西安交通大学材料科学与工程学院磁控溅射系统招标

西安交通大学材料科学与工程学院磁控溅射系统招标

技术协议

本系统由2个腔自组合而成，各腔室超高真空链接，实验样品可以不破坏真空在其间转移，具体参数指标为：

1）扫描隧道显微镜腔：

1.1）原子操纵及自旋极化扫描隧道显微镜（SP-STM）腔：

空间分辨率：X,Y轴0.1Å；Z轴：0.01Å

能量分辨率：~1meV；时间分辨率：1ms

温度：≤4.8K

稳定性：热漂移< 2Å/h，最小工作电流< 500fA

输运测量：样品台具备至少5个外部引线电极，并包含高频信号探测用的电缆

光学测量：配备光学透镜组，其物镜焦点始终处于隧穿结

液氦消耗：4L可以保持60h或以上，在样品上施加2T磁场亦可保证5K温度下维持时间超过45h小时。

包含样品准备室，其中配备：四轴样品架（manipulator）,样品控温装置（100~1400K）；离子溅射枪及进气漏阀一套；低能电子衍射仪（LEED/AES），红外测温仪，四极质谱仪，样品解理台，可装掩模板的样品台各一个，高温蒸发源≥1个。真空度优于5 x 10-10 mbar，配备离子泵/钛升华泵组合一套和涡轮分子泵一台。

1.2）自旋极化扫描及原子操纵相关参数：

磁场强度：2.0T

针尖：磁性包裹针（钨针尖上镀Fe/Cr/Mn ）

自旋极化分别率：单原子

配备控制单元（DSP Electronics）及相应STM测量软件，软件中应内置横向（6种典型模式）及纵向原子操纵模块

原子操纵方向：横向和纵向

可操纵原子：Au、Pt、In、Dy、Mn、Co、Fe等

2）可移动式分子束外延（MBE）腔：

预留11个固体/液体蒸发源接口，高温蒸发源≥2个

预留≥1个气体漏阀接口

样品温度范围：80K~ 1500K

腔壁为双层，可通过液氮或冷氮气冷却

配有膜厚仪(QMB)

真空度优于5 x 10-10 mbar，配备涡轮分子泵一台。

配有快速进样室两个：分别连接在样品准备腔和分子束外延腔上，真空度均须优于5 x 10-8 mbar。