光纤位移传感器地工作原理
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发送光纤
光源
反射型
发射光束被测目标
光敏
元件
接收光束
(a)
接收光纤
光源光敏元件
发射光束接收光束
B2C 被测目标
探头到被测
目标平面距离
A
B
1
(b)
结构及原理:
当光纤探头端部紧贴被测件时,发射光纤中的光不能反射到接收光纤中去,接收光纤中无光信
号;当被测表面逐渐远离光纤探头时,发射光纤照亮被测表面的面积越来越大,于是相应的发
射光锥和接收光锥重合面积B1越来越大,因而接收光纤端面上被照亮的B2区也越来越大,
有一个线性增长的输出信号;当整个接收光纤被全部照亮时,输出信号就达到了位移-输出信
号曲线上的“光峰点”光,峰点以前的这段曲线叫前坡区;当被测表面继续远离时,被反射光照
亮的B2面积大于C,部分反射光没有反射进接收光纤,接收到的光强逐渐减小,光敏输出器
的输出信号逐渐减弱,进入曲线的后坡区。
输出
光峰可用于距离较远
后
坡
而灵敏度、线性度
坡
前
和精度要求不高微米级
的
O
位移
的测量位移测量
测量表面状态
光纤探头的端部,发射光纤与接收光纤分布:
随机分布;半球形对开分布;共轴内发射分布;
发射光纤与接收光纤的分布
光纤位移传感器的一个典型范例:
发射、接收各300根光纤组成一根0.762mm的光缆。光纤内芯是折射率为1.62的火
石玻璃,包层是折射率为1.52的玻璃。光缆的后部被分成两支,一支用于发射光,一支用于接收光。光源是2.5V的白炽灯泡,而接收光信号的敏感元件是光电池。光敏检测器输出与接收到的光强成正比的电信号。对于每0.25μm位移产生1V的电压输出,分辨率是0.025μm。
遮断型
发送光纤接收光纤