电力电子半导体器件(MOSFET)
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第五章 功率场效应晶体管 (Power MOSFET)
TO-92
TO-126
TO-220F TO-247AC
§5.1 结构与工作原理
一、普通MOSFET基本结构 特点:单极型电压控制器件,具有自关断能力,驱动功率小 工作速度高,无二次击穿问题,安全工作区宽。 1.N沟道MOSFET 工作原理:
D
①VGS=0,无导电沟道。
②VGS>0,反型层出现, 形成N沟道,电子导电。
S G
类型:增强型,耗尽型
增强型
2.P沟道MOSFET:空穴导电
D
D
分类:增强型,耗尽型
G G
S
S
增强型
3.存在问题:平面型结构
耗尽型
S、G、D处于同一平面,电流横向流动,电流容量不可能 太大;要获得大功率,可增大沟道宽/长比(W/L),但沟道 长度受工艺限制,不能很小;增大管芯面积,但不经济,因此 管子功率小,大功率难实现。
④栅源击穿电压BVGS:
一般+20V,由于SiO2层极薄,VGS过高会发生介电击穿。 ⑤最大漏极电流IDM:受沟道宽度限制,使用时留有余量。
二、动态特性与参数
1.开关过程与开关时间: MOSFET为单极型器件,多数载流子导电,本身电阻效应 和渡越效应对开关过程影响很小,开关速度很高,ns级(典型 值20 ns) Vi上升到VT 延迟时间 上升时间 ①开通时间: ton td tr 影响因素:VT,CGS,CGD及 信号源上升时间、内阻。
2.隔离驱动电路:电磁隔离,光电隔离;
ห้องสมุดไป่ตู้
3.实用驱动电路及保护电路
种类很多:正反馈型,窄脉冲自保护型,高速关断型; 常用,如双PNP管驱动电路;
保护电路:采样漏极电压,与控制脉冲比较,实现保护。 SBD
过流检测
双绞线
三、MOSFET并联: 具有正温度系数沟道电阻,并联时可利用这一特性均流。 一般,静态电流均衡问题不大,关键是动态电流均衡分配,
六、MOSFET与GTR比较
§5.3 栅极驱动和保护
一、栅极驱动特性 与GTR相比,驱动功率小,电路简单。
1.理想栅极驱动电路:要求电路简单,快速,具有保护功能。
栅极为容性网络,驱动源输出电阻直接影响开关速度。
Ron,Roff输出电阻 正电压开通 负电压关断
2.驱动特性
MOSFET栅源间静态电阻趋于无穷大,静态时栅极驱动电 流几乎为零,但由于栅极输入电容的存在,栅极在开通和关 断的动态驱动中仍需一定的驱动电流。 ①开通驱动特性
3.转移特性:ID与VGS关系曲线
定义:跨导gm,表示MOSFET的放大能力,提高宽/长比,可 增大gm。
V GS(OFF) 夹断电压
g m I D
VGS
(S)
增强型
耗尽型
开启电压
转移特性
gm—VGS关系曲线
4.静态参数:
①通态电阻Ron: 定义:在规定VGS下,MOSFET由可变电阻区进入饱和区时的直
I G ( on )
CinVGS (CGS CGD )VGS ts ts
截止时漏极电压
在ts时间内,将栅极输入电容充电到饱和导通所需电压VGS 2.关断驱动电流:
I G ( off )
CGDVDS ' ts
放电时间
(二)驱动电路
1.直接驱动电路:TTL OC门驱动 互补输出驱动
CMOS驱动电路
如:开通、关断、窄脉冲下的峰值电流。
解决方法: ①选择器件,参数尽量一致;gm VT Ron
②并联MOSFET各栅极用电阻分开;串入电阻大于栅极电阻。 ③栅极引线设置磁珠,形成阻尼环节。
④漏极间接入几百PF电容,改变耦合相位关系
⑤源极引入适当电感 ⑥ 精心布局,器件对称,连线长度相同,驱动线双绞、等长。
流电阻。它决定管子发热,影响输出功率,通态压降。
Ron组成:
反型层沟道电阻rCH
栅漏积聚区电阻rACC FET夹断区电阻rjFET
轻掺杂区电阻rD
增大VGS,可减小rCH和rjFET
rD减小和提高耐压相矛盾。
Ron与器件耐压、温度关系:
器件耐压越高, Ron越大。随温度升高, Ron增大。
②开启电压VT:阈值电压
驱动电路 输出电阻
感性负载
振荡过程 引线电感
开通时间
VGS=VDS+VT
预夹断,进入放大区
②关断驱动特性: VDS关断时,由于引线电感 存在,产生尖峰电压
电路中应加缓冲电路,限幅 电路防止过电压
关断时,负驱动信号
尖峰电压
二、栅极驱动电路
(一)驱动电流选择: 不同MOSFET,极间电容量不同,功率越大,极间电容越大, 开通关断驱动电流也越大。 1.开通驱动电流:
②结温影响
Tj升高,CSOA曲线缩小。 ③电路引线电感影响 引线电感在二极管反向恢复时会产生反电动势,使器件承 受很高的峰值电压。二极管换向速度越快,引线电感越大, 峰值电压越高,对COSA要求更苛刻,应尽量减小引线电感。
L
四、温度稳定性:较GTR好
gm -0.2%/oC
Ron 正温度系数,0.4~0.8%/oC ,并联可自然均流。 五、典型参数
2.开关安全工作区(SSOA)
IDM
ton, toff < 1us Tj<150o
BVDS
3.转换安全工作区(CSOA) MOSFET工作频率高,经常处于转换过程中,其中的寄生 二极管影响转换过程。定义转换安全工作区CSOA,主要是 为限制反向恢复电荷的数值。
1)功率MOSFET反向恢复电荷与各因素的关系:
功率MOSFET无二次击穿,安全工作区较宽,但通态电阻Ron 较大,在低压时,不仅受最大电流限制,同时受功耗限制。
1.正向偏置安全工作区(FBSOA)
PDM
IDM
无二次击穿,无P S/B限制
RON
RON在导通时限制最大功耗 和结温,VDS较低时, RON 较大,ID下降。
BVDS
VDS较低时,极间电容增大, 开关过程变慢,开关损耗 增大,使ID下降。
二、功率MOSFET:
如何获得高耐压、大电流器件? 对比GTR,GTR在功率领域获得突破的原因: ①垂直导电结构:发射极和集电极位于基区两侧,基区面积大, 很薄,电流容量很大。
② N-漂移区:集电区加入轻掺杂N-漂移区,提高耐压。
③双重扩散技术:基区宽度严格控制,可满足不同等级要求。 ④ 集电极安装于硅片底部,设计方便,封装密度高,耐压特性 好,在较小体积下,输出功率较大。
G
D
寄生二极管
S
(二)多元集成结构 将成千上万个单元MOSFET(单元胞)并联连接形成。
特点:
①降低通态电阻,有利于电流提高。 多元集成结构使每个MOSFET单元沟道长度大大缩短,并联 后,沟道电阻大大减小,对提高电流大为有利。 如:IRF150N沟道MOSFET,通态电阻0.045Ω
②提高工作频率,改善器件性能。
(一)VMOSFET: 保留MOSFET的优点,驱动功率小;吸收GTR优点,扩 展功率,主要工艺: ①垂直导电结构;② N-漂移区;③双重扩散技术; 1.VVMOSFET:美国雷达半导体公司1975年推出 特点:
①VGS加电压后,形成反型层沟道,电流 垂直流动。
②漏极安装于衬底,可充分利用硅片面积 ③N-漂移区,提高耐压,降低CGD电容。 ④双重扩散可精确控制沟道长度。
最大允许重复电压
200A / S
影响换向速度di/dt的主要原因是:引线电感和二极管反向电压
如:电源电压50V,线路杂散电感100nH,则:
di dt VDD 500 A / S L
3)MOSFET应用时,电路参数对CSOA的影响:
①栅源极间电阻RGS和电感LGS的影响
如果RGS或LGS过大,二极管反向恢复时产生的,dVDS/dt可能使 VGS>VT,造成误导通;有时虽不能使MOSFET开通,但使其进入放 大状态,延长二极管反向恢复时间,使重加电压峰值降低,反 向恢复期间功耗增加。但重加电压峰值降低,可避免MOSFET过 电压击穿。
可变电阻区:ID随 VDS线性变化区, VGS越大,沟道电 阻越小。
雪崩区:击穿区, VDS增大,使漏 极PN结击穿。
BVDS
VDS
夹断区:截止区,VGS<VT(开启电压) 无反型层,ID电流为0。
2.饱和特性:MOSFET饱和导通特性
特点:
导通时,沟道电阻较大, 饱和压降较大。不像GTR有 超量存储电荷,是单极型器 件,没有载流子存储效应。 使用时,尽量减小沟道电 阻,一般,增大VGS电压, 可使沟道电阻减小。
Vi
②关断时间: toff ts t f
存储时间 下降时间
影响因素:CDS,负载电阻RD
2.极间电容:CGS,CGD,CDS
CGS,CGD取决于管子几何形状, 绝缘层厚度等物理尺寸,数值 稳定,几乎不变化。 CDS由PN结形成,取决于沟道 面积,反偏程度,受电压、温 度变化影响。 一般: 输入电容:Ciss CGS CGD 输出电容:Coss CDS CGD 反馈电容:Crss CGD *VDS越大,极间电容越小;低压下使用时,开关时间加大, 工作频率受限制。*开关速度与寄生电容充放电时间有关。
3.影响开关时间的因素:
①极间电容;
②寄生电感; ③VDS电压; ④ID电流; ⑤ 驱动源参数(内阻)
4.dv/dt对MOSFET动态性能影响 ①静态dv/dt:会引起MOSFET栅极电压变 化,导致错误开通。在栅源间并联电阻, 可防止误开通。 ②动态dv/dt:回路中电感在MOSFET关 断时,引起动态dv/dt;工作频率越高, 负载等效电感越大,器件同时承受大的 漏极电流和高漏极电压,将导致器件损 坏。 加吸收回路,减小引线长度,采用谐 振型电路,可抑制dv/dt
反型层建立所需最低栅源电压。 定义:工业上,在漏源短接条件下,ID=1mA时的栅极电压。
VT随结温Tj变化,呈负温度系数,Tj每增高45OC,VT下降10%,
-6.7mV/OC。 ③漏极击穿电压BVDS: 功率MOSFET的最高工作电压,使用时留有余量;加吸收回路限 制。具有正温度系数,Tj升高100OC, BVDS增大10%。
③二极管恢复期dv/dt:在MOSFET使用中,二极管发生续流 过程时,漏极电压快速上升,内部二极管反向恢复过程中导 致损坏。主要原因是寄生二极管表现为少子器件,有反向恢 复时间,反向恢复期间存储电荷快速消失,会增大电流密度 和电场强度,引起局部击穿(如二次击穿),导致器件损坏。
快速二极管
三、安全工作区
多元集成结构使沟道缩短,减小载流子渡越时间,并联结 构,允许很多载流子同时渡越,开通时间大大缩短,ns级。
§5.2 MOSFET特性与参数
一、静态特性与参数 输出特性、饱和特性、转移特性及通态电阻、开启电压、 跨导、最大电压定额、最大电流定额。 1.输出特性:
饱和区:放大区,随VGS增大, ID电流恒流区域。
转换前二极管 中最大正向电 流
漏源峰值电压
电流变化率di/dt
2)定义:CSOA为功率MOSFET寄生二极管反向恢复性能所
决定的极限工作范围。 表示:在换向速度di/dt一定时,用漏极正向电压(二极管反向
电压)和二极管正向电流的安全运行极限值表示。
二极管最大正向电流
di 100 A / s dt
四、MOSFET保护
1.防止静电击穿; 2.防止偶然性振荡损坏器件;
3.防止过电压;
4.防止过电流; 5.消除寄生晶体管、二极管影响。
§5.4 应用
DC—DC变换器; DC—AC变换器; 开关电源; 中频、高频加热电源;
缺点:V型槽底部易引起电场集中,提高耐压困难,改进:U型MOSFET。
2.VDMOSFET:垂直导电的双扩散MOS结构 沟道部分是由同一扩散窗利用 两次扩散形成的P型体区和N+型源 区的扩散深度差形成的,沟道长度 可以精确控制——双重扩散。
电流在沟道内沿着表面流动, 然后垂直地被漏极吸收。由于漏极 也是从硅片底部引出,所以可以高 度集成化。 漏源间施加电压后,由于耗尽层的 扩展,使栅极下的MOSFET部分几乎保 持一定的电压,于是可使耐压提高。 在此基础上,各种性能上不断改进, 出现新结构:TMOS、HEXFET、 SIPMOS、π -MOS等。
TO-92
TO-126
TO-220F TO-247AC
§5.1 结构与工作原理
一、普通MOSFET基本结构 特点:单极型电压控制器件,具有自关断能力,驱动功率小 工作速度高,无二次击穿问题,安全工作区宽。 1.N沟道MOSFET 工作原理:
D
①VGS=0,无导电沟道。
②VGS>0,反型层出现, 形成N沟道,电子导电。
S G
类型:增强型,耗尽型
增强型
2.P沟道MOSFET:空穴导电
D
D
分类:增强型,耗尽型
G G
S
S
增强型
3.存在问题:平面型结构
耗尽型
S、G、D处于同一平面,电流横向流动,电流容量不可能 太大;要获得大功率,可增大沟道宽/长比(W/L),但沟道 长度受工艺限制,不能很小;增大管芯面积,但不经济,因此 管子功率小,大功率难实现。
④栅源击穿电压BVGS:
一般+20V,由于SiO2层极薄,VGS过高会发生介电击穿。 ⑤最大漏极电流IDM:受沟道宽度限制,使用时留有余量。
二、动态特性与参数
1.开关过程与开关时间: MOSFET为单极型器件,多数载流子导电,本身电阻效应 和渡越效应对开关过程影响很小,开关速度很高,ns级(典型 值20 ns) Vi上升到VT 延迟时间 上升时间 ①开通时间: ton td tr 影响因素:VT,CGS,CGD及 信号源上升时间、内阻。
2.隔离驱动电路:电磁隔离,光电隔离;
ห้องสมุดไป่ตู้
3.实用驱动电路及保护电路
种类很多:正反馈型,窄脉冲自保护型,高速关断型; 常用,如双PNP管驱动电路;
保护电路:采样漏极电压,与控制脉冲比较,实现保护。 SBD
过流检测
双绞线
三、MOSFET并联: 具有正温度系数沟道电阻,并联时可利用这一特性均流。 一般,静态电流均衡问题不大,关键是动态电流均衡分配,
六、MOSFET与GTR比较
§5.3 栅极驱动和保护
一、栅极驱动特性 与GTR相比,驱动功率小,电路简单。
1.理想栅极驱动电路:要求电路简单,快速,具有保护功能。
栅极为容性网络,驱动源输出电阻直接影响开关速度。
Ron,Roff输出电阻 正电压开通 负电压关断
2.驱动特性
MOSFET栅源间静态电阻趋于无穷大,静态时栅极驱动电 流几乎为零,但由于栅极输入电容的存在,栅极在开通和关 断的动态驱动中仍需一定的驱动电流。 ①开通驱动特性
3.转移特性:ID与VGS关系曲线
定义:跨导gm,表示MOSFET的放大能力,提高宽/长比,可 增大gm。
V GS(OFF) 夹断电压
g m I D
VGS
(S)
增强型
耗尽型
开启电压
转移特性
gm—VGS关系曲线
4.静态参数:
①通态电阻Ron: 定义:在规定VGS下,MOSFET由可变电阻区进入饱和区时的直
I G ( on )
CinVGS (CGS CGD )VGS ts ts
截止时漏极电压
在ts时间内,将栅极输入电容充电到饱和导通所需电压VGS 2.关断驱动电流:
I G ( off )
CGDVDS ' ts
放电时间
(二)驱动电路
1.直接驱动电路:TTL OC门驱动 互补输出驱动
CMOS驱动电路
如:开通、关断、窄脉冲下的峰值电流。
解决方法: ①选择器件,参数尽量一致;gm VT Ron
②并联MOSFET各栅极用电阻分开;串入电阻大于栅极电阻。 ③栅极引线设置磁珠,形成阻尼环节。
④漏极间接入几百PF电容,改变耦合相位关系
⑤源极引入适当电感 ⑥ 精心布局,器件对称,连线长度相同,驱动线双绞、等长。
流电阻。它决定管子发热,影响输出功率,通态压降。
Ron组成:
反型层沟道电阻rCH
栅漏积聚区电阻rACC FET夹断区电阻rjFET
轻掺杂区电阻rD
增大VGS,可减小rCH和rjFET
rD减小和提高耐压相矛盾。
Ron与器件耐压、温度关系:
器件耐压越高, Ron越大。随温度升高, Ron增大。
②开启电压VT:阈值电压
驱动电路 输出电阻
感性负载
振荡过程 引线电感
开通时间
VGS=VDS+VT
预夹断,进入放大区
②关断驱动特性: VDS关断时,由于引线电感 存在,产生尖峰电压
电路中应加缓冲电路,限幅 电路防止过电压
关断时,负驱动信号
尖峰电压
二、栅极驱动电路
(一)驱动电流选择: 不同MOSFET,极间电容量不同,功率越大,极间电容越大, 开通关断驱动电流也越大。 1.开通驱动电流:
②结温影响
Tj升高,CSOA曲线缩小。 ③电路引线电感影响 引线电感在二极管反向恢复时会产生反电动势,使器件承 受很高的峰值电压。二极管换向速度越快,引线电感越大, 峰值电压越高,对COSA要求更苛刻,应尽量减小引线电感。
L
四、温度稳定性:较GTR好
gm -0.2%/oC
Ron 正温度系数,0.4~0.8%/oC ,并联可自然均流。 五、典型参数
2.开关安全工作区(SSOA)
IDM
ton, toff < 1us Tj<150o
BVDS
3.转换安全工作区(CSOA) MOSFET工作频率高,经常处于转换过程中,其中的寄生 二极管影响转换过程。定义转换安全工作区CSOA,主要是 为限制反向恢复电荷的数值。
1)功率MOSFET反向恢复电荷与各因素的关系:
功率MOSFET无二次击穿,安全工作区较宽,但通态电阻Ron 较大,在低压时,不仅受最大电流限制,同时受功耗限制。
1.正向偏置安全工作区(FBSOA)
PDM
IDM
无二次击穿,无P S/B限制
RON
RON在导通时限制最大功耗 和结温,VDS较低时, RON 较大,ID下降。
BVDS
VDS较低时,极间电容增大, 开关过程变慢,开关损耗 增大,使ID下降。
二、功率MOSFET:
如何获得高耐压、大电流器件? 对比GTR,GTR在功率领域获得突破的原因: ①垂直导电结构:发射极和集电极位于基区两侧,基区面积大, 很薄,电流容量很大。
② N-漂移区:集电区加入轻掺杂N-漂移区,提高耐压。
③双重扩散技术:基区宽度严格控制,可满足不同等级要求。 ④ 集电极安装于硅片底部,设计方便,封装密度高,耐压特性 好,在较小体积下,输出功率较大。
G
D
寄生二极管
S
(二)多元集成结构 将成千上万个单元MOSFET(单元胞)并联连接形成。
特点:
①降低通态电阻,有利于电流提高。 多元集成结构使每个MOSFET单元沟道长度大大缩短,并联 后,沟道电阻大大减小,对提高电流大为有利。 如:IRF150N沟道MOSFET,通态电阻0.045Ω
②提高工作频率,改善器件性能。
(一)VMOSFET: 保留MOSFET的优点,驱动功率小;吸收GTR优点,扩 展功率,主要工艺: ①垂直导电结构;② N-漂移区;③双重扩散技术; 1.VVMOSFET:美国雷达半导体公司1975年推出 特点:
①VGS加电压后,形成反型层沟道,电流 垂直流动。
②漏极安装于衬底,可充分利用硅片面积 ③N-漂移区,提高耐压,降低CGD电容。 ④双重扩散可精确控制沟道长度。
最大允许重复电压
200A / S
影响换向速度di/dt的主要原因是:引线电感和二极管反向电压
如:电源电压50V,线路杂散电感100nH,则:
di dt VDD 500 A / S L
3)MOSFET应用时,电路参数对CSOA的影响:
①栅源极间电阻RGS和电感LGS的影响
如果RGS或LGS过大,二极管反向恢复时产生的,dVDS/dt可能使 VGS>VT,造成误导通;有时虽不能使MOSFET开通,但使其进入放 大状态,延长二极管反向恢复时间,使重加电压峰值降低,反 向恢复期间功耗增加。但重加电压峰值降低,可避免MOSFET过 电压击穿。
可变电阻区:ID随 VDS线性变化区, VGS越大,沟道电 阻越小。
雪崩区:击穿区, VDS增大,使漏 极PN结击穿。
BVDS
VDS
夹断区:截止区,VGS<VT(开启电压) 无反型层,ID电流为0。
2.饱和特性:MOSFET饱和导通特性
特点:
导通时,沟道电阻较大, 饱和压降较大。不像GTR有 超量存储电荷,是单极型器 件,没有载流子存储效应。 使用时,尽量减小沟道电 阻,一般,增大VGS电压, 可使沟道电阻减小。
Vi
②关断时间: toff ts t f
存储时间 下降时间
影响因素:CDS,负载电阻RD
2.极间电容:CGS,CGD,CDS
CGS,CGD取决于管子几何形状, 绝缘层厚度等物理尺寸,数值 稳定,几乎不变化。 CDS由PN结形成,取决于沟道 面积,反偏程度,受电压、温 度变化影响。 一般: 输入电容:Ciss CGS CGD 输出电容:Coss CDS CGD 反馈电容:Crss CGD *VDS越大,极间电容越小;低压下使用时,开关时间加大, 工作频率受限制。*开关速度与寄生电容充放电时间有关。
3.影响开关时间的因素:
①极间电容;
②寄生电感; ③VDS电压; ④ID电流; ⑤ 驱动源参数(内阻)
4.dv/dt对MOSFET动态性能影响 ①静态dv/dt:会引起MOSFET栅极电压变 化,导致错误开通。在栅源间并联电阻, 可防止误开通。 ②动态dv/dt:回路中电感在MOSFET关 断时,引起动态dv/dt;工作频率越高, 负载等效电感越大,器件同时承受大的 漏极电流和高漏极电压,将导致器件损 坏。 加吸收回路,减小引线长度,采用谐 振型电路,可抑制dv/dt
反型层建立所需最低栅源电压。 定义:工业上,在漏源短接条件下,ID=1mA时的栅极电压。
VT随结温Tj变化,呈负温度系数,Tj每增高45OC,VT下降10%,
-6.7mV/OC。 ③漏极击穿电压BVDS: 功率MOSFET的最高工作电压,使用时留有余量;加吸收回路限 制。具有正温度系数,Tj升高100OC, BVDS增大10%。
③二极管恢复期dv/dt:在MOSFET使用中,二极管发生续流 过程时,漏极电压快速上升,内部二极管反向恢复过程中导 致损坏。主要原因是寄生二极管表现为少子器件,有反向恢 复时间,反向恢复期间存储电荷快速消失,会增大电流密度 和电场强度,引起局部击穿(如二次击穿),导致器件损坏。
快速二极管
三、安全工作区
多元集成结构使沟道缩短,减小载流子渡越时间,并联结 构,允许很多载流子同时渡越,开通时间大大缩短,ns级。
§5.2 MOSFET特性与参数
一、静态特性与参数 输出特性、饱和特性、转移特性及通态电阻、开启电压、 跨导、最大电压定额、最大电流定额。 1.输出特性:
饱和区:放大区,随VGS增大, ID电流恒流区域。
转换前二极管 中最大正向电 流
漏源峰值电压
电流变化率di/dt
2)定义:CSOA为功率MOSFET寄生二极管反向恢复性能所
决定的极限工作范围。 表示:在换向速度di/dt一定时,用漏极正向电压(二极管反向
电压)和二极管正向电流的安全运行极限值表示。
二极管最大正向电流
di 100 A / s dt
四、MOSFET保护
1.防止静电击穿; 2.防止偶然性振荡损坏器件;
3.防止过电压;
4.防止过电流; 5.消除寄生晶体管、二极管影响。
§5.4 应用
DC—DC变换器; DC—AC变换器; 开关电源; 中频、高频加热电源;
缺点:V型槽底部易引起电场集中,提高耐压困难,改进:U型MOSFET。
2.VDMOSFET:垂直导电的双扩散MOS结构 沟道部分是由同一扩散窗利用 两次扩散形成的P型体区和N+型源 区的扩散深度差形成的,沟道长度 可以精确控制——双重扩散。
电流在沟道内沿着表面流动, 然后垂直地被漏极吸收。由于漏极 也是从硅片底部引出,所以可以高 度集成化。 漏源间施加电压后,由于耗尽层的 扩展,使栅极下的MOSFET部分几乎保 持一定的电压,于是可使耐压提高。 在此基础上,各种性能上不断改进, 出现新结构:TMOS、HEXFET、 SIPMOS、π -MOS等。