Polycold 操作手册中文版825160-00
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1
Байду номын сангаас
825160-00，B 版
1. 介绍
翻译 by 业成华强
说明及应用
警告 在通读本手册并完全理解安全章节的信息前,不要对机台做任何关于安装、操作 和保养等的工作。不留意此警告可能导致重伤或死亡。
主要定义： 冷凝机：制冷并将制冷剂泵入制冷管和深冷面的设备。 制冷管：在本手册中是指，连接 PFC 冷凝机和深冷面，并被隔热层包裹的两根管路。 深冷面：安装在客户真空腔中的制冷表面。通常为盘管(水汽捕集用)和冷阱(返油捕集
4. 附表..........................................................................................................................................43 深冷面 vs 预期水汽分压 .....................................................................................................43
用)。
在本手册中，POLYCOLD(PFC)快速循环水汽深冷泵被简写为 PFC。 PFC 是一个低温制冷系统，通过在低温表面凝结效应来捕集挥发性分子。PFC 系统包括冷凝 机，制冷管(供给和回流)，和带低温导管的深冷面。冷凝机能通过制冷管和深冷面循环不断 的泵冷热(除霜用)制冷剂。制冷剂为 Brooks 公司专用混合制冷剂。机台热量通过制冷剂转 移到客户提供的冷却水上。
2. 安全 .............................................................................................................................................7 概览........................................................................................................................................... 7 安全警示定义 ........................................................................................................................... 7 PFC 安全防范 ..........................................................................................................................9 常规安全防范 ........................................................................................................................... 9 安全指南................................................................................................................................. 11 设备指南 ................................................................................................................................. 12 个人安全指南 ......................................................................................................................... 12 设备上的标准符号 ................................................................................................................. 13 PFC 机台上的安全标签.........................................................................................................14 安全和运行互锁 ..................................................................................................................... 28 常规危害 ................................................................................................................................. 28 电气危害 ................................................................................................................................. 30 上锁挂牌(LOTO) ...................................................................................................................31 气体危害 ................................................................................................................................. 32 真空危害 ................................................................................................................................. 33 着火和爆炸危害 ..................................................................................................................... 33 回收......................................................................................................................................... 34 化学品危害 ............................................................................................................................. 34 紧急状况 ................................................................................................................................. 35 紧急联络方式 ......................................................................................................................... 35 材料安全数据表 ..................................................................................................................... 35
3. 操作..........................................................................................................................................37 控制和指示 ............................................................................................................................. 37 运行模式 ................................................................................................................................. 39 用于低温盘管的操作 ............................................................................................................. 40 用于低温冷阱的操作 ............................................................................................................. 42
翻译 by 业成华强
Polycold 快速循环水汽深冷泵 操作手册
825160-00，B 版
翻译 by 业成华强
目录
1. 介绍............................................................................................................................................2 说明及应用 ............................................................................................................................... 2 PFC 版本 ..................................................................................................................................4 PFC 参数规格 ..........................................................................................................................5 使用本手册 ............................................................................................................................... 6