2021年扩建年产2000吨三氟化氮生产装置项目可行性研究报告

2021年扩建年产2000吨三氟化氮生产装置项目可行性研究报告
2021年2月
目录
一、项目概况 (3)
二、项目实施的必要性 (3)
1、含氟电子特气生产向国内转移是大势所趋 (3)
2、深化公司含氟电子特气领域布局，巩固电子特气业务领先地位 (4)
三、项目实施的可行性 (5)
1、国家政策支持提供了良好的外部环境 (5)
2、电子特气市场前景广阔，进口替代需求旺盛 (6)
3、公司具有充足的生产研发经验和丰富的客户下游导入渠道 (7)
四、项目投资概算 (8)
1、基建投资 (8)
2、设备投资 (8)
3、流动资金 (8)
五、项目新增产能消化空间 (9)
六、项目效益情况 (9)
一、项目概况
本项目拟投资30,000.00万元，扩建2,000吨/年三氟化氮生产装置项目，包括：5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。

二、项目实施的必要性
1、含氟电子特气生产向国内转移是大势所趋
电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。

电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。

本次募投拟扩产的三氟化氮作为电子特种气体的重要品类，具有优异的蚀刻速率和选择性，是半导体和显示面板制造过程中重要的清洗剂和刻蚀剂。

根据国家“十三五”规划，集成电路产业已经是国家振兴的首要产业，而中美贸易战表明，集成电路严重依赖进口已成为我国科技领域“卡脖子”的短板，因此包括支持包括含氟电子特气行业在内的国产半导体材料行业发展具有重要的战略意义。

中国是下游产业半导体、显示面板的消费大国，根据中商产业研究院数据显示，在平板显示产业向中国大陆转移的行业背景下，国产面板产能不断增加，2017年产能全球占比迅速上升到34%，成为全球。