平面度误差检测方法介绍

平面度误差检测方法介绍

摘要：平面度是属于形位公差中的一种，是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。下面我们主要对平面度的检测方法进行介绍。

平面度的定义

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。

平面的平面度公差符号、基本表示方法，如下图所示。

平面度测量方法

平面度误差是指被测实际表面相对其理想表面的变动量，理想平面的位置应符合最小条件，平面度误差属于形位误差中的形状误差。

平面度误差测量的常用方法有如下几种：

1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。

2、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。

3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差

6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法

测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。

测量效果示意图：

优势：

1）无需人工用肉眼去读数，可以减少由于人工读数产生的误差；

2）无需人工去处理数据，数据采集仪会自动计算出平面度误差值。

3）测量结果报警，一旦测量结果不在平面度公差带时，数据采集仪就会自动报警。

以是是对平面度误差检测方法的介绍，如需了解更多有关跳动测量的内容，可查看：跳动测量解决方案