声光式外差干涉仪的光路设计与分析

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ｒｃｐｉｎａｄｏｔａａｊｓｍｅｔａｅｎｄｎ．Ｔｅｔｅｕｔｐｏｅｅｐｏｅｔｃｎｂｓｄｆｒｅｅｔｎｐｉｌｄｕｔｎｓｂｅｏｅｏｃｈｓｒｓｌｒｖｄｔｒｊｃａｅｕｅｏｈ
ｈｔቤተ መጻሕፍቲ ባይዱｒｄｙｎｅｆｒｅｅｏｎｅｉｔｒｅｏｍｅｅｅｓｒｍｅ．ｔｒｍａｕｅｎｔ
Ｋｅｒｓｃｕｔ — ｐｉｄｌｔｒｅｅｏｙｅｉｔｒｅｏｔｒｐｉａｄｓｍｅｔｙｗｏｄ：ａｏｓｏｏｔｍｏｕａｏ；ｈｔｒｄｎｎｅｆｒｍｅｅ；ｏｔｃｌａｊｔｎｃｕ
引言
外差干涉仪能够以简单的相位比较取得较高的测量分辨力，于其结构简单，干扰能力强等优由抗势，泛应用于纳米测量技术领域。国内外的一些双频激光干涉仪多采用塞曼效应产生双频，差在广频
Ａｎａｙｉｎｄｄｓｇｆａｏｓｏｏｉｅｅｏｙｅｉｅｆｒｍｅｅｌｓｓａｅｉｎｏｃｕｔ－ｐｔｃｈｔｒｄｎｎｔｒｅｏｔｒ
ＪＵＡｉｏｇ。Ｈ０ＵｅｍｅｓｎＷｎｉ
（ｃｏｌｏｔｃｌＥｌｃｒｃｌａｄＣｏｕｔｒＥｎｉｅｒｎＳｈｏｆＯｐｉａ— ｅｔｉａｎｍｐｅｇｎｅｉｇ，ＵｎｖｒｉｙｏｈｎｈｉｆｒｉｅｓｔｆＳａｇａｏｃｅｃｎｃｎｌｇＳｉｎｅａｄＴｅｈｏｏｙ，Ｓａｇａ００３，Ｃｈｎ）ｈｎｈｉ２０９ｉａ
Ａｂｔａｔｓｒｃ：Ｄｅｅｏｍｅｔｏｎｆｃｕｉｇｉｄｓｒｒｅｔｅｄｏｍｅｓｒｍｅｔａｄｌｃｔｎｖｌｐｎｆｍａｕａｔｒｎｎｕｔｙｕｇｎｌｎｅｓｔａｕｅｎｎｏａｉｙｏ
ｆｅｕｎｙｄｆｅｅｃ，Ｓａｃｉｖｉｈｓｅｄｍｅｓｒｍｅｔｂｎｒｄｃｎｃｕｔ — ｐｉｒｑｅｃｉｒｎｅＯｗｅｃｎａｈｅｅｈｇｐｅａｕｅｎｙｉｔｏｕｉｇａｏｓｏｏｔｃｆ
＊
句爱松，文玫侯
（上海理工大学光学信息与计算机工程学院，海上２０９）００３
摘要：造业的发展迫切需要对高速加工过程中的物体进行测量和定位，用声光调制法实现制利外差干涉能产生较高的频差可以实现高速测量。文中对声光式外差干涉仪的光路设计进行了分析，出了空间分离一级衍射光和零级衍射光的一种方案，提并且对光拍频的接收，光路的调整
进行了分析，实验结果证明该实验系统可以用于外差干涉测量。关键词：光调制器；外差干涉仪；路调整声光中图分类号：ＴＨ４文献标识码：７１Ａｄｉ０３６／．ｓｒ１０ —６０２１．２０６ｏ：１．９９ｊｉＬ０５５３．０１０．０ｓ
第３３卷第２期２１年４０１月
光
学
仪
器
Ｖ０．３，ＮＯ１３．２Ａｐｒｌ２１ｉ．０１
ｏＰＴＩＣＡＬＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳＩ
文章编号：１０ —６０２１）２０２ —４０５５３（０１０ — ０５０
声光式外差干涉仪的光路设计与分析
ｍｏｕａｏｉｔｈｔｒｄｎｉｔｒｅｏｅｅ．Ｏｐｉａｄｓｇｏａｏｓｏｏｔｃｈｔｒｄｎｄｌｔｒｎｏｅｅｏｙｅｎｅｆｒｍｔｒｔｃ１ｅｉｎｆｃｕｔ— ｐｉｅｅｏｙｅ
ｉｔｒｅｏｅｅａｅｎａａｙｅｎｔｉｒｉｌ．Ａｃｅｅｗａｒｐｓｄｔｅｌｅｔｅｓａｅｎｅｆｒｍｔｒｈｓｂｅｎｌｚｄｉｈｓａｔｅｃｓｈｍｓｐｏｏｅｏｒａｉｈｐｃｚｉｏａｉｎｏｈｉｓｉｒｃｉｎｌｈｎｅｏｏｄｒｄｆｒｃｉｎｌｈ．Ｔｈｎｌｓｓｏｇｔｅｔｓｌｔｏｆｔｅｆｔｄｆａｔｏｉｔａｄｚｒ — ｒｅｉａｔｏｉｔｒｆｇｆｇｅａａｙｉｆｌｈａｉｂ
ｔｅｏｊｃｓｉｉｈｓｅｄｍａｈｎｎｒｃｓｅ．Ｔｈｃｕｔ — ｐｉｍｏｕａｏａｅｅａｅｈｇｈｂｔｎｈｇｐｅｃｉｉｇｐｏｅｓｓｅｅａｏｓｏｏｔｄｌｔｒｃｎｇｎｒｔｉｈｃ