我国电子化学品的现状与发展前景_吴坚

2005年 12月 6日
吴坚 , 等 :我国电子化学品的现状与发展前景
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为世界液晶显示需求增长最快的国家 。
2003年 , 世界 TFT-LCD用液晶材料的产值达到
约 20亿美元 , 需求量为 250t左右 ;TFT-LCD用 基片 玻璃市场规模已达 3000万 m2, 属于高档硼酸玻璃 ,
目前 , 国内有 ITO导电玻璃生产线约 40条 , 主要 厂商有苏州硝子 、深圳南玻 、深圳莱宝等 , 年生产能力 超过 500万片 (以 14″×14″为标准计算 ), 在低 、中档 (TN、STN)产品方面生产数量位居世界第一 , 已成为 世界上 ITO导电玻璃的主要生产国 。但国内目前还 不能生产显示器件用基片玻璃 。
FPD是具有广阔应用前景的显示技术 , 它融合了 微电子技术 、液晶显示技术等 。 FPD主要包括液晶显
刻浆料 、光刻介质浆料 、三基色荧光粉光刻浆料和黑 矩阵形成光刻浆料等 )。 1.2 .1 LCD材 料
目前 我国有 LCD生产企 业 60家 , 产量 占世界 LCD总产量的 25%。 近年来 , 我国已掀起发展薄膜 晶体管 LCD(TFT-LCD)的热潮 , 吉林彩晶电子股份有 限公司 、南京新华日液晶显示有限公司均已成功建成
表 1 国际著名光刻胶生产公司
公 司 名称 东京日化 合成橡胶 Sumitomo Shipley Arch Clariant 合计
国 别 日本 日本 日本 美国 美国 欧洲
2002年世界市场份额 /% 27.0 16.0 9.8 21.0 9.6 7.0 90.4
表 2 我国光刻胶使用品种体系
序号
光 刻胶 体 系
主 要 成 分
主 要 用 途
1 环化橡胶型紫外负型光刻胶 2 g线正型光刻胶 3 i线正型光刻胶 4 248 nm光刻胶 5 193nm光刻胶 6 电子束光刻胶
成膜树脂 :聚异戊二烯环化产物 感 光 剂 :双叠氮化合物 成膜树脂 :线性甲酚醛树脂 感 光 剂 :多羟基化合物和重氮萘醌磺酸酯 成膜树脂 :改性线性酚醛树脂 感 光 剂 :多羟基化合物和重氮萘醌磺酸酯 成膜树脂 :改性聚对羟基苯乙烯等 感 光 剂 :鎓盐光致酸产生剂等 成膜树脂 :聚酯环丙烯酸酯等 感 光 剂 :光致酸产生剂 成膜树脂 :多元共聚物 感 光 剂 :光致酸产生剂等
目前在国内市场上应用的光刻胶品种主要有 5 类 , 生产现状是 :环化橡胶型紫外负型光刻胶和普通 g线光刻胶已具备生产能力约 100t/a, 生产单位有苏
州瑞红电子化学品公司和北京化学试剂研究所 , 无锡 市化工研究设计院有限公司能少量提供电子束光刻 胶及其它一些特种光刻胶 , 其它光刻胶产品全部依赖 进口 。我国光刻胶使用品种体系见表 2。
最具活力的行业之一 。
1 现状
电子化学品的特点之一是品种繁多 , 较大的类别 有光刻胶 、平板显示器 (FlatPanelDisplay, FPD)专用 化学品 、印刷电路板材料 、高纯试剂 、电子特种气体 、 封装材料等 , 我国能工业化生产或能提供批量生产的 品种近 1000种 。 1.1 光 刻胶
彩色滤光片 偏光片 液 晶 玻璃基片 背光模组 驱动 IC 其它材料 、耗材 总 计
所占比例
17 8 3 3 11 13 15 70
其它部分 设备折旧 人工费用 厂房折旧 税 金 维修费用
总 计
所占比例 13 6 5 4 2
30
2002年 , 我国石家庄 、清华亚王等 4 家液晶材料 制造商共出售 26.5t液晶 (含单体和混合晶体 ), 销售 额 1.77 亿元 , 同比增 长分别 为 39.6%和 18.07%。 目前我国液晶材料还只有中低档的 TN、STN型 , 高档 TFT型材料还停留在实验室阶段 。
与世界水平相比 , 我国电子化学品虽近年来发展 也较快 , 但总体水平还较落后 。 在目前全世界信息产 业的市场规模 已突破 2 万 亿美元 的大背 景下 , “十 五 ”期间我国信息产品制造业的年均增长率超 过了 20%, 受此 影响 , 电子 化学品 的年均 增长率 也超 过 20%。 预计到 2010年 , 我国的电子化学品市场规模 将超过 200亿元 , 将成为化工行业中发展速度最快 、
示器 (LiquidCrystalDisplay, LCD)、等离子体显 示器 (PlasmaDisplayPanel, PDP)等 , 主要 用于 笔记本 电 脑 、台式计算机和大屏幕彩电 、移动通信 、数码摄像机
TFT-LCD生产线 , 上海广 电集团 、北京京东 方集团 、 深圳天马微电子公司 、普天集团公司 、TCL公司等也 拟引进或合作生产 TFT-LCD产品 。 目前 , 我国已成
我国光源模块的生产企业主要为外资企业 , 如台 湾中强光电 、冠鑫在苏州设立的背光模厂 , 台湾中强 光电 、辅祥 、科桥在吴江设立的背光模厂 , 台湾大亿在 无锡设立的背光模厂等 , 2004年我国背光模组 工厂 月产能大约在 250万片 。
国内偏光片制造商主要是无锡阿尔梅感光化学 公司和日本电工 、力特在苏州设的偏光板厂 , 其中无 锡阿尔梅感光化学公司生产的偏光片基广泛应用于 各类电子液晶显示屏的制造 , 型号有 P-80、P-70, 除供 国内市场外 , 还出口日本等国 。 此外 , 北京化学试剂 所的 BP218系列正型光刻胶适用于 TN/STNLCD的 单色滤光片光刻制作 , 有 3种不同粘度的产品 , 可满 足不同产品工艺和膜厚的需要 ;中日合资苏州瑞红电
等终端产品 。 根据 FPD的类型 , 其专用化学品的品种目前主
要有 :LCD材料 (ITO导电玻璃 、液晶 、彩色滤光片 、光 源模块 、偏光片 、光刻胶 、导电胶及粘 合剂和清洗剂 等 )、PDP配套系列光刻浆料 (光刻导电银浆 、障壁光
等的研究 , 做出合格的样品 。 其中 193nm光刻 胶的 检测 结 果为 :最佳 分 辨率 0.1μm, 灵敏 度 <30mJ/ cm2 ;电子束化学增幅抗蚀剂的测试结 果为 :分辨 率 0.15μm, 灵敏度 5 ～ 10μC/cm2。 1.2 FPD专用化学品
长 。 已公开发表文章多篇 。
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精细与专用化学品
第 13卷第 23期
趋势 为 :g线 (436nm)※ i线 (365nm)※ 248nm※ 193nm※EUV(157nm), 与之对应的是各类光刻胶的 不断开发和生产 。
近年来 , 国外 248nm光刻胶 已进入生产实用 阶 段 , 线宽已达 0.25μm, 用于 256M动态随机存储器的 生产 ;193nm光刻胶成膜树 脂的研究已 进入实用 阶 段 , 分辨率可达 0.15μm左右 , 可以满足 1G随机存储 器的要求 , 并已有成熟的产品在 4G集成电路制作中 使用 ;157nm光刻胶是近年光刻胶研究的热点 , 有可 能在纳米级集成电路中应用 。 国际著名光刻胶生产 公司见表 1。
Abstract:Theproductionandapplicationofphotoresist, specialtychemicalsforflatpaneldisplay, printedcircuit boardmaterial, high-purityreagent, specialtygasandpackagingmaterialinChinaweresummarized.Atpresent, 1000 electronicchemicalscanbeproducedinChinaincommercialscaleorinbatches.Electronicchemicalindustrydeveloped lopsidedlyinrecentyears, shortageinsupplyisthemaincharacterinthecurrentmarket.Itisforecastedthatin2010 the marketsizeofelectronicchemicalsinChinawouldbeoverRMB20 billionandwouldbecomeapotentialgreatmarketofthe world' selectronicchemicals.
子化学品有限公司生产的 LCD用正性光刻胶 , 已形 成电子级产品的工业化规模 , 可满足 TN、STN、TFT的 单色滤光片使用要求 , 在国内 LCD光刻胶市场的占 有率已达 50%以上 。 1.2 .2 PDP配 套化 学品
PDP被视为未来进入家庭的大尺寸电视的主流 。 我国 PDP产业目前主要有彩虹集团公司 、中国电子 科技集团第 55 研 究所建 成的 42 英寸 PDP屏研制 线 、东南大学荫罩式 PDP屏研究成果 、上海松下公司 年产 24万块 PDP屏及模块 生产线 、韩国 LG-Philips 公司在南京建立的 PDP模块生产线 、华映光电公司 在福州马尾开发区建成的 PDP屏生产线等 。
目前集成电路制造工艺中采用的主流技术是紫 外线和深紫外线 (即 g线 、i线 、248nm)为光源的光刻 技术 。随着集成电路线宽不断缩小 , 光刻技术的发展
＊ 收稿日期 :2005-10-31 作者简介 :吴坚 (1959-), 女 , 中国电子材料行业协会精细化 工与高 分子材 料分会 秘书长 , 全国 电子化 工材料 信息站 副站
与一般扭曲向列 LCD(TN)、超扭曲向列 LCD(STN)
所用钠玻璃不同, 主要制造商为日本电气硝子
(NEC)、旭硝子 、美国康宁公司等 ;偏光片市场至 今
为止几乎由日本 4家公司垄断 , 产量约为 840万 m2 。
TFT-LCD材料成本构成见表 3。
表 3 TFT-LCD材 料成本构成
%
材 料
关键词 :聚酰亚胺 ;高纯金属有机化合物 ;液晶 ;湿法化学品
StatusandTrendsofElectronicChemicalsinChina
WUJian, ZHANGCheng
(WuxiChemicalIndustryResearch＆ DesignInstituteCo., Ltd., Wuxi214031, China)
半导体分离器件 、 2μm以上集成电路的制作 0.6 ～ 1.2μm集成电路制作 0.35 ～ 0.5μm集成电路制作
0.25 ～ 0.13μm集成电路制作 0.1 ～ 0.06μm集成电路制作
电子束直写制作掩模版
“十五 ”期间 , 科技部在国家 高新技术计划 (即 “ 863”计划 )中对 193nm光刻胶 、电子束化学增幅抗 蚀剂 (即电子束化学增幅光刻胶 )的研究作了安排 , 北京化学试剂研究所和无锡市化工研究设计院有限 公司通过对主体树脂 、光致产 酸剂 (PAG)以及配 方
Keywords:polyimide;high-puritymetallorganiccompound;liquidcrystal;wetchemicals
20 世纪 90 年代以来 , 信息技术越 来越受到 重 视 , 发展速度之快超出了人们的预料 。与之相配套的 电子化学品的世界年均增长率保持在 8%以上 , 是化 工行业中发展最快的领域 。预计 2005年世界电子化 学品市场规模将超过 300亿美元 。
第 13卷第 23期 2005年 12月 6日
精细与专用化学品 FineandSpecialtyChemicals
专论与综述
我国电子化学品的
现状与发展前景百度文库
Vol.13, No.23 · 1·
吴 坚 ＊ 张 诚 (无锡市化工研究设计院有限公司 , 江苏 无锡 214031)
摘 要 :综述了我国光刻胶 、FPD专用化学品 、印刷电路板材料 、高纯试剂 、电 子特种气体和封装材料的生产和 应用现状 , 目前我国能工业化生产或批量生产 的电子 化学品 近 1000种 。 我国电 子化学品 行业近 年来的 发展并 不 平衡 , “短缺 ”是当前市场最根本的特征 。 预计 2010年我国电子化学品的市场规模将超 过 200 亿元 , 将成为全球 电 子化学品潜在的大市场 。