真空炉操作规程

高真空热处理炉操作规程
一、使用注意事项：
1、炉子使用前，先检查炉体周围，严禁放置易燃，易爆物品。

2、真空炉运行前，确认各项准备工作已就绪，如内、外循环水的供应，各气体的供应，电系统的供应及备用电源系统，确认工艺及程序等。

3、装炉前要检查真空炉内加热元件是否完好，以及炉膛内是否清洁，待处理材料必须清洗干净并烘干后，方可装炉。

4、使用人必须熟悉真空炉操作基本按钮，明白其所代表的意义及作用，并掌握日常操作。

5、真空炉运行后，除遇特殊情况，如故障报警等，否则，不要对设备进行维修及随意修改运行程序参数。

6、真空炉运行后，定时检查各设备的状况，尤其是对供气系统，内、外循环水系统。

7、检查水冷机管道连接，确保设备上的进水口与水冷机上面的冰水出相连接，设备上的出水口与水冷机上的冰水进相连接。

8、冬季不使用炉子时应及时放掉冷水机以及管道中的水，以免内部水管冻裂。

9、有条件的情况下最好在循环水源上再接一路多用水源，即接入自来水备用，如停电应立即打开备用水源，保护炉体。

10、钼发热体较脆，放置坩埚及拆卸保温层是应小心，否则会损坏发热体。

11、使用一段时间后要对炉体进行空烧或者用保护气体高温清洗，避免时间长炉膛内污染对加热材料影响。

12、使用中，操作人员必须对于使用日期，各项操作时间、真空度、炉子温度等如实记录、签字、存档。

二、操作流程：
1、打开炉门，装料。

关闭炉门并确保炉膛密封完好。

2、检查各手动真空阀门，确保处于关闭状态。

3、送入总电源，控制显示屏亮。

4、打开水冷机电源，在水冷机操作界面上输入需要的水温，启动水冷系统（详见水冷机使用操作说明书）。

5、打开旋片泵上的排气口，确保气体循环。

（旋片泵使用完毕后，封上排气孔，避免杂物进入旋片泵）保证扩散泵、旋片泵阀门处于关闭状态。

6、在触摸屏操作界面上启动旋片泵和扩散泵。

7、缓缓旋转打开旋片泵阀门，避免排气口由于气量过大喷油。

8、待旋片泵、扩散泵运行1小时左右及真空计右侧显示屏上显示小于100Pa后，关闭旋片泵阀门，打开扩散泵阀门。

9、待真空计显示屏上达到需要的真空度后关闭真空泵组后开始升温。

（真空泵组关闭流程：先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→ 40分钟后停止旋片泵）也可抽真空过程中加热。

10、在升温操作界面上输入需要的工艺要求，开始加热。

11、待升温程序停止后，（如果是加热过程中抽真空，待炉膛温度降
到适合工艺的温度后，关闭真空泵组，关闭流程同上）扩散泵温度降到可触碰温度方可关闭水冷机。

12、等炉温降到室温时，打开放气阀，待炉膛内部气压到大气压。

13、将炉门打开，取出材料。

14、取出材料后要对炉膛内部进行清洁，长期不使用时炉门保持关闭状态，并使炉膛内部保持真空状态。