低温漂过载加速度传感器

低温漂过载加速度传感器

阎贵平

【期刊名称】《电子工艺技术》

【年(卷),期】2004(025)006

【摘要】过载加速度传感器,是采用了最新的MEMS技术与微电子技术研制的一种新型硅压阻加速度传感器,集加速度敏感元件、信号放大、饱和控制及温度补偿等于一体,对传统的电桥放大电路和温度补偿电路进行了改进,使得传感器温漂更小且具有可编程补偿温度和增益调整等功能.

【总页数】3页(P266-268)

【作者】阎贵平

【作者单位】山西科泰微技术有限公司,山西,太原,030006

【正文语种】中文

【中图分类】TN6

【相关文献】

1.MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究 [J], 石云波;李平;朱正强;刘俊;张晓明

2.高过载三维MEMS加速度传感器敏感芯片设计仿真与优化 [J], 张振海;李科杰;任宪仁;刘俊

3.高冲击过载加速度传感器零漂分析 [J], 张国伟;冯顺山;俞为民

4.MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化分析 [J], 杜彬

5.仿桥梁护舷式抗高过载加速度传感器设计 [J], 刘小柔;赵锐;石云波;郭晋;吴国璋;朱京通

因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买