【CN109980037A】全无机钙钛矿微米片、肖特基型紫外光电探测器及制法【专利】

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910170863.6

(22)申请日 2019.03.07

(71)申请人武汉大学

地址 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山

武汉大学

(72)发明人方国家　桂鹏彬　

(74)专利代理机构武汉科皓知识产权代理事务

所(特殊普通合伙) 42222

代理人俞琳娟

(51)Int.Cl.

H01L 31/101(2006.01)

H01L 31/18(2006.01)

H01L 31/032(2006.01)

H01L 31/0352(2006.01)

(54)发明名称全无机钙钛矿微米片、肖特基型紫外光电探测器及制法(57)摘要本发明提供全无机钙钛矿微米片、肖特基型紫外光电探测器及制法。微米片的制备方法包括：步骤1.配制CsPbCl 3溶液；步骤2.将CsPbCl 3溶液滴加到衬底上，然后将另一片衬底覆盖在滴有CsPbCl 3溶液的衬底上，得到夹设有CsPbCl 3溶液的双层衬底；步骤3.将双层衬底移入盛有反溶剂的容器中，并使衬底高于液面，然后将容器密封；步骤4.将容器置于热台上，在30～70℃下，生长12～96h，最终在衬底上生长出CsPbCl 3钙钛矿微米片。进一步基于此制备得到具有ITO左电极/钙钛矿微米片/ITO右电极结构的探测器，该探测器具有响应度高、灵敏度高、响应恢复时间快等优点，

并对紫外光具有选择性探测能力。权利要求书1页说明书6页附图5页CN 109980037 A 2019.07.05

C N 109980037

权　利　要　求　书1/1页CN 109980037 A

1.一种全无机钙钛矿微米片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1.配制摩尔浓度为0.01mol/L～0.1mol/L的CsPbCl3溶液；

步骤2.将CsPbCl3溶液滴加到衬底上，然后将另一片衬底覆盖在滴有CsPbCl3溶液的衬底上，得到夹设有CsPbCl3溶液的双层衬底；

步骤3.将双层衬底移入盛有反溶剂的容器中，并使衬底高于液面，然后将容器密封；

步骤4.将密封后的容器置于热台上，生长温度为30～70℃，生长时间为12～96h，最终在衬底上生长出CsPbCl3钙钛矿微米片。

2.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿微米片的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤1中，采用DMSO或者DMF作为溶剂配置CsPbCl3溶液。

3.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿微米片的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤2中，采用的衬底为Si/SiO2、玻璃、ITO或GaN衬底。

4.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿微米片的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤3中，采用的反溶剂为甲苯或者氯苯。

5.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿微米片的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤4中，生长出的CsPbCl3钙钛矿微米片的尺寸为10-100微米，厚度为100～1000纳米。

6.一种肖特基型紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤I.在衬底上制备呈左右结构的ITO电极；

步骤II.采用权利要求1至5中任意一项所述的制备方法合成全无机钙钛矿微米片；

步骤III.采用干法转移技术将合成的全无机钙钛矿微米片转移到步骤I所得的ITO电极上，得到具有ITO左电极/CsPbCl3钙钛矿微米片/ITO右电极结构的紫外光电探测器。

7.根据权利要求6所述的肖特基型紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤I中，采用的衬底为Si/SiO2衬底。

8.根据权利要求6所述的肖特基型紫外光电探测器的制备方法，其特征在于：

其中，在步骤III中，干法转移技术包括直接接触法和胶带转移法。

9.一种全无机钙钛矿微米片，其特征在于：

采用权利要求1至5中任意一项所述的制备方法制得。

10.一种肖特基型紫外光电探测器，其特征在于：

采用权利要求6至8中任意一项所述的制备方法制得。