高亮度光纤耦合技术

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实验中所使用的 FAC 有效焦距(EFL)为 0.85mm,非球面系数为-0.8, 为椭圆面型;慢轴发散角相对较小,所使用的慢轴准直镜(SAC)面型为 柱面镜,EFLSAC=20mm,具体结构如图 4-6 所示。
4校正球差的准直 在类似于单管合束这种高光束质量的应用中,对快轴准直后的发散角要 求较高,需要更好的校正球差,就必须采用短焦距、大孔径的非球面快 轴准直柱面镜(FAC)对半导体激光器的快轴准直,图 4-4 是采用 FAC 准直的示意图,准直之后快轴发散角理论可以达到 2.2mrad(95%能量) 。
图 1-1 北京凯普林公司的50W/150umBaidu Nhomakorabea纤耦合模块产品
表 1.1 国际上单管光束耦合比较表
1设计方案

首先通过微透镜对每个单管半导体激光器进行快慢轴准直,通过空间合 束使准直后的光束在快轴叠加,再利用偏振合束技术对空间合束后的光 束进行偏振合束,最后利用自行设计的扩束聚焦系统将合束后的光束进 行扩束,聚焦进入光纤,极大地提高光纤耦合模块的亮度。其中芯径为 105μ m、NA0.2 的光纤耦合模块输出功率15.22W,亮度超过 1.4MW/cm2str。

图4-15是聚焦镜组在0°角视场的点列图和波前图,从图中可知在视场角 为0°时点列图的几何弥散圆直径小于艾里斑,波前图中的PV值为0.05个 波长,证明此设计是接近衍射极限的,完全满足使用要求。
7实验结果分析

实验中采用了 4 个输出功率为 5W,波长为 808nm 的单管半导体激光器 ,其输出波长如图4-16所示,中心波长λ 为808.6nm,光谱宽度Δ λ 为 2.6nm(FWHM),单个激光器的 P-I 曲线如图 4-17 所示,在注入电流 为 5.8A 时,工作电压为 1.62V,输出功率达到 5W,斜线效率为 1.05W/A,相应的电光转换效率为 45%。


利用光学设计软件模拟得到准直后的光束发散角如图4-8所示,准直后快 慢轴发散角分别为2.2mrad³4.6mrad(95%能量),相应的光束质量如表 4.1所示。

可以看出慢轴光束BPP小于5.25 mm²mrad,但是比快轴大很多,因此需 要通过在快轴方向叠加光束来使快慢轴方向BPP相等。
谢谢
国内现状


目前国内单管半导体激光器合束技术还不成熟,长春理工大学采用二级 反射镜法进行单波长光纤耦合,200 μ m 光纤输出功率达 12.4 W , 效 率达 74%。 国外单管半导体激光器合束的输出功率达到几十瓦,最大输 出功率可以达百余瓦。 北京凯普林光电有限公司研发的 976nm半导体激光器光纤耦合模块可以 通过 105μ m 光纤输出功率 50W,为国内的较高水平。
通过上面公式可以看出快轴 方向的光束质量较好,但是 发散角很大,在合束中不利 于单管半导体激光器在快轴 方向的叠加,需要使用小焦 距的透镜对激光器进行准直
3准直系统

图 4-2 给出的是使用直径 400um 石英光纤对快轴发散角为 60°(95% 能量)的半导体激光器准直结果,准直后发散角大于 2°(95%能量)。

采用伽利略结构设计了一套 1.44 倍的柱面扩束系统,如图 4-13 所示 ,由一个凹柱面镜和一个凸柱面镜组成,面型分别为平凹和平凸面型。 r1=13.6mm,r2=19.58mm,慢轴扩束前后的 BPP 如表 4.2 所示。
当半导体激光束通过扩束系统后,慢轴发散角缩小了 1.44 倍,实现了与 快轴发散角相等,而慢轴 BPP 增大了 1.05 倍,这是由于慢轴扩束镜采用 了两片单片镜结构,而且均为平凸面型,无法消除扩束过程中产生像差导 致的。
5空间合束

由于每个 FAC 的高度为 1.5mm,因此使得每两个半导体激光器之间的高 度差为 1.5mm。在 FAC 的装调和固定时会产生指向性误差,通常在 ±0.5mrad 范围内,我们在设计时需要把这个误差考虑进去,因此整个 合束后光源快轴方向的发散角为 3.2mrad。按照上面公式(4-3)计算,快 轴方向上可以排放 4 只半导体激光器,我们在阶梯热沉的每个台阶上各 排列一只单管半导体激光器,每个台阶高度为 1.5mm。每只激光器经过 FAC 和 SAC 准直后,通过一个反射棱镜进行全反射,使 4 只激光器发 出的光束在快轴叠加,如图 4-9 所示。
通过公式(4-9)可以计算出光纤耦合模块的输出亮度,式中B是亮度,P是输 出功率,D是光纤的芯径,θ 是光纤的数值孔径。经过计算,在光纤耦合连续输 出达15.22W时,此模块亮度可以达到1.4MW/cm2-str.

通过Matlab处理在束腰位置得 到相应的光斑轮廓如图4-20所 示,聚焦光斑呈平顶分布。图 4-21为光纤耦合输出的光斑强 度分布图,可以看出通过光纤 传输后,光强分布发生变化, 由平顶分布变成高斯分布,光 强分布更均匀。

快轴合束后的光斑图如4-10所示,叠加后的光束快慢轴尺寸6mm³4.3mm ,发散角为 3.2mrad³4.6mrad,快慢轴的光束质量为
时快轴方向的 BPP 和慢轴方 向的 BPP 最接近,但是此时 快轴发散角为3.2mrad,慢轴 发散角为 4.6mrad,慢轴发 散角是快轴的 1.44 倍,因 此需要设计一套扩束系统, 将慢轴光束进行扩束,使得 快慢轴发散角相等,这样聚 焦后才能在光纤端面获得一 个正方形的光斑.常用的激光 扩束系统分为开普勒扩束结 构和伽利略扩束结构两种。

图中 h 和 θ 分别表示聚焦前光束的半宽和发散半角,h'和 θ '表示经 过聚焦后的光束半宽和发散半角,f 为耦合镜的焦距。我们利用 ZEMAX 光学设计软件对聚焦透镜组进行函数优化并限制焦距为 47mm,透镜的材 料选用融石英 JGS1 光学玻璃,选取三片透镜的初始结构,经过优化, 我们得出了最佳结构,其结构参数在表 4.3 中列出,聚焦镜组的结构如 图 4-14 中所示。
大功率半导体激光器单管合束 及光纤耦合技术
孙旭晴


主要内容:
国内外现状 单管半导体激光器 准直系统 空间合束 扩束系统 实验结果分析


国内外现状
国外现状



德国夫琅禾费研究所采用阶梯镜反射法将两种偏振态的波长为975n m的单管半导体激光器进行合束制成光纤耦合模块,105μ m光纤输 出功率达100 W,耦合效率达80%。 德国弗朗和菲研究所采用锥形单管半导体激光器制成光纤耦合模块, 50μ m 光纤输出功率达 50W,波长为 975nm,亮度达 16.8MW/cm2-str。 美国Oclaro公司也采用偏振合束 技术 将波 长为980nm的单 管半导体激光器制成光纤耦合模块,105μ m光纤输出功率100W ,耦合效率为73%。通过光纤合束器将多个光纤耦合模块进行合束, 功率可达上千瓦。 德国 JENOPTIK 公司采用慢轴整体准直法实现 105 μ m 光纤输出 65 W 的 光 纤 耦 合 模 块 , 波 长 为 976 nm, 亮 度 可 以 达 到9 MW/cm2-str;
2光束质量的计算

为了获得更高的亮度,我们选取光纤芯径为105μm,NA0.2的光纤,即 dF=105um,θF=0.2。

由于半导体激光合束后的光斑呈方形,且远场分布也呈方形,而光纤的 芯径和 NA 均为轴对称分布,所以聚焦后快慢轴的 BPP 需满足以下条件


通常半导体激光器在快慢轴方向光束质量相差很大,以实验中所用到的 808nm 半导体激光器为例,快轴发光尺寸 1.5um,慢轴发光尺寸100um ,相应的发散角为 60°³11°(95%能量),可以由单管半导体激光器 快慢轴方向的尺寸及发散角得出快慢轴的光束质量为
6扩束系统

1)开普勒扩束结构 开普勒扩束内部结构如图 4-11 所示,属于非成像系统,由具有正光焦 度的目镜和物镜组成,入射光束在目镜和物镜间会存在一个焦点,当入 射激光功率较大时,容易出现空气击穿的现象,因此不适合在大功率激 光系统中应用。

2)伽利略扩束结构 伽利略扩束结构由正光焦度的物镜和负光焦度的目镜组成,因为此结构 为共虚焦点,其轴向间距为正透镜与负透镜焦距绝对值之差,所以整个 光学系统其轴向尺寸较小,结构紧凑,负目镜能够对正物镜进行像差补 偿,使系统形式简单,减少了反射面的光能量损失。另外由于是无焦系 统,可避免发生空气击穿,因此在大功率激光扩束中多采用此结构。
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