旋转式真空泵..

2.滑阀真空泵工作原理： 另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵，泵壳内装一偏心 的转子。转子上有若干槽，槽内有可以滑动的滑片。转子 转地槽内的滑片向四周伸出，不与泵壳接触。气体于滑片 与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入，于二者所包围的空 间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0.06Pa。 相比旋片真空泵运行更加稳定，耐用性更强。
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旋转式真空泵工作原理：
1.液环真空泵工作原理： 液环真空泵常用的有水环真空泵和纳西泵。它主要用于抽吸气体，特 别在抽吸腐蚀性气体时更为常用。 在泵体中装在适量的水作为工作液。当叶轮顺时针方向旋转时，水被 叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成一个决定于泵腔形状的近 似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮壳相切， 水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定 的插入深度）。此时叶轮轮壳与水环这间形成一个月牙形空间，而这 一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下 部零度为起点，那么叶轮在旋转前180度时小腔的容积由小变大，且 与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸 气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小 腔与排气口相通时，气体更被排出泵外。水环泵是靠泵腔容积的变化 来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
工作原理
• 泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环 内装有偏心轮(3)，偏心轮固定 在轴(2)上，轴与泵体中心线相 重合。在滑阀环上装有长方形 的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑 阀导轨(7)中上下滑动及左右摆 动，因此泵腔被滑阀环和滑阀 杆分隔成A、B两室。泵在运转 过程中，由于A、B两室容积周 期性地改变，使被抽气体不断 进入逐渐增大容积的吸气腔； 同时，在排气腔随着其容积的 缩小而使气体受压缩，并通过 排气阀排出泵外。
应用
旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气 镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽 除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应 以及含有颗粒尘埃的气体。
12 10 其工作压强范围为101325－1.33× （Pa）属于低真空泵。 它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵 的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、 化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
Hale Waihona Puke 结构和原理• 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。 在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵 腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有 带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力 使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋 片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空 间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时， 与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸 气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的， 正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的， 正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨 胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于 空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口 隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积 逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排 气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内 的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气 的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低 真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排 至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级 来负担，因而提高了极限真空度。
旋转真空泵
报告人：姜士胜 吴凤霞 樊学萍
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机械真空泵及分类 旋片式真空泵的分类 旋片式真空泵应用 旋转式真空泵工作原理 机械真空泵的规格及型号表示法 特点 使用范围 故障排除的方法
主要内容
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定义： 真空泵是用各种方法在某一封 闭空间中产生、改善和维持真空的装置。 真空泵可以定义为：利用机械、物理、 化学或物理化学的方法对被抽容器进行 抽气而获得真空的器件或设备。 随着真空应用的发展，真空泵的种类已 发展了很多种，其抽速从每秒零点几升 到每秒几十万、数百万升。极限压力(极 限真空)从粗真空到1012 pa以上的超高 真空范围。按其获得真空方法的的不同 可分为输运式真空泵和捕获式真空泵。 机械真空泵属于输运式真空泵。 凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得 真空的泵，称为机械真空泵 分类
水环式真空泵
• • • 水环式真空泵是液环式真空泵中最常见 的一种 水环泵主要用于粗真空、抽气量大的工 艺过程中 工作原理 水环泵工作轮2在泵体中旋转时形成了 水环3和工作室5。水环与工作轮构成了 月牙形空间。右边半个月牙形的容积由 小变大，形成吸气室。左边的半个月牙 形的容积由大变小，构成了压缩过程 (相当于排气室)。被抽气体由进气管8和 进气口4进入吸气室。转子进一步转动， 使气体受压缩，经过排气口6和排气管7 排出。排出的气体和水滴由排气管道7 进入水箱10，此时气体由水中分离出来， 气体经管管道9排到大气中，水由水箱 进入泵中，或经过管道11排到排水设备 中。
机械真空泵
旋片式真空泵的分类
利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。 它大致有如下几种分类： • 1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之 间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这 种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片 式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。 • 2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当 它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环， 液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容 吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真 空泵或油环式真空泵。
• 3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容 真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此， 适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需 要无油清洁真空环境的工艺场合。 • 4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或 多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定 的间隙。