我国全线打通AMOLED制造工艺技术

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打造国内第一块全彩色柔性AMOLED显示屏——彭俊彪教授团队占领柔性有机发光显示技术“制高点”

验，经历无数次的尝试，终于发明了镧系稀土掺杂氧化物的新材料体系。由此研发了新型稀土氧化物半导体材料Ln-IZO，掌握了高迁移率、高稳定性、低成本的 Ln-IZO TFT 背板核心器件和工艺制程，形成自主知识产权，初步建立了涵盖氧化物TFT及相关显示技术等各个领域的专利群。应用Ln-IZO TFT技术，迁移率可达 30cm2/Vs以上，达到IGZO TFT的 2-3倍，可以有效降低显示屏功耗和提高显示性能；综合性能与 LTPS TFT接近，但成本远低于 LTPS技术。目前，该Ln-IZO TFT技术已经在新视界的中试线完成技术导入，并成功进行了产品开发及验证，相关的量产规划
早在2010年8月，为了掌握柔性显示的关键技术，推动科研成果更快更好地转化，华南理工大学与创维集团联手建立广东省 OLED显示屏产学研合作平台及其运营实体——广州新视界光电
科技有限公司，使高校、实验室和企业形成了互补互利的局面。这一全新的产学研合作模式，有利于充分整合研发与市场两方面的资源，逐步优化和完善OLED 产业链，加快国内OLED技术及产业的发展速度，提升市场竞争力，实现我国OLED产业的“弯道超越”。
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彭俊彪教授团队成果获奖
过重复性和稳定性更高的工艺型设备制成样品，再推向市场。
突破氧化物Leabharlann 导体TFT基板关键技术从上世纪60年代的显像管真空技术，到90年代的液晶技术，再到21世纪初的超薄有机发光技术……自显示器诞生以来，高分辨率、全彩色的显示一直是人们追求的目标。近年来，中小尺寸的AMOLED显示屏已在智能手机、平板电脑等便携式产品上获得了成功，其应用正逐渐向大尺寸显示产品（例如电视等）扩

amoled生产工艺

amoled生产工艺AMOLED(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode)是一种广泛应用于手机和平板电脑等移动设备的显示技术。

它采用了有源矩阵来控制每个像素的发光，具有高对比度、快速响应和低功耗等优点。

AMOLED的生产工艺主要可以分为以下几个步骤：1. 基板制备：首先需要准备AMOLED显示屏的基板。

典型的基板材料包括玻璃、聚酰亚胺(Polyimide)和柔性玻璃等。

基板的选择取决于显示屏的要求，柔性基板通常用于可弯曲和可折叠的显示屏。

2. 编刻透明电极：将基板沉浸在盛有适当溶液的反应槽中，然后通过光刻技术将基板上的透明电极层进行精确的制作。

透明电极通常采用氧化铟锡(ITO)材料。

3. 制备有机发光材料：AMOLED使用有机发光材料作为发光层。

制备有机发光材料的过程包括溶剂混合、溶解物沉降、压榨和纯化等步骤。

这些材料通常是有机分子，如聚芴(Polyfluorene)和荧光染料。

4. 有机蒸发：将有机发光材料以蒸发的方式沉积在基板上，可以通过加热源或者高频脉冲电流来实现。

这个过程中需要精确控制材料的沉积速度和均匀性，确保每个像素都能够发光。

5. 金属电极沉积：使用金属材料如铝或银，通过物理气相沉积或化学气相沉积的方法，在有机发光材料之上形成电极层。

这些电极主要用于与基板的透明电极连接，用以控制每个像素的发光。

6. 打印封装：在制备好的AMOLED显示屏上，需要进行打印封装的步骤，将其组装成完整的模块。

这个过程包括贴合衬底片、封装薄膜、形成像素点和连接驱动电路等工艺。

7. 调试测试：完成打印封装后，需要对AMOLED显示屏进行调试和测试。

这包括对每个像素点的发光效果、显示精度和色彩准确性进行检验，以确保显示屏质量达到标准要求。

8. 最终装配：经过测试确认无问题后，AMOLED显示屏会进行最终装配流程，包括与触摸屏组装、连接驱动芯片和外壳组装等。

最终装配完毕后，AMOLED显示屏就可进行市场销售和应用。

华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室研究员兰林锋在研发中攻坚克难变中突破

的新达人|INNOVATING TALENTMill i华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室研究员兰林锋：在研发中攻坚克难变中突破■文/王洋“显示产业是年产值超过千亿美元的大产业，而薄膜晶体管（TFT）是显示面板的共性技术和核心技术。

目前TFT 面板的关键材料、技术和设备基本上被国外掌握，我国以引进生产线为主，缺少自主的核心技术。

”当前，国际形势风云突变，美国正对我国全面遏制打压，通过“实体清单”政策限制我国企业或机构釆购釆用美国技术、设备和软件制造的产品，我国的制造业面临着严峻的被“卡脖子”的局面。

面对这种紧迫的局面，我们要增强危机感和紧迫感，主动作为，把这一风险挑战转化为科技发展的重大机遇。

科技创新是推动国家发展的重要动力，也是实现国家安全的重要保障。

早在2016年，习近平总书记在网络安全与信息化工作座谈会上就前瞻性地提出：“要尽快在核心技术上取得突破。

要有决心、恒心、重心，树立顽强拼搏、刻苦攻关的志气，坚定不移实施创新驱动发展战略，抓住基础技术、通用技术、非对称技术、前沿技术、颠覆性技术，把更多人力物力财力投向核心技术研发，集合精锐力量，作出战略性安排。

”来自华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室的博士生导师兰林锋研究员一直以科技创新、学以致用为目标，在新型半导体材料与器件的研究中不断取得创新突破，并进一步探索新型氧化物半导体材料及器件在OLED显示、柔性显示、透明显示及印刷显示中的应用。

变中求新研制国内首块氧化物TFT阵列基板2008年，来自福建省武平县的兰林锋开始进行氧化物（基于ZnO）TFT的研究。

这又是一个全新的开始，因为当时国内几乎没有人研究氧化物TFT,更没有公司提供掺杂氧化物12♦中国高新科技2020年第18期INNOVATING TALENT|创新达人的靶材，在做靶材方面就已经费尽周折。

在实验中，兰林锋发现了稀土离子与氧空位电子的温度互补偿效应，据此发明了稀土掺杂的氧化物半导体材料体系LnxInl-xZnO4（简称：Ln-IZO）,解决了氧化物TFT在光热及偏压下面临的阈值电压严重漂移问题，同时IZO突破了传统IGZO的迁移率瓶颈，阵列迁移率最高可达50cm7Vs（传统IGZO的阵列迁移率难以突破20cm2/Vs）o此外，也打通了TFT阵列制备工艺，制备出国内首块氧化物TFT阵列基板。

AMOLED屏幕技术解析

手机显示屏幕发展趋势AMOLED屏幕技术解析【手机终端屏幕发展】显示屏作为手机最重要的，显示输出设备，已经成为手机生产商场争夺市场的有力武器。

虽然手机显示屏发展至今天最高也不过4.3英寸(目前市售手机中可见的尺寸)，但就是这样一块小小的显示设备，却蕴含了无限的尖端科技与人类智慧的结晶。

从最初的单色LCD显示屏幕，到STN、CSTN显示技术，再到TFT显示屏，显示技术几乎见证了手机产业的发展历程。

当手机进入彩色显示时代后，各大厂商纷纷以手机屏幕作为手机高低等次的分水岭。

从彩屏时代开始，手机屏幕也出现了材质细分。

CSTNCSTN 是 Color STN 的缩写，是 STN 的升级产品，比STN的亮度和对比度要高。

一般采用传送式照明方式。

大家在使用这类手机的时候，通常会发现屏幕上有背光灯，所以这种屏幕在正常情况及暗光线环境下显示效果都要好于STN ，CSTN的显示原理是在传统单色STN 液晶显示器上加一彩色滤光片，并将单色显示矩阵中的每一像素分成三个子像素，分别通过彩色滤光片显示红、绿、蓝三原色就可显示出彩色画面。

与TFT不同，STN属于无源被动型液晶显示屏，一般最高能显示65K种色彩。

但是响应速度慢是它的致命伤，这就是很多采用这种屏幕的手机看起运行速度非常缓慢，其实是来自屏幕响应速度的迟滞。

图为：CSTN屏幕显示机型例举：三星SGH-C168、三星SGH-C178TFTTFT(ThinFilmTransistor)是指薄膜晶体管，意即每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息，是目前最好的LCD彩色显示设备之一，其效果接近CRT显示器，是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。

TFT的每个像素点都是由集成在自身上的TFT来控制，是有源像素点。

因此，不但速度可以极大提高，而且对比度和亮度也大大提高了，同时分辨率也达到了很高水平。

TFT ( Thin film Transistor，薄膜晶体管)屏幕，它也是目前中高端彩屏手机中普遍采用的屏幕，分65536色、26万色、1600万色三种，其显示效果非常出色。

柔性AMOLED显示触摸屏技术现状及发展趋势

柔性AMOLED显示触摸屏技术现状及发展趋势摘要：三星、华为、欧珀等各主流手机品牌也先后推出折叠屏手机产品，联想、英特尔等电脑品牌也陆续发布折叠屏笔记本。

为了满足越来越多样的柔性AMOLED显示产品需求，柔性显示模组中触摸屏的减薄、耐弯折和耐卷曲已是相应触控技术开发的主流方向。

柔性显示模组的信赖性需求，对柔性电极材料提出更高要求，电极材料的高透过率需求与低方阻需求又互相制约。

从早期的玻璃基材的ITO触控方案，到后来高分子材料基材和各种耐弯折导电材料的可折叠触控开发，再到近几年柔性AMOLED手机产品使用的集成触控方案，行业努力打破思维局限及解决技术难题，电容触摸屏的结构和材料均有了多方位发展，为广大消费者提供更加实用、形态更加多样、性能更加优秀的智能交互产品。

关键词：柔性AMOLED显示；触摸屏技术；现状及发展引言从市场角度来看，触摸屏是直接发送指令的输入设备，而不是用于与计算机通信的键盘和鼠标以及透明面板。

从技术角度来看，触摸屏是一个绝对透明的定位系统，因此需要通过材料技术解决透明度问题，不需要光标，只需点击屏幕上的图标和文字，计算机就可以按照用户的指示工作，无论手指在哪里触摸。

1根据检测原理分类根据检测原理不同，投射式电容触摸屏分为自电容和互电容两种。

自电容检测每个感应单元自身电容（对地电容）的变化。

当手指靠近或触摸到触摸屏时，手指的电容叠加到屏体电容上，屏体电容增加。

对于行列电极设计的自容屏，在触摸检测时，只能检测X行+Y列个电容，当两指触摸时，X和Y方向分别产生两个信号，会报鬼点。

点阵电极设计的自容屏，共有X×Y个电极，可以分别检测X×Y个对地电容，可支持多点触控。

点阵自容电极设计如图1（a）所示，是目前小尺寸穿戴式产品常用触控方案。

互电容检测两个交叉感应块之间形成的电容，两个感应块分别构成电容的两极。

驱动电极提供激励信号，感应电极同时接收信号，这样可以检测到所有横向和纵向交汇点的电容大小。

AMOLED工艺

AMOLED p-Si TFT阵列重要工艺0 概述AMOLED是一种新兴的显示技术，其制作工艺复杂多样。

现以低温多晶硅晶体管（LTPSTFT）的工艺为例，剖析几个较为重要的工艺。

关键词：准分子退火、轻掺杂漏1 准分子激光退火（ELA）1.1含义准分子激光退火是将激光束短时间内（30-200ns）照射到非晶硅薄膜上，瞬间融化非晶硅，使其转化为多晶硅的过程。

1.2重要性结晶技术多种多样，有固相结晶(SPC)、金属诱导结晶(MIC)和准分子激光退火(ELA)等。

ELA在这些结晶工艺中较为适合TFT阵列工艺，一方面非晶硅对准分子激光有很强的吸收率。

非晶硅薄膜在308mm的强紫外线波长下吸收系数较大，表面约5-10mm厚的非晶硅薄膜吸收层吸收100%的紫外光后被熔化。

另一方面，准分子激光对下层的穿透度不高，非晶硅受激光照射后，温度上升到2000℃，但只有玻璃基板上约5μm厚的表面层有温度变化，其他部分几乎没有温度变化。

［1］TFT-LCD技术：结构、原理及制造申智源影响晶粒的大小的主要因素是激光能量密度和照射次数。

如图所示。

从图中可知，在低能量密度区，晶粒随着能量密度的增加逐渐增大。

而当能量密度达到一定值时，晶粒突然增大。

继续增加激光能量密度时，整层非晶硅全部被熔解。

由于没有籽晶导引，非晶硅薄膜结晶化为晶粒尺寸很小的多晶硅薄膜。

非晶硅薄膜照射一次后，得到的多晶硅颗粒尺寸不大。

实际上为了使颗粒尺寸最佳化，会反复照射20次。

从第六讲我们可以知道，晶粒大小就是一个重要的影响因素。

如果晶粒较小，那么晶界面所占比例就会增大，晶界面上的原子排布不规则存在畸变，从而使系统的自由能增高。

而如果晶粒较大，则多晶硅的均一性就不好。

所以在ELA退火时要重点把握晶粒大小的控制。

在ELA技术中，横向生长比较好，可以产生颗粒大一些的晶粒，超级横向生长区（SLG）有利于提高多晶硅的载流子迁移率，但是对应的激光能量范围非常小，而且结晶均一性不高。

AMOLED简介演示

第三代AMOLED技术
总结词
高分辨率，高色彩还原
VS
详细描述
第三代AMOLED技术采用了高分辨率和高色彩还原的显示面板，使得图像更加清晰、逼真。同时，该技术还提高了亮度和对比度，进一步提升了显示效果。
未来发展趋势
总结词
柔性可折叠，透明显示
详细描述
随着科技的不断发展，AMOLED技术将继续向柔性可折叠和透明显示等方向发展。未来，我们有望看到更加轻薄、可折叠的电子产品以及透明显示的应用，为人们带来更加丰富的视觉体验。
技术优势与局限性
技术优势
AMOLED具有高对比度、宽视角、快速响应速度、高色彩饱和度和低功耗等优点。此外，AMOLED还适用于弯曲和可折叠显示技术，为未来新型显示产品提供了可能性。
局限性
由于AMOLED使用有机材料，因此存在老化问题，长时间使用可能导致颜色衰减和残影。此外，AMOLED的生产成本较高，主要应用于高端产品市场。
其他领域
• AMOLED技术还广泛应用于其他领域，如车载显示、商业展示、虚拟现实等。由于其出色的显示效果和轻薄、可弯曲的特性，AMOLED技术在未来还将有更广泛的应用前景。
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AMOLED市场现状与前景
市场概况
市场规模
近年来，AMOLED市场规模不断扩大，随着智能手机、电视、平板电脑等消费电子产品的普及，市场需求持续增长。
详细描述
AMOLED显示屏的有机材料会随着时间的推移和使用的频繁程度逐渐退化，导致色彩失真、亮度下降和寿命缩短。此外，高温和高湿环境下，AMOLED显示屏的性能也会受到影响，稳定性较差。
生产成本问题
总结词
AMOLED技术的生产成本相对较高，制约了其广泛应用。

国内AMOLED产业高潮

国内AMOLED产业高潮
中国AMOLED产业投资近几年达到高潮，根据CINNOResearch数据统计，目前中国大陆共有17条AMOLED产线, 投资金额在未来三年均维持在1000亿人民币左右的规模。

在AMOLED生产线投资中，设备投资部分占比高达80%以上，但其中90%以上均被韩日等海外设备厂占据，国产设备仅仅在非核心的自动化和检测设备方面占据部分份额。

核心设备国产化率低这个问题严重制约了我们从显示制造大国向显示制造强国的产业升级之路。

根据CINNOResearch数据，目前国产设备在自动化和检测领域的渗透率达到18%左右，已经可以和国外先进制造商平等竞争，但在成膜技术(PVD,CVD，Evaporator)和曝光技术等方面，我们和国外存在较大的技术差距，短期难以追赶突破。

而在湿制程这个领域，目前国产化渗透率在3%左右，这将是未来国产设备最有望实现突破的核心设备领域。

在面板制造工艺中，湿制程设备即使用水，洗剂或化学品等液态物质对玻璃基板进行加工的工艺设备，包含玻璃基板清洗设备(Cleaner)，光阻涂布显影设备(Coater&Develop)，湿法刻蚀设备(Wet Etching)和光阻剥离设备(Stripper)。

目前这部分设备暂时被韩日设备商垄断。

OLED资料

什么是PMOLEDPMOLED的英文全称是Passive Matrix OLED，中文意思是被动式有机电激发光二极管。

如果将OLED比作LCD，PMOLED就如同STN LCD；而主动式有机电激发光二极管(Active matrix OLED；AMOLED)就如同TFT LCD。

前者较不适合用于显示动态影像，反应速度相对较慢，较难发展中大尺寸面板，不过相对较为省电；后者则是反应速度较快，并可发展各种尺寸应用，最大可达电视面板需求，但相对被动式较为耗电。

2011年国内主要OLED企业状况分析OLED产业发展受到了中国政府的高度关注，在工业和信息化部支持下，中国内地的OLED研发取得了突破性进展。

2008年10月，由清华大学组建的维信诺公司在昆山成功建成中国内地第一条OLED大规模生产线，实现了小尺寸OLED显示屏的量产。

目前，中国内地主要有昆山维信诺、汕尾信利、四川虹视、佛山彩虹等企业从事小尺寸OLED生产。

而中国首条AMOLED中试线已经在昆山建成投产并于2010年底打通全部生产工艺，上海天马和佛山彩虹都在建设4.5代AMOLED生产线预计2011年即可量产，京东方及四川虹视等也在积极进行AMOLED项目研发工作。

中国大陆的AMOLED面板生产线有京东方的4.5代和5.5代线，成都虹视的4.5代线，长三角天马的2.5代线，维信诺的2.5代线和4.5代线，厦门天马的5.5代线，珠三角彩虹的2条4.5代线，彩显的2.5代线，信利的2.5代线等，我国AMOLED产业即将见到丰收的硕果。

1、维信诺：自主创新引领中国OLED产业2008年10月，维信诺公司依托清华大学研究的技术在昆山建立了中国大陆第一条PMOLED大规模生产线，使我国OLED产业初具规模。

十多年来，维信诺始终坚持自主创新，走从技术开发到产业化发展的道路，并成为中国大陆最早完整掌握PMOLED生产制造技术的企业。

全球出货量位居第三因为看好OLED产业的发展前景，从2002年起，维信诺依托清华大学研究的技术建成了中国大陆第一条PMOLED中试生产线，2009年维信诺建立了中国大陆第一条AMOLED中试生产线，并于2010年实现了LTPSTFT背板与OLED的技术集成。

AMOLED大尺寸化面临的技术挑战

后在玻璃基板上沉积，由于遮罩的作用形成预定的
发光层的效率非常高，仍会出现彩色滤光片吸收光的现象，因此存在显示器耗电量比三基色分别涂布方式明显增加的问题。而三基色分别涂布方式虽然
有利于降低耗电量，必须在各像素中分别形成Ｒ、但Ｇ、Ｂ发光层。这种有机ＥＬ发光层的分别涂布技术还存在很多制造技术课题，因此基板大尺寸化非常
成熟，对于前两种方案，相白光＋Ｆ的方案更容易Ｃ
实现大尺寸，方案为Ｌ该Ｇ所采用。但是，即使白色
图２所示为通常蒸镀有机ＥＬ材料的示意图，
玻璃基板和ＦＭＭ放置在一起，紧并对位，后倒贴然置于蒸镀腔体顶部，有机ＥＬ材料从蒸发源中气化
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（．１彩虹佛山平板显示有限公司，东佛山５８３２彩虹集团公司南方研究院，东佛山５８３；广２３３；．广２３３
３彩虹集团北京技术中心。京１０８．北００５）
摘
要：文章综述了目前大尺寸ＡＯＬＤ面临的技术挑战，ＭＥ尤其是像素制作工艺。并详细介绍了各
ｏｇｎｃｌｈｅｔｎｉｄｓｒａｉｉｔｍｉｉｇｄｏｅ）以其卓越的显示性能ｇｔ被称为Ｓｐｒｉｐａ。星Ｓｕｅｓｌ三ｄｙＭＤ自２００７年首次投

amoled用高精密金属掩膜板作业指导书

AMOLED（active-matrix organic light-emitting diode）是一种非常先进的显示技术，它能够提供更加清晰、更加色彩丰富的图像，因此在手机、电视等电子产品中得到了广泛的应用。

而在AMOLED的制造过程中，高精密金属掩膜板扮演了非常重要的角色，它可以影响到AMOLED显示屏的质量和稳定性。

为了确保AMOLED显示屏的生产工艺和质量，特编写本指导书，以帮助广大制造商正确、高效地使用高精密金属掩膜板进行AMOLED生产。

一、高精密金属掩膜板的基本概念高精密金属掩膜板是AMOLED制造过程中的重要工具，它主要用于在不同层次的AMOLED结构中进行金属材料的沉积和电镀。

高精密金属掩膜板的制备需要严格控制其表面的平整度和镀层的均匀性，以确保在生产过程中不会影响到AMOLED显示屏的图像质量。

二、高精密金属掩膜板的技术特点1. 材料选择：高精密金属掩膜板的材料需要选择高纯度的金属材料，以确保在制备过程中不会产生杂质和气泡，影响到镀层的均匀性。

2. 表面处理：高精密金属掩膜板的表面需要进行特殊处理，以提高其平整度和抗腐蚀能力，保证在生产过程中不会产生划痕和氧化。

3. 加工精度：高精密金属掩膜板的加工精度需要控制在非常小的范围内，以保证在不同层次的AMOLED结构中能够实现精准的金属沉积和电镀。

三、高精密金属掩膜板的应用注意事项1. 存储条件：高精密金属掩膜板在存储过程中需要放置在干燥、通风的环境中，以防止其表面产生水汽和污染物，影响到镀层的均匀性。

2. 清洁方法：在使用过程中需要定期对高精密金属掩膜板进行清洁，去除表面的灰尘和污渍，以保证其使用效果和寿命。

3. 操作规范：在使用高精密金属掩膜板进行AMOLED生产过程中，需要严格按照操作规程进行操作，避免在使用过程中产生损坏和变形。

四、高精密金属掩膜板的维护和保养1. 定期检测：需要定期对高精密金属掩膜板进行检测，发现问题及时进行维修和更换，以保证其使用效果和寿命。

创新与坚守——访2011年度国家技术发明奖一等奖获奖代表邱勇教授

创新与坚守——访2011年度国家技术发明奖一等奖获奖代表邱勇教授作者：刘馨来源：《新材料产业》 2012年第5期本刊记者/刘馨城市的夜晚华灯初上，年轻人佩戴的MP3屏幕和时尚人士手持的手机屏幕上发出的光亮为城市增添了许多时尚炫动色彩，这是有机发光材料在大显身手。

基于这种有机发光材料的新型显示技术被称为有机发光显示技术，即OLED技术。

O L ED具有全固态、自主发光、视角宽、成本低、色彩鲜艳、对比度高、响应速度快、可实现柔性显示、节能环保等特性，O L E D技术被认为是理想的下一代显示技术之一，近年来备受各界关注。

在中国大陆，自20世纪90年代开始O L E D技术的研发，进而进行了OLED技术产业化。

伴随着OLED产业的发展，基于清华大学O L E D技术成立的维信诺公司（以下简称“维信诺”）从研发到生产，一步步坚实地走过，自主设计、主持建设了我国大陆第一条OLED量产线，已拥有373项相关国内外专利，引领着我国O L E D产业不断前进。

2012年2月14日，清华大学和维信诺共同申报的“有机发光显示材料、器件与工艺集成技术和应用”项目更是荣获2011年度国家技术发明奖一等奖。

一时间，身居幕后的材料科学技术被推到了镁光灯下，O L E D及维信诺成为了公众的焦点。

借此机会，《新材料产业》记者走访了2011年度国家技术发明一等奖的获奖代表——项目第一完成人、清华大学副校长和维信诺首席科学家邱勇教授，一探O L E D产业及维信诺的发展奥秘。

十年铸剑，带动OLED产业大发展《新材料产业》：什么是OLED？能不能简单介绍一下OLED产业的发展概况？邱勇：简单地说，OLED技术是指有机材料在电场作用下发光的技术，是继阴极射线管显示（C R T）、薄膜晶体管液晶显示（TFT-LCD）之后的新一代显示技术，近些年发展较快，逐步被大家所熟知。

一般来说，按照驱动方式的不同，O L E D技术分为无源驱动型OLED（PMOLED）和有源驱动型OLED(AMOLED)。

柔性AMOLED 显示触摸屏技术现状及发展趋势

第37卷第4期2022年4月Vol.37No.4Apr.2022液晶与显示Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays柔性AMOLED显示触摸屏技术现状及发展趋势史世明*，李园园，郑美珠，薄赜文，张嵩，王大巍（京东方科技集团股份有限公司，北京100176）摘要：柔性AMOLED显示屏具有厚度薄、可折叠、可卷曲等形态多样的优点，相较于刚性显示产品可给消费者提供更好的使用体验，从而受到越来越多高端便携消费类电子产品的青睐。

柔性触摸屏作为柔性显示模组的一部分，其形态多样和触控功能提升也同样得到广泛研究。

本文针对可适用于柔性AMOLED显示屏的投射式电容触摸屏技术做了详细介绍，分别列举了几种外挂式柔性电容屏技术（ITO触摸屏、金属网格触摸屏、透明纳米银触摸屏）和集成式电容屏技术的发展现状。

其中与柔性AMOLED显示屏集成的一体化触控技术的开发，使得触摸屏具有更优秀的折叠性能，加速了折叠显示屏的商品化进展。

本文详细介绍了集成式触控方案的优势及目前面临的挑战。

探讨了不同尺寸柔性AMOLED 显示屏适用的触控方案发展趋势。

关键词：柔性AMOLED显示；电容触摸屏；外挂式触摸屏；集成式触摸屏中图分类号：TN383+.1文献标识码：A doi：10.37188/CJLCD.2021-0347Current situation and development of touch sensor technologyused in flexible AMOLED displaySHI Shi-ming*，LI Yuan-yuan，ZHENG Mei-zhu，BO Ze-wen，ZHANG Song，WANG Da-wei （BOE Technology Group Co.，Ltd.，Beijing100176，China）Abstract：The flexible AMOLED display has lots of advantages，such as thin structure and flexibility.It can provides better user experience than rigid displays，and attracts more attention from end users.As a key component of flexible display module，flexible touch sensor has also been widely studied on its various forms and touch functions.The capacitive touch sensor technology which is suitable for flexible AMOLED display was introduced.The development status of flexible touch sensor was listed，the flexible touch sen‐sors include Out-cell Touch Sensors（ITO touch sensor，metal mesh touch sensor，SNW touch sensor）and On-cell Touch Sensor which is integrated with flexible AMOLED display.The development of On-cell Touch Sensor accelerates the commercialization of foldable displays，because it has better performance in flexibility.The advantages and challenges of On-cell Touch Sensor were introduced，and the develop‐ment of touch solution for different size of flexible AMOLED displays was discussed.Key words：flexible AMOLED display；capacitive touch sensor；out-cell touch sensor；on-cell touch sensor文章编号：1007-2780（2022）04-0459-08收稿日期：2021-12-29；修订日期：2022-02-08.*通信联系人，E-mail：shishiming@第37卷液晶与显示1引言2007年互容式电容触摸屏被应用到苹果手机上，触摸屏取代了以往繁多的物理按键，人们和手机的人机交互体验有了质的提升，电容触摸屏技术也得到迅速发展，成为便携式智能终端产品的主流触控技术［1-2］。