1、操作说明
1.1 开机前准备
1、检查提供系统气动阀门和气缸工作的气源压力是否在正常范围内，正常范围为0.4~0.6MPa。

2、打开SF6 气瓶总阀门，并检查气瓶内气体压力是否足够，不足则更换气瓶。

3、检查系统电器控制柜中是否所有断路器均处在ON 位置，PLC 是否处于RUN 档位；
1.2 开机
将操作台处电控柜上“钥匙开关”由OFF 旋至ON 的位置，此时，电源指示灯点亮。

此时触摸屏初始画面即1.1 所示。

操作台处电控柜上“钥匙开关”由 OFF 旋至ON 的位置后，按下“开机”按钮依次启动泵组以及检漏仪，泵组启动过程中开机指示灯闪烁，泵组和检漏仪启动完成后开机指示常亮。

1.1 系统开机画面
1.3 检测工件
将工件放在推车上,推入箱体.将工件和箱体的接头连通，确定接头正常后，人员离开真空箱体,然后同时按下双开始按钮,系统将开始自动检测。

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1.2 信息提示
说明:1、如果系统出现故障（比如真空泵/压缩机热保护,高压罐压力过高,高压罐压力低,高压罐内氦气浓度低,以及检漏仪出错,通讯不正常等系统将给予提示）；2、箱内急停被按下；3、检漏仪不在检漏状态或未启动完成。

这些情况响对工件检漏，请及时解决出现的问题。

1.4 关机
按下“关机”按钮依次停止泵组，泵组停止过程中关机指示灯闪烁，泵组停止完成常亮。

将操作台处电控柜上“钥匙开关”由ON 旋至OFF 的位置，此时，系统断电，电源指示灯灭，结束后关闭N2,SF6,补氦气瓶阀门。

2、系统工作流程
系统工作流程如下(以自动模式为例):
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2.1 系统工作流程
STEP1----接头测试：
开始键按下，先判断工件接头数量（单接头时V45 打开，双接头时V45 和V46 打开），再检测接头是否堵塞：先将接头抽空数秒，然后关闭抽空阀等待3 秒，判断接头内压力是不是足够大，如果接头压力小则接头可能堵塞，否则接头通。

接头抽空时间可在触摸屏中设定。

相关参数：
系统参数 2：
17、接头测试前放气时间，18、接头测试抽空时间，19、接头测试压力变化值。

STEP2----关门：
检查门运动方向上是否有异物，如有则停止关门，并报错如果没有则关门。

关门到位并合门到位后给执行2。

如果关门后有异物阻挡或者门始终关不上，系统均有报警提示。

相关参数：
系统参数 2：
11、开/关门超时时间
STEP3----箱体粗抽空/工件粗抽空：
门关好后，运行指示灯亮，关闭VZ3、VZ2 打开VZ1 为箱体预抽真空，并通过箱体压力传感器监测箱体的压力，以便保证工件和箱体差压不超过设定压力。

若抽空过程中工件内压力和箱体压力超过设定的标准，则会发生报警，报警时只能按停止按钮结束。

按停止后箱体内放入大气后开门。

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生效日期2019.11.16 相关参数：
用户参数 1： 3、箱体粗抽空压力，4、工件粗抽空压力， 6、箱体/工件粗抽空超时，7、箱体抽空开阀时间，8、箱体抽空关阀时间，9、工件抽空开阀时间，10、工件抽空关阀时间。

STEP4----大漏检测：
箱体预抽完成后关闭箱体抽空阀VZ1，等待几秒钟待箱体压力平衡后，记录箱体平衡时的压力，然后再等待数秒钟进行保压，待保压时间到后，判断箱体内压力是否有变化，如果变化小于设定的值则合格，否则不合格。

不合格则只能按停止将箱体内放入空气然后开门。

相关参数：
用户参数 1：1、检大漏箱体压力变化允许值，2、检大漏工件压力变化允许值，5、检大漏真空箱保压时间。

STEP5----箱体/工件精抽：
进入箱体/工件精抽，先将工件抽空阀V2 打开，然后将工件内压力向下抽空一个压力梯度，然后再将箱体抽空阀打开将箱体压力向下抽空一个压力梯度，直到工件和箱体内压力均抽到精抽的压力。

相关参数：
用户参数 2：11、箱体精抽压力，12、工件精抽压力，13、精抽超时时间。

STEP6----工件测湿度：
在参数设置中充氦前测湿度：使用。

工件充氦前抽空完成后，系统记录此时工件的压力，
经过设置时间保压后，计算工件压力上涨值，超过设定值认为湿度不合格，自动进入下步：抽空干燥。

湿度合格，抽空干燥跳过，开始测本底。

相关参数：
系统参数 3：27、湿度检测保压时间，28、工件干燥超时时间；
用户参数 2：15、湿度检测压力平衡时间，16、湿度检测箱体变化允许值，17、湿度检测工件变化允许值，18、工件抽空干燥时间。

STEP8：氦检抽空：
工件/箱体精抽完成后，需要将箱体压力继续抽低方可进行氦检。

所以需要打开VZ1 继续对箱体抽空，打开V2 对工件抽真空，。

如果箱体氦检抽空过程中压力超标则系统报警并等待处理，此时可按停止按钮然后系统将同步对箱体和工件内放入空气然后开门。

此过程中可通过P1 检测箱体内真空变化。

相关参数：
用户参数 2：19、氦检箱体抽空压力，20、氦检工件抽空压力，21、氦检抽空超时时间。

STEP9----本底判断：
本底判断程序中，打开检漏阀VZ2 并检测真空箱本底是否大于检漏报警值，如果大于系统自动等待(或按开始键自动清本底至本底合格)，如果合格系统进入充氦工序。

如果真空箱本底在超时时间内均大于报警值则本底超时，本底超时后可按开始按钮继续，按停止按钮将工件和箱体内同步放入空气然后开门。

相关参数：
系统参数 2：12、测本底响应时间，14、本底报警值设定。

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用户参数3：22、清本底放气时间，23、本底超时时间。

STEP10----氦检漏：
氦检漏过程中先对检漏仪进行调零操作，即自动让检漏仪扣除当前的本底，以便读取真实的信号。

本底扣除后，打开V12 向工件充入氦气，充气到设定压力后，等待一段时间判断工件漏率是否超标，如果超标则报警并提示是否进行“吸枪检测、放气开门终止检测或充SF6”三个选项；如果选择吸枪检则进入吸枪充氦，若选择“开门终止检测、充SF6”则先进入回收工件内氦气然后直接向工件和箱体内同步放入空气后开门和对工件充SF6 后放空气开门。

如果合格进入氦气回收。

如果在设定时间内工件无法充到设定压力则充氦超时，此时可按停止按钮将工件内氦气回收然后开门。

相关参数：
系统参数 2：13、氦检响应时间，15、氦检漏率报警值设定。

用户参数 2：19、氦检箱体抽空压力，20、氦检工件抽空压力。

STEP11----氦气回收：
氦气回收过程中打开V31 进行高压回收，然后关闭打开V32 将工件内氦气由回收泵回收低压罐内，然后再由压缩机压到高压罐中。

直到工件内压力回收到设定压力，如果回收过程中在设定的时间内无法将工件内压力回收到设定值则报警，此时可按停止按钮将工件和箱体内同步放入空气，然后开门。

若回收过程中长按停止按钮也可以将工件和箱体内同步放入空气，然后开门。

回收完成后进入工件清洗。

相关参数：
用户参数 3：28、高压回收截止压力，29、低压回收截止压力，30、回收超时时间。

STEP12----工件清洗：
工件清洗过程中将先打开V13，向工件内放入一个压力梯度的氮气，然后关闭V12 再打开V2 将工件抽空；此工序完成后再对工件进行抽空，抽空时间由触摸屏设定，清洗完成后进入充SF6 工序。

（若工件清洗次数设定为“0”时，则氦回收完成后直接进入12，工件不进行清洗）
相关参数：
用户参数 4：31、充SF6 前充氮清洗次数，32、充氮清洗充氮压力，33、充氮清洗抽空压力，34、充氮完成气体平衡时间，35、充氮清洗充氮超时。

STEP13----充注 SF6：
此程序中将先打开VZ3 向箱体内放入一个压力梯度的空气，然后再打开V14 和V15 将工件腔内充入1 个压力梯度的SF6，然后如此不断的反复直到工件内充气到设定压力（压力到
100000Pa 后只用V15 对工件进行精确充SF6）。

若充注过程中箱体和工件内压力超标则系统自动进行平衡，然后等待用户处理，按开始按钮继续，按停止按钮将工件和箱体内同步放入空气，然后开门。

若在充SF6 过程中长按停止按钮也可对工件和箱体内同步充入空气然后开门。

相关参数：
用户参数 4：36、充SF6 前抽空延时，37、充SF6 压力，38、充SF6 开阀时间，39、充SF6关阀时间，40、充SF6 超时时间。

STEP14----工件和箱体放气：
此程序将会打开VZ3 向箱体内放入空气, 打开V52 向工件内放入空气，然后进入开门，若在此过程中
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生效日期2019.11.16 压力超标则只能进入手动调试窗口将工件和箱体压力平衡，然后断电重新启动。

相关参数：
用户参数 4：22、工件进气压力，23、箱体进气压力，24、箱体进气超时，25、箱体进气延时
STEP15----开门：
开门程序中先将门推出然后在将门拉开。

停止检漏或真空氦检不合格弹出操作画面流程：
图2.2 氦检不合格弹出流程
手动停止检漏处理
按下停止键，工件内氦未回收完成，则开始氦气回收，氦气回收完成，工件箱体同时进气，工件箱体进气完成，系统开门。

氦检不合格弹出操作
1：选则吸枪检，先点吸枪检，再点对应的确认开始，系统开始吸枪充氦（工件充氦/箱体进气），吸枪充氦完成，系统自动开门。

点“查漏点”后拿着吸枪沿工件表面查找可疑漏点，漏率超过吸枪报警值，面板报警灯会提示报警。

查漏点结束后点击“查漏点完成开始回收”，系统先关门，接着对工件进行氦气回收（先高压回收，接着同步抽空回收），氦气回收完成工件箱体进气，工件箱体进气完成，系统开门。

2：选择充注SF6，先点充注SF6，再点对应的确认开始，系统开始氦气回收，氦气回收完成，接着工件清洗、充SF6 前抽空、完成后工件充SF6/箱体进气，工件充SF6/箱体进气完成后，系统开门。

以下情况使用此项，A:利用SF6 检漏法查找漏点；B:实验品
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生效日期2019.11.16 3：选则检漏中止，先点检漏中止，再点对应的确认开始。

此选择类似工件内氦未回收完成手动停止检漏的处理。

先氦气回收，氦气回收完成，工件箱体同时进气，工件箱体进气完成，系统开门。

相关参数：
系统参数 2：16、吸枪漏率报警值设定，
用户参数 5：41、吸枪充氦压力，42、吸枪充氦超时时间。

3、工作窗口操作介绍
系统人机界面提供了两个基本窗口，这两个基本窗口从不同的角度形象的展示了系统当前的工作情况。

3.1 工作流程图
图 3.1 动作流程图
工作流程图上提供了：
1、工作流程框图。

（绿色表示正在进行的过程）
2、检漏结果。

（工件测湿度不合格提示、接头堵塞等）
3、系统提示。

（气源不足、泵组热保等）
3.2 工作气路图
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生效日期2019.11.16
图3.2 工作气路图
工作气路图上提供了：
1、真空箱检漏系统和充气回收系统结构图。

2、阀的运行状态（其中阀门红色表示关闭，绿色表示打开）和传感器读数。

相关记录
记录编号记录名称归管部门保存年限
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