表面粗糙度测量仪的检定一

触针针尖半径标称值/um
2
5
触针静态测量力在触针平均高 度上的最大值/N
静态测量力变化率的最大值/ （N/m）
0.00075 35
0.004 200
10 0.016
800
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
【检定方法】将触针针尖轻轻地压在电子天平上（对于导 头式仪器，导头应悬空），通过立柱的升降手轮调整传感 器的高低位置，使传感器触针位移显示指向零位。读出天 平的示值，再乘以重力加速度g，即为触针静态测量力。
计量器具检定与调修
第六章 表面粗糙度测量仪的检定与调修 第三节 表面粗糙度测量仪的检定一
第三节 表面粗糙度测量仪的检定一
【教学内容】 ●检定前的准备工作
●传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 ●传感器触针静测力及其变化率的检定 ●传感器导头压力的检定 ●传感器导头工作面粗糙度的检定 ●传感器导头圆弧半径的检定
2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定 【例如】通过万能工具显微镜测出工件圆弧上任意的三 点的坐标值。
被测工件
工件圆弧上任意三点的坐标值
X
1
86.885
2
95.459
3
102.396
Y 35.343 35.560 35.301
2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定
1.表面粗糙度测量仪检定前的准备工作
检定前的准备：校准触针式仪器的室内温度应在(20±3)0C 范围内，湿度不超过65％。校准室内应无影响测量的灰尘、 振动、噪声、气流、腐蚀性气体和较强磁场。被校仪器及 校准用测量设备在室内连续平衡温度的时间不少于4h。校 准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30min。
【例如】在AutoCAD中绘制出这三个点，绘制出圆弧并测量 出该圆弧的半径值，最后得到圆弧的半径值即为工件圆弧的半 径值为R123.93mm。
圆弧上三点以及圆弧半径值
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
【要求】传感器触针静态测量力及其变化率不超过表中 的规定。
传感器静态测量力及其变化率
2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定
【检定方法】运用万能工具显微镜对触针针尖圆弧半径进行检 定时，可以利用万能工具显微镜的主显微镜在被测的触针针尖 圆弧上测出任意三点的坐标值（即X、Y方向上的坐标值），再 通过计算机绘图软件，将这三个点绘制成一段圆弧，最后利用 计算机绘图软件的测量工具测量出圆弧的半径值，即可得到被 检定的传感器触针圆弧的半径值。
【检定方法】检定触针静态测量力变化率时，选用仪器最大 量程，调整传感器的高低位置，当针尖在上下两个极限位置 时，如图所示浮标在触针位移指示窗口+10um处为上极限位 置，浮标在触针位移指示窗口-10um处为下极限位置，分别 读出电子天平的示值。计算两示值与重力加速度乘积，即得 上下两极限位置静态测量力。通过静态测量力计算出静态测 量力的变化率。
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
触针位移指示窗 口-10um处为下
极限位置
触针位移指示窗 口+10um处为上
极限位置
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
1

F1 F0 h1
,2

F2 F0 h2
式中：F1，F2——上下极限位置静态测量力，单位N; F0——工作点的静态测量力，单位N； h1，h2——上下两极限位置偏离工作点的距离，单位m; η1，η2——静态测量力的变化率，单位N/m。
2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定
【要求】传感器触针针尖圆弧半径：2±0.5um 、2±0.5um 、
10±2.5um
。圆锥角度6
0100 -50
或90-15000
。棱锥形针尖半径与角度要
求同上。
表面粗糙度测量仪传感器触针
2.表面粗糙度测量仪传感器触针针尖圆弧半径及角度的检定
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
电子天平
传感器导头与触针
3.表面粗糙度测量仪传感器触针静测力及其变化率的检定
传感器触针位 移为0时，触针 位移显示浮标 到达此“0”位 。
传感器触针静态测量力检定示意图
传感器触针零位显示窗口
导头压力检定示意图
5.表面粗糙度测量仪传感器导头工作面粗糙度的检定
【要求】表面粗糙度测量仪传 感器导头工作面不应有波纹、 划痕、毛刺等疵病，其粗糙度 Rz不超过0.1um。 【检定方法】传感器导头工作 面粗糙度用干涉显微镜进行检 定，外观用20倍放大镜观察。
干涉显微镜
5.表面粗糙度测量仪传感器导头工作面粗糙度的检定
【检定方法】检定时用扫描电镜、400倍以上显微镜、刀刃法专 用测量设备进行检定。根据计量检定与调修实训室的设备，可以 选用400倍的万能工具显微镜进行触针针尖圆弧半径和圆锥角度 的检定。利用万能工具显微镜的测角目镜对触针圆锥角度进行检 定时，旋转测角目镜手轮，可使米字线分划板和度盘一起做3600 的转动。用米字线瞄准触针圆锥轮廓，通过读数显微镜对度盘进 行读数，读出米字线分划板的转角，即为被测的角度值。
4.表面粗糙度测量仪传感器导头压力的检定
【要求】表面粗糙度测量仪传 感器导头压力范围：0.15N-0.3N。 【检定方法】将传感器导头压 在测力装置上，并使传感器处 于水平位置。读出电子天平的 示值，再乘以重力加速度g，即 为导头压力。
F导头 mg
电子天平
4.表面粗糙度测量仪传感器导头压力的检定
【注意】干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度的 一种仪器。被测表面有一定的粗糙度就呈现出凹凸不平的峰 谷状干涉条纹的数目和峰谷的弯曲程度，即可计算出表面粗 糙度的Ra值。必要时还可将干涉条纹的峰谷拍照下来评定。 干涉法适用于精密加工的表面粗糙度测量。适合在计量室使 用，测量范围一般为Rz0.032~0.8um 。