车间ESD防静电控制程序

Aidi-QEM-2-025 2015年9月28日A1 焦耀凯

1.目的:

对公司电子产品制造工艺进行防静电保护，减少或消除静电放电对产品的损伤，提高客户的满意度。

2.範圍:

本文中的各项要求适用于防静电敏感区域；当客户的产品有特殊要求时，采用客户要求。

3.职能分工

4.1 生产部门指导ESD设备、设施的主要设置项目做维护、点检。

4.2 各制程操作人员每天对工作台面的接地线是否连接良好做点检。

4.3 IPQC负责依据《车间ESD稽核检查表》进行ESD点检稽核。

4.4 各职能部门负责按ESD控制文件要求实施。

4.0 参考文件

ESD控制国际标准

5. 术语：

静电放电(ESD) 当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时,因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象。

静电敏感元器（SSD ）凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。

静电保护材料具有以下一种或多种能力的材料,被称作静电保护材料:限制产生静电,迅速耗散材料表面或体积上的静电荷,屏蔽静电放电、火花放电、静电场。静电保护材料根据其表面电阻率的大小(或导电性)分为导电材料、静电耗散材料和抗静电材料.

人体静电人体由于自身行动或与其它的带电物体相接触或相接近而在人体上产生并积聚的静电。人体电阻人的体内电阻与皮肤电阻之总和。

抗静电材料表面电阻率大于109 Ω、小于或等于1014Ω的静电放电保护材料。

防静电服为了防止人体和衣物的静电积聚,用防静电织物为衣料而缝制的工作服。

防静电鞋具有良好的导电性能,因此可在尽可能短的时间内消除人体静电积聚,但不能防止因偶然触及工频电(220V以下)而导致人体遭受电击的鞋类。

防静电工作区为保障静电敏感器件(SSD)免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域,通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员,必须严格遵循防静电作业规范。

人体静电防护系统人体静电防护系统主要由防静电工作服、腕带、鞋袜、帽、手套或指套等组成。这种整体的防护系统兼具有静电泄露、中和与屏蔽的功能。

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6.0程序说明

6.1 ESD保护由设计来源或零件供应商提供组件及产品之防护等级。范围涉及采购、收料、储存、运送、制程、测试及

可靠性实验。生产部门汇总ESD防护要求，相关环节必须严格按ESD控制要求规范作业。

6.2 采购ESD 控制

6.2.1依据规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防护要求；其它ESD防护器材

采购时，须按测试工程师制定的标准进行采购。

6.2.2 须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。

6.2.3 要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。

6.3 收货部门防ESD控制

6.3.1 依据采购订单，对ESD零件进行清点验收，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。

6.3.2 ESD组件与非SSD应分区堆放，并做显著标示。

6.3.3 检查ESD组件的包装与标示是否正确。

6.3.4 开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。

6.3.5 ESD防护器材收货时除数量正确外，还应对其ESD防护等级用专用的仪表进行检测，确定进货静电防护等级

与标准是否相符，禁止不合格ESD防护产品进入工厂。

6.4 进料检验(IQC)的ESD控制

6.4.1 IQC需依零件承认书上之要求进行检验，确认静电防护及标示是否正确。

6.4.2 IQC在做检验时要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，须有ESD手环，ESD工作衣、手套、防静电

桌垫，工作桌须接静电地。

6.4.3 检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。

6.4.4 检验员对防静电袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进行静电检

测，并如实在《防静电材料IQC检验记录表》中记录好检测数据，如检测到不良即依不合格品处理程序

执行。

6.5 零件材料储存,暂存部门的ESD控制

6.5.1 在仓库存放SSD须在存放区加以标示清楚。

6.5.2 存放架要接地处理。

6.5.3 不可在存放区直接拆开组件包装，直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。

6.5.4 在存放区搬运SSD须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。

6.5.5 物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。

6.5.6 对磁带/磁盘及其它软件或资料储存的媒体，应装在防静电的包装袋内，并存放有明显标志且有良好接地

的料架或柜内，取放时应佩戴好接地良好的防静电环。

6.6 物料运送ESD控制:

6.6.1 对SSD须使用专用防护工具运送。

6.6.2 搬运人员须戴防静电手套、防静电脚环，穿防静电衣、鞋等。

6.6.3 运送过程中须有正确ESD包装。

6.6.4 依据物料运送规范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆栈。

6.7 制造过程中的ESD控制:

6.7.1 SSD加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手环

可靠接地；未做好静电防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静

电各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。

6.7.2 对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包

装或其它防静电容器内。

6.7.3 SSD在组装中，依据工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。