超声波相控阵检测技术及其使用
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要素:
1. 在产生聚焦声束时，第一晶片和最后一个晶片延迟相同，其余的2---N-1 晶片的延迟按照抛物线法则变换。
2. 有效阵列孔径保持不变
18
线性波形模式
19
扇形波形模式
20
聚焦波形模式
21
角度增益补偿
因素2: 有效孔径随入射角度而变化（虚拟晶片宽度随角度改变而减小）
有效阵列 NP孔 i tc径 hC Sio bzS1s/eL1
医用相控阵B超设备
2
❖ 由于超声波在金属材料、复合材料、陶瓷、塑料及玻璃纤维中会产生波 形转换同时材料自身的厚度变化及几何结构都会产生干扰回波，如何把相 控阵技术引入到工业领域就变得极具挑战性。1980s第一台相控阵系统被 应用于工业检测领域，这台相控阵系统机身结构非常大且需要一个数据转 换器把采集到的数据传送到电脑上进行分析及成像。这些设备大多数应用 在在线电力设备检测中。但是此项技术在核电市场中很难被接受，因为在 核电中要推进一种新的检测技术需要更严苛的评估。其他较早应用相控阵 检测技术的有大型轴类锻件以及低压管道检测领域。
4
新一代相控阵技术
经过角度增益 补偿后的成像 显示
5
真实几何结构描绘
6
实时3D成像
7
相控阵技术的原理
传统的超声检测采用单晶片探头发 散声束。在某些情况下也采用双晶片探 头或者单晶片聚焦探头来减小盲区和提 高分辨率。但是不管是哪种情况下，超 声场在介质中均是按照一个单一角度的 轴线方向传播。单一角度的扫查限制了 超声检测对于不同方向缺欠定性和定量 的能力。因此，大部分“有效的”标准 都要求采用多个角度声束的扫查来提高 检出率。但是对于复杂几何外形、大壁 厚或者探头扫查空间有限的情况检测很 难实现，为此就需要采用相控阵多晶片 探头和电子聚焦声束来满足上述情况的 检测要求。
Ec hoA udm (信 e号 p)l幅 ~iE t度ffe ci zt2 （ iev有 e效 S孔
22
角度增益补偿
因素 3: 探头中的信号衰减能量损失随入射角度而变化(楔块中声程 随角度加大而加大)
23
对线阵探头中的晶片进行单独补偿，使晶片的灵敏度达 到一致： 相控阵探头晶片的不均匀性 (出现偏差)； 在每个聚焦法则中，楔块声束路径/损耗都是不同的。
S 1S 0 0 M i0 gr
入射点向楔块前端漂移; 楔块延迟增加
b b a Case 2 S 1S 0 0 M i0 gr
入射点向楔块后端漂移; 楔块延迟减小
14
使用楔块– 产生纵波
15
使用楔块– 产生纵波
Sina1 VL1
SinbL1 VL2
a1 第一临界角a（ cr116）
Effecti vpeeArtureeSi z
26
相控阵成像技术 传统工业相控阵方法延用医用B超模式，不具有几何反射修正技术，与人体结构
的单一形式不同，工业领域的检测对象几何结构和材料种类千变万化，不能依照工 件厚度与结构特征生成对应图象而造成数据分析难度大的问题未能有效解决。
真实几何结构成像技术
27
相控阵成像成像真实性、分辨率、检出率与声束间隔角度的密集程度有关，传统 相控阵成像方法采用的是模拟填充图显示方式，新一代相控阵系统支持主声束间 隔角度步进控制技术。
❖ 1990s由电池供电的便携式相控阵设备正式应用于工业检测领域。模拟 设备需要电源及空间来创建可以控制声束的多通道结构，但是进入数字时 代后，成本低廉的嵌入式微处理器的快速发展推动了下一代相控阵设备的 快速发展。除此之外，低电电子元件、更好的省电结构以及整个行业大量 使用粘贴板的设计也推进了新一代小型化的高级技术的发展。新一代的相 控阵设备可以在一台便携装置中进行电子设置、数据处理、显示及分析， 从此次相控阵技术在工业领域的应用变得更为广泛。
37
T型接头（典型工艺设定）：
38
T型接头（典型工艺设定）：
39
超声相控阵技术是当今无损检测 技术中最先进的超声检测新方法。尤 其在焊接接头检测方面的应用具有独 特优势。可有效地检出焊接接头中的 各种面状缺陷和体积型缺陷。检测结 果以图像形式显示，为缺陷定位、定 量、定性、定级提供了丰富的信息。
8
典型应用：叶片检测
9
晶片单元宽度 晶片单元大小 晶片单元间隔 晶片单元跨距
扇形覆盖区域中能量分布具有非均匀性
通过角度增益补偿技术获取等量化数据
24
相控阵设备硬件工作原理示意
要素:
因为所有的脉冲发生器是同步的，每个晶片振动的叠加产生了所需要的角度及聚焦方式
25
当设备对所有已接收到的信号做数字化处理时，每个通道都有自己的ADC转换和
FIFO。处理后的所有相位信号进行叠加形成最终的聚焦法则A扫描。
Pi tschSiN zecosb
超声相控阵是超声探头晶片的组 合，由多个压电晶片按一定的规律 分布排列，然后逐次按预先规定的 延迟时间激发各个晶片，所有晶片 发射的超声波形成一个整体波阵面， 能有效地控制发射超声束（波阵面） 的形状和方向，能实现超声波的波 束扫描、偏转和聚焦。
17
聚焦声束的形成过程
在金属材料中会产生波形转换问题，早期工业相控阵方法延用医用B超模式， 不具有波形转换修正技术，因此带来的异常信号误判、定位定量误差及难以 判读波形信息等问题未能有效解决。
问题二： 通过传楔统块工入业射相到控构阵件定内量部方时法存不在具入有传射角统点度工漂、业移声相现程控象、阵和成晶能像片量增分益布修传变正统化技的，术工采，业用多相单晶控一阵片成入探像射头 点校准方式与常规距离波幅曲线修正，造成的扇形区域中能量分布不均匀及测量 误差等问题未能有效解决。
晶片单元高度
10
使用楔块
11
使用楔块
12
使用楔块– 产生横波
bs1 – 希望在工件中产生的折射角---横波 a1 – 由相位变化产生的与折射角对应的入射角
13
Sina1 SinbS1
VL1
VS 2
a a1 a0
b b a 第一种情况 S 1S 0 0 M i0 gr
没有声束偏转
b b a 第二种情况
InInccreremmeennt t==01.21ddeegg
28
传统工业相控阵扇形扫查成像模式： 真实缺陷位置与成像结果不一致
29
新一代相控阵扇形扫查成像模式：
真实几何结构成像技术
ห้องสมุดไป่ตู้
30
可设置厚度的相控阵线性扫查成像模式：
可
描
述
破
口
形
式
的
相
控
可设置厚度的相控阵扇形扫查成像模式：
阵 扇
形
扫
查
成
像
模
可设置厚度的相控阵串列式扫查模式：
式
（对垂直缺陷非常有效））
：
31
相控阵的串列式逐点聚焦电子栅格C扫描成像技术
32
33
TOFD成像
相控阵3D成像
相控阵C成像
34
T型接头（新一代相控阵真实几何结构成像技术与传统相控阵成像技术对比）：
35
T型接头（典型工艺设定）：
36
T型接头（典型工艺设定）：
超声波相控阵检测技术及其 应用
1
相控阵技术发展历史
❖ 超声相控阵技术已有50多年的发展历史。相控阵超声波检测作为一种独特的技术得 到开发和应用，在21世纪初已进入成熟阶段。
❖ 初期主要应用于医疗领域，B 超成像中用相控阵换能器快速移动声束对被检器官成 像，这里相控阵技术的主要作用是实现动态聚焦，大大提高了超声影像的清晰度。 其在临床上的应用范围为心脏、肝脏、胆囊、肾脏、胰腺、乳腺、妇产科、颅脑等 方面，其应用之广泛已使它成为四大医学影像技术之一。
传统工业相控阵成像
传统工业相控阵成像
3
■ 然而相控阵技术从医疗领域向工业领域跃进的过程存在着很多技术难题无法 解决，因此最早的工业相控阵设备都是直接把医疗相控阵方法直接照搬到工业机 型上面。这种技术的应用和成像描绘的模式对于工业探伤来说，存在着很多隐患 和需要改进的问题。
问题一： 医用B超检测对象是由水份组成的人体，不必考虑波形转换现象，而超声波
1. 在产生聚焦声束时，第一晶片和最后一个晶片延迟相同，其余的2---N-1 晶片的延迟按照抛物线法则变换。
2. 有效阵列孔径保持不变
18
线性波形模式
19
扇形波形模式
20
聚焦波形模式
21
角度增益补偿
因素2: 有效孔径随入射角度而变化（虚拟晶片宽度随角度改变而减小）
有效阵列 NP孔 i tc径 hC Sio bzS1s/eL1
医用相控阵B超设备
2
❖ 由于超声波在金属材料、复合材料、陶瓷、塑料及玻璃纤维中会产生波 形转换同时材料自身的厚度变化及几何结构都会产生干扰回波，如何把相 控阵技术引入到工业领域就变得极具挑战性。1980s第一台相控阵系统被 应用于工业检测领域，这台相控阵系统机身结构非常大且需要一个数据转 换器把采集到的数据传送到电脑上进行分析及成像。这些设备大多数应用 在在线电力设备检测中。但是此项技术在核电市场中很难被接受，因为在 核电中要推进一种新的检测技术需要更严苛的评估。其他较早应用相控阵 检测技术的有大型轴类锻件以及低压管道检测领域。
4
新一代相控阵技术
经过角度增益 补偿后的成像 显示
5
真实几何结构描绘
6
实时3D成像
7
相控阵技术的原理
传统的超声检测采用单晶片探头发 散声束。在某些情况下也采用双晶片探 头或者单晶片聚焦探头来减小盲区和提 高分辨率。但是不管是哪种情况下，超 声场在介质中均是按照一个单一角度的 轴线方向传播。单一角度的扫查限制了 超声检测对于不同方向缺欠定性和定量 的能力。因此，大部分“有效的”标准 都要求采用多个角度声束的扫查来提高 检出率。但是对于复杂几何外形、大壁 厚或者探头扫查空间有限的情况检测很 难实现，为此就需要采用相控阵多晶片 探头和电子聚焦声束来满足上述情况的 检测要求。
Ec hoA udm (信 e号 p)l幅 ~iE t度ffe ci zt2 （ iev有 e效 S孔
22
角度增益补偿
因素 3: 探头中的信号衰减能量损失随入射角度而变化(楔块中声程 随角度加大而加大)
23
对线阵探头中的晶片进行单独补偿，使晶片的灵敏度达 到一致： 相控阵探头晶片的不均匀性 (出现偏差)； 在每个聚焦法则中，楔块声束路径/损耗都是不同的。
S 1S 0 0 M i0 gr
入射点向楔块前端漂移; 楔块延迟增加
b b a Case 2 S 1S 0 0 M i0 gr
入射点向楔块后端漂移; 楔块延迟减小
14
使用楔块– 产生纵波
15
使用楔块– 产生纵波
Sina1 VL1
SinbL1 VL2
a1 第一临界角a（ cr116）
Effecti vpeeArtureeSi z
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相控阵成像技术 传统工业相控阵方法延用医用B超模式，不具有几何反射修正技术，与人体结构
的单一形式不同，工业领域的检测对象几何结构和材料种类千变万化，不能依照工 件厚度与结构特征生成对应图象而造成数据分析难度大的问题未能有效解决。
真实几何结构成像技术
27
相控阵成像成像真实性、分辨率、检出率与声束间隔角度的密集程度有关，传统 相控阵成像方法采用的是模拟填充图显示方式，新一代相控阵系统支持主声束间 隔角度步进控制技术。
❖ 1990s由电池供电的便携式相控阵设备正式应用于工业检测领域。模拟 设备需要电源及空间来创建可以控制声束的多通道结构，但是进入数字时 代后，成本低廉的嵌入式微处理器的快速发展推动了下一代相控阵设备的 快速发展。除此之外，低电电子元件、更好的省电结构以及整个行业大量 使用粘贴板的设计也推进了新一代小型化的高级技术的发展。新一代的相 控阵设备可以在一台便携装置中进行电子设置、数据处理、显示及分析， 从此次相控阵技术在工业领域的应用变得更为广泛。
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T型接头（典型工艺设定）：
38
T型接头（典型工艺设定）：
39
超声相控阵技术是当今无损检测 技术中最先进的超声检测新方法。尤 其在焊接接头检测方面的应用具有独 特优势。可有效地检出焊接接头中的 各种面状缺陷和体积型缺陷。检测结 果以图像形式显示，为缺陷定位、定 量、定性、定级提供了丰富的信息。
8
典型应用：叶片检测
9
晶片单元宽度 晶片单元大小 晶片单元间隔 晶片单元跨距
扇形覆盖区域中能量分布具有非均匀性
通过角度增益补偿技术获取等量化数据
24
相控阵设备硬件工作原理示意
要素:
因为所有的脉冲发生器是同步的，每个晶片振动的叠加产生了所需要的角度及聚焦方式
25
当设备对所有已接收到的信号做数字化处理时，每个通道都有自己的ADC转换和
FIFO。处理后的所有相位信号进行叠加形成最终的聚焦法则A扫描。
Pi tschSiN zecosb
超声相控阵是超声探头晶片的组 合，由多个压电晶片按一定的规律 分布排列，然后逐次按预先规定的 延迟时间激发各个晶片，所有晶片 发射的超声波形成一个整体波阵面， 能有效地控制发射超声束（波阵面） 的形状和方向，能实现超声波的波 束扫描、偏转和聚焦。
17
聚焦声束的形成过程
在金属材料中会产生波形转换问题，早期工业相控阵方法延用医用B超模式， 不具有波形转换修正技术，因此带来的异常信号误判、定位定量误差及难以 判读波形信息等问题未能有效解决。
问题二： 通过传楔统块工入业射相到控构阵件定内量部方时法存不在具入有传射角统点度工漂、业移声相现程控象、阵和成晶能像片量增分益布修传变正统化技的，术工采，业用多相单晶控一阵片成入探像射头 点校准方式与常规距离波幅曲线修正，造成的扇形区域中能量分布不均匀及测量 误差等问题未能有效解决。
晶片单元高度
10
使用楔块
11
使用楔块
12
使用楔块– 产生横波
bs1 – 希望在工件中产生的折射角---横波 a1 – 由相位变化产生的与折射角对应的入射角
13
Sina1 SinbS1
VL1
VS 2
a a1 a0
b b a 第一种情况 S 1S 0 0 M i0 gr
没有声束偏转
b b a 第二种情况
InInccreremmeennt t==01.21ddeegg
28
传统工业相控阵扇形扫查成像模式： 真实缺陷位置与成像结果不一致
29
新一代相控阵扇形扫查成像模式：
真实几何结构成像技术
ห้องสมุดไป่ตู้
30
可设置厚度的相控阵线性扫查成像模式：
可
描
述
破
口
形
式
的
相
控
可设置厚度的相控阵扇形扫查成像模式：
阵 扇
形
扫
查
成
像
模
可设置厚度的相控阵串列式扫查模式：
式
（对垂直缺陷非常有效））
：
31
相控阵的串列式逐点聚焦电子栅格C扫描成像技术
32
33
TOFD成像
相控阵3D成像
相控阵C成像
34
T型接头（新一代相控阵真实几何结构成像技术与传统相控阵成像技术对比）：
35
T型接头（典型工艺设定）：
36
T型接头（典型工艺设定）：
超声波相控阵检测技术及其 应用
1
相控阵技术发展历史
❖ 超声相控阵技术已有50多年的发展历史。相控阵超声波检测作为一种独特的技术得 到开发和应用，在21世纪初已进入成熟阶段。
❖ 初期主要应用于医疗领域，B 超成像中用相控阵换能器快速移动声束对被检器官成 像，这里相控阵技术的主要作用是实现动态聚焦，大大提高了超声影像的清晰度。 其在临床上的应用范围为心脏、肝脏、胆囊、肾脏、胰腺、乳腺、妇产科、颅脑等 方面，其应用之广泛已使它成为四大医学影像技术之一。
传统工业相控阵成像
传统工业相控阵成像
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■ 然而相控阵技术从医疗领域向工业领域跃进的过程存在着很多技术难题无法 解决，因此最早的工业相控阵设备都是直接把医疗相控阵方法直接照搬到工业机 型上面。这种技术的应用和成像描绘的模式对于工业探伤来说，存在着很多隐患 和需要改进的问题。
问题一： 医用B超检测对象是由水份组成的人体，不必考虑波形转换现象，而超声波