JSM-35CF扫描电子显微镜故障维修三例
模拟电子显微镜扫描系统的电路原理及维修
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3通信作者:姚 ,天津大学分析中心,天津市南开区卫津路92号,300072;Email :pyao @模拟电子显微镜扫描系统的电路原理及维修姚 3 薛 涛 张长亮 黄彦维 李春艳 董向红(天津大学分析测试中心 天津 300072)摘 要 本文介绍模拟式电子显微镜扫描系统的基本组成,对系统整体和各单元电路的工作原理进行了分析。
依据对各种电镜的扫描及相关系统的维修经验,对模拟式电镜扫描电路系统的维修进行了概括。
关键词 模拟式电子显微镜 扫描发生器 扫描控制系统前言20世纪80年代中期,在数字化电子显微镜商品化之前,模拟式电镜发展到了相当高的水平,很多操作被先转换成指令,通过接口电路与单板机的识别处理后,发出控制指令,由各种功能电路来实现具体的操作。
图1 模拟式电子显微镜扫描系统的电路构成 模拟式扫描电镜(或透射电镜的STE M 附件)的主要指标,如分辨率、稳定度都不亚于数字式电镜,其最主要的优势是便于维修,如能有效地发挥这一优势,再配合模拟视频信号的数字化采集及图像数字处理技术,模拟式电镜必然能继续发挥重要的作用。
图1是模拟式电子显微镜扫描系统的电路方框图。
图1中扫描发生器具有独立的数字总线接口和模拟输出接口。
扫描信号发生器用于产生X 、Y 扫描,X 、Y 消隐等信号。
数字总线接口用于接收来自数字总线的控制指令,改变扫描频率、幅度、模式等。
模拟接口向模拟总线输出X 、Y 扫描,X 、Y 消隐等信号。
驱动电路对扫描信号进行功率放大,驱动电子光学系统的X 、Y 扫描与观察、照相阴极摄像管的X 、Y 扫描。
操作面板与其接口电路将各种操作转换成数字指示,送往数字总线,CPU 按照一定的时序对各种指令进行采集、识别、处理,并向将数字总线输出相应的控制指令。
这些控制指令被扫描发生器接受产生特定的扫描信号,被控制面板接收后,给出各种声、光响应信息。
2 故障分类与举例211 电源故障由于电源大多是通过数字和模拟总线给各个单元电路供电,所以电源引发的故障现象是“分散”的,如除扫描控制,其他的控制功能也同时出现异常,观察和照相荧光屏的扫描光栅同时畸变或消失,图像失真,此时可检查分别给扫描发生器和扫描驱动供电的电源。
JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除
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第9卷第1期分析测试技术与仪器Volume9Number1 2003年3月ANALYSIS AND TESTING TECH NOLOGY AND INSTRUMENTS Mar.2003大型仪器的维护与维修(53~58)JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除张文德*,李 煊,陆 敏(中国石化集团股份有限公司上海石化研究院,上海 201208)摘 要:在介绍真空系统联锁控制流程图的基础上,选择了粗真空系统抽力变差、进样系统泄漏、真空联锁保护电路误动作、二次电子检测高压电路故障、二次电子检测电路故障、倍率放大器故障和图象放大倍率校正等七个有代表性的、已排除的故障实例进行深入分析研究,提出排除故障的思路和办法.关键词:扫描电子显微镜;故障分析中图分类号:O657.32 文献标识码:B 文章编号:1003-3757(2003)01-0053-06 JSM-35C型扫描电子显微镜是上一世纪70年代末引进的日本电子公司产品,技术指标为:二次电子图象分辨率:60 (6nm),放大倍数:10~18万倍,加速电压:0~39kV.经过长期使用,由于元器件和零部件的老化、损耗、损坏和失调,仪器已进入了故障多发的损耗故障期,特别是近十多年来,故障频频发生,作者选择了七个有代表性的故障实例,进行分析研究,提出排除故障的思路和办法.1 真空系统联锁控制流程图真空不良是真空系统最常见的故障.造成这一故障的因素有:RP、DP的抽力下降;镜筒、管导、阀门、接头等密封不良造成的泄漏;阀门可动部件工作不到位、样品或异物误入造成气阻加大;此外,真空规污染或衰老、测量电路故障极易造成真空不良的假象;采用程序联锁的真空控制电路故障也会被误判为真空不良.笔者根据几十年维修大型仪器的实践,在判定真空故障部位时,应用真空系统的最基本检漏法:灵活观察法和逐段闷盖法,将真空系统分段隔离,依靠测量的真空度数据,结合真空系统联锁控制流程图和真空控制电路,可有效地判定并排除故障.图1真空系统联锁控制流程图是根据JSM-35C 扫描电子显微镜真空控制电路(VACUUM C ONTROL CIRCUIT)和真空系统电路图(VACUUM SYSTE M)、分析研究了仪器的真空控制过程和安全联锁保护功能绘制出的.从图中能知道:开机后,某一时刻抽真空进到哪一步?下一步该执行什么步骤?面板上指示灯的状况该如何?一旦仪器出现故障,反过来,根据面板上的指示灯状况,可判断仪器抽真空已执行到哪一步,在哪一步卡住.结合测试相关元器件的工作状态和基本检漏法,进行分析判断,由此查找出故障部位、损坏或失调的元器件.从真空系统联锁控制流程图1还可知,下列四种情况均会引起开机30min后联锁保护停机:(1)空压机连续开机30min,空气压力始终低于3.5kg/cm2.(2)冷却水未加或水量不足,使DP泵冷却水温度大于40℃,此时TH-1热接点闭合,面板上冷却水过温指示灯WATER灯亮.(3)系统真空不良,真空度始终小于1.3332 Pa.(4)DP泵不加热、TH-2接点不闭合或DP泵加热、但在DP泵温度大于60℃时,TH-2接点不闭合.图2是真空、压缩空气和冷却水系统图.2 故障分析与排除维修仪器时,首要的工作是判断仪器的故障点。
第七节显微镜的常见故障及排除
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在某些情况下,显微镜的功能会因环境因素或使用不当而造成降低或丧失。
显微镜的常见故障大致可分为光学故障和机械故障两大类。
一、光学故障及其排除(一)镜头成像质量降低由于镜片膜层损坏或是镜片表面生雾生霉所致。
对于生霉的镜头分别用水杨酸甲脂、2,5一二甲脂和五氯酚汞、二甲嗦等化学药品熏蒸杀死霉菌的孢子并擦净之。
对于膜层破坏的镜头需更换或送厂重新镀膜。
(二)双像不重合由剧震造成双目棱镜位置移动所致。
打开双目棱镜外壳,在平台上放一十字刻度尺,用10倍分划日镜分别插入左右两目镜筒内,边观察边校正双目棱镜的位置和角度,使双目镜筒转到不同角度观察时,十字刻度尺的位置都在左右两目镜视场的相同位置处,然后固紧棱镜即可。
用双目镜观察时,有时出现左右两视场的颜色与亮度不一致,这是由于分光棱镜的分光膜已损坏所造成。
应取下分光棱镜送厂重新镀膜后再用。
(二)胶合件脱胶由于温度剧变、受力不均或受到剧震等所造成。
将脱胶的镜片逐渐加热,使凹、凸两镜片分开,待镜片冷却后,用酒精乙醚混合液将胶洗干净,再将两镜片慢慢加热以避免因防止受热过快或不均而开裂。
温度升至80℃左右,在镜片中趁势涂上少许热胶,待胶溶化后,轻轻错动镜片排尽胶合层中的气泡,并保证没有混入杂质。
稍微冷却后放在中心仪上观察中心,边校止边调整直至胶冷。
取下镜片刮去边缘余胶即可。
用冷胶胶合的光学零件不易拆离,需放入甘油中煮儿小时才能脱胶。
(四)油浸物镜的渗油和前镜片脱落油浸物镜的前片由于直径小和工艺条件限制,通常粘固在镜碗(金属框)上,既要粘牢又不能产生太大的拉力。
现采用新型光学硅胶,光学环氧树脂作为粘合剂,既耐浸液浸泡又不溶解十酒精、乙醚、二甲苯等溶剂中,具有粘结牢固、应力小等优点,是较为理想的油浸物镜前片粘合剂。
如果前片脱落,须将整个镜头拆开逐组清洗(拆时应注意各组之间的位置及方向),同时将前镜片及前镜碗也清洗干净,然后将前镜碗平置于清洁的玻璃平板上,在镜座孔内涂上少许光学硅胶,再将镜片小心放入,并在其上稍稍加压,使镜片前平面与镜座平面贴紧。
扫描电子显微镜
![扫描电子显微镜](https://img.taocdn.com/s3/m/664199ed81c758f5f61f6799.png)
5、信号的收集、处理和显示系统 主要包括探测器、显像管和照相机等。 样品在入射电子束作用下会产生各种物理信号,有二次电子、背散射电子、特 征X射线、阴极荧光和透射电子。 不同的物理信号要用不同类型的检测系统。它大致可分为三大类,即电子检测 器、阴极荧光检测器和X射线检测器。 常用的检测系统为闪烁计数器,它位于样品上侧,由闪烁体,光导管和光电倍 增器所组成,如图5所示。
由于衍射效应的作用,点光源在像平面上得到的并不是一个点,而是一 个中心最亮,周围带有明暗相间同心圆环的园斑,即Airy斑. Airy斑的光强分布特征:
84%集中在中央亮斑上,其余由内向外顺次递减,分散在第1、第2
。一般将第一暗环半径定为Airy斑的半径。
如果两个物点靠近,相应的两个Airy斑也逐渐重叠.当斑中心间距等于Airy 斑 半径时,强度峰谷值相差19%,人眼可以分辨,即Rayleigh准则 即当一点 光源衍射图样的中央最亮处刚好和另一个点的第一个最暗处重合时,两衍射斑中 心强度约为中央的80%,人眼刚统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能 量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 为了获得较高的信号强度和扫描像,由电子枪发射的扫描电子束应 具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。普通钨丝电子枪的分辨本领 在6.0-3.5nm之间,而场发射电子枪可达到1.0nm。常用的电子枪有三 种:普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪, 其性能如表1所示。
2、扫描系统 扫描系统由扫描信号发生器、放大控制器和扫描线圈组成。其作用是控制入射电子 束在试样表面扫描及显像管电子束在荧光屏上作同步扫描,通过改变入射电子束的 扫描振幅,即可获得不同放大倍数的扫描图像。 扫描线圈:其作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品 上的扫描动作和在显像管上的扫描动作由同一扫描发生器控制,保持严格同步。当 电子束进入偏转线圈时,方向发生转折,随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二 次转折,再通过末级透镜的光心射到样品表面。在上下偏转线圈的作用下,在样品 表面扫描出方形区域,相应地在样品上也画出一副比例图像。
电子内镜常见故障指南
![电子内镜常见故障指南](https://img.taocdn.com/s3/m/b40fdd04f12d2af90242e6f9.png)
Trouble Shooting
按钮的针孔-
1. 搬运不注意引起
搬运时按钮与其他设备 等碰撞
两手分开拿硬性操作部・连 接部与软性先端部,搬运时 注意避免与周边设备碰撞
Trouble Shooting
按钮的针孔-
2. 清洗过程中不注意引起
清洗时按钮与水槽等碰撞 镜子连接或处置具等的 锐利部分刮伤
Trouble Shooting
漏水位置─钳子管道
10.使用附件方法不正确 钳子管道被插破
内镜漏水
Trouble Shooting
漏水位置─钳子管道
11. 使用附件方法不正确
针头露出软管先端的情况 下,插入或从内窥镜拔出 扎 破
针头露出的情况下不 进行插入、拔出操作
Trouble Shooting
电气接头进水
清洗・消毒时,忘盖防 水帽
必须盖上防水帽
防水帽链
Trouble Shooting
电气接头进水
防水帽有故障
对防水帽进行检查 - 针是否处于笔直状 态 - 通气接口松动等
防水帽不可修理 (消耗品)
Trouble Shooting
电气接头进水
在水中装卸针孔测试器的安 装接口、内窥镜清洗消毒装 置的针孔检测用送气软管、 防水帽
纤维镜:通气金属卡口上 未安EOG接口就进行环 氧乙烷气体灭菌
破 裂
用环氧乙烷气体灭菌时、 必须安EOG接口
Trouble Shooting
漏水位置─钳子管道
8. 使用破旧的清洗刷子 管道被刷破
内镜漏水
Trouble Shooting
漏水位置─钳子管道
9.使用质量差的 治疗附件 钳子管道破裂
自然科学实验中常见仪器故障与解决方法
![自然科学实验中常见仪器故障与解决方法](https://img.taocdn.com/s3/m/7aa9b2295e0e7cd184254b35eefdc8d376ee14a6.png)
自然科学实验中常见仪器故障与解决方法在进行自然科学实验的过程中,仪器故障是常见的问题之一。
这些故障可能会导致实验结果不准确,甚至无法完成实验。
因此,了解常见的仪器故障及其解决方法对于科学实验的顺利进行至关重要。
一、电子天平故障与解决方法电子天平是实验室中常用的仪器之一,用于测量物体的质量。
然而,电子天平在使用过程中可能会出现故障,例如显示屏不亮、读数不稳定等。
这些问题通常可以通过以下方法解决:1. 检查电源插头是否插紧,确保电源供应正常。
2. 清理天平的传感器和秤盘,确保其表面干净,不受杂物干扰。
3. 校准电子天平,按照使用说明书的要求进行操作。
二、显微镜故障与解决方法显微镜是生物学、医学等领域中常用的仪器,用于观察微小的物体。
然而,显微镜在使用过程中可能会出现故障,例如镜头模糊、光源不亮等。
以下是一些常见的解决方法:1. 调整镜头,确保其焦距正确。
可以通过旋转镜头或调节目镜与物镜的距离来实现。
2. 检查光源是否正常工作,确保灯泡没有烧坏。
如果需要更换灯泡,应按照使用说明书的要求进行操作。
3. 清洁显微镜的镜头和物镜,确保其表面干净,不受灰尘和污垢的影响。
三、pH计故障与解决方法pH计是化学实验中常用的仪器,用于测量溶液的酸碱性。
然而,在使用pH计时,可能会遇到一些故障,例如读数不准确、电极不工作等。
以下是一些常见的解决方法:1. 校准pH计,按照使用说明书的要求进行操作。
通常需要使用标准缓冲溶液进行校准。
2. 检查电极是否干净,如果有污垢或氧化物,应使用适当的清洁剂进行清洗。
3. 检查电极是否正常工作,如果电极损坏,需要更换新的电极。
四、离心机故障与解决方法离心机是生物学、化学等领域中常用的仪器,用于分离液体中的固体颗粒或液体层。
然而,在使用离心机时,可能会遇到一些故障,例如转速不稳定、离心管破裂等。
以下是一些常见的解决方法:1. 检查离心机的平衡,确保离心管放置均匀。
如果离心机不平衡,应重新调整离心管的位置。
浙江青田石的矿物学特征及成玉机理
![浙江青田石的矿物学特征及成玉机理](https://img.taocdn.com/s3/m/32c2deda7f1922791688e8d8.png)
青田石以其质地温润脆软,色彩斑斓,又易于雕刻,而被列为中国“四大图章石”之一。
前人曾对青田石进行过程度不等的研究,但由于青田石的矿物成分和晶体结构的复杂性,因而导致目前对青田石的种类、矿物成分等问题存在争议[1-4],对青田石的成玉机理问题尚不清楚。
针对青田石研究不足之处及长期争议的热点问题,笔者立足于野外系统地质勘查和前人研究基础,采用各种先进的测试分析手段,重点对青田石的种类、矿物成分和成玉机理进行初步的研究,结果表明,青田石的种类相对复杂,除已知的叶蜡石型青田石品种外,尚存在迪开石型、伊利石型、绢云母型及混合型青田石[5]。
本文以叶蜡石型青田石为研究对象,通过对其化学成分、X粉晶衍射图谱、红外吸收光谱、显微晶体形貌特征、差热曲线和电子顺磁共振谱等特征进行详细的研究,在此基础上,对青田石的类质同像替代、晶体结构有序度、多型特征、水的存在形式、Fe的存在形式、成玉机理进行探讨。
1 样品及实验方法供研究用的青田石样品分别来自于青田县山口、塘古、周村、山炮、季山、双垟、北山等地和山口矿床尧士、旦洪、封门、白垟和老鼠坪等矿段,部分典型样品由青田县石雕厂和山口镇历群勇、林俊平工艺师提供。
根据样品表现出的性质采用X粉晶衍射(D/MAXⅢB型,Cu靶,30kV,30mA, Ni滤片)测定矿物成分、晶体结构有序度、晶胞参数和多型特征;红外吸收光谱仪(傅立叶MAJNA-2R550型,KBr压片,4000cm-1 ̄400cm-1波数范围)测试在室温条件下样品的红外吸收光谱特征,探讨水的存在形式;扫描电子显微镜(JSM-35CF型)观察样品的结晶形貌及与成玉机理之间的关系;高温差热仪(CR-G型,Al2O3参比物,升温速率10℃/min,测试室温 ̄1200℃范围)作为辅助手段,确定样品的热相变特征和水的存在形式; 电子顺磁共振仪(JEOC型,调制频率为100kHz,扫场宽为2550±2500×10-4TGauss,扫描时间为4分钟)测试叶蜡石型青田石的电子顺磁共振谱特征,探讨铁的赋存状态和结构位置分配等情况。
手术显微镜的日常维护及故障处理措施
![手术显微镜的日常维护及故障处理措施](https://img.taocdn.com/s3/m/01283f8a64ce0508763231126edb6f1aff0071df.png)
手术显微镜的日常维护及故障处理措施摘要:目的:对手术显微镜的日常维护及故障处理措施效果进行分析对比。
方法:将选择本院引进的6台蔡司手术显微镜进行研究,对手术显微镜将使用两种日常维护方式以及故障处理措施进行对比,常规日常维护方式的为对照组,专业维护方式的为观察组,将对比两组不同维护措施后的故障发生率。
结果:观察组在使用较为专业的维护措施及时处理故障效率明显高于对照组(p<0.05),.结论:对手术显微镜的日常维护以及故障处理措施必须要使用更加专业的方式进行,主要由于更加专业的维护方式能够精准的分析显微镜的基本结构,了解显微镜的常见故障,从而更好的解决应对。
关键词:手术显微镜;日常维护;故障处理措施随着医疗技术以及科学的不断进步与发展,外科手术逐渐进入到显微手术时代,运用手术显微镜后,不仅能够让医生更加清晰的观察到手术部位精细结构,还可以完成肉眼无法进行的显微手术,不仅能拓展手术治疗范围,同时还可以提高手术精密度,使患者能够尽快恢复健康。
现阶段,手术显微镜已然成为常规的医疗设备,但由于手术显微镜结构精密,为此就需要加大日常维护力度,常规的日常维护方式相对而言不能更加精准的维护保养手术显微镜,所以就需要对手术显微镜运用更加专业的日常维护方式,不仅可以延长手术显微镜的使用年限,同时还可以及时的发现手术显微镜的故障问题,并予以专业的处理措施,为临床手术保驾护航[1-2]。
1.资料与方法1.1一般资料将选择本院手术显微镜进行研究,对手术显微镜将使用两种日常维护方式以及故障处理措施进行对比,常规日常维护方式的为对照组,专业维护方式的为观察组。
1.2方法对照组:予以常规的日常维护措施,由于工作时间存在一定的差异性,所以需要对显微镜的照明灯泡进行及时检修,若发现灯泡损坏则需要及时的进行更换,并对系统清零,避免对机器造成损失。
在开关机时要将照明系统开关关闭或亮度调整到最小,避免高压冲击损坏光源。
此外还需要定期使用脱脂棉清洁剂擦洗显微镜上的污垢,避免时间过长无法擦拭干净,并在擦洗干净后使用显微镜罩罩好,确保显微镜能够在干燥、通风且无尘的环境中。
扫描电子显微镜特殊故障的维修
![扫描电子显微镜特殊故障的维修](https://img.taocdn.com/s3/m/639dc68a2b160b4e777fcf8f.png)
扫描电子显微镜特殊故障的维修摘要:本文通过对扫描电镜一特殊故障的处理,深入细致地介绍了故障现象分析、判断及修复的过程。
关键词:扫描电镜紊乱 ANALOG 电路板检测点Abstract: Based on a special fault handling of scanning electron microscopy, the procedure of fault phenomena analysis, diagnosis and repair is introduced deeply andin detail in this paper.前言扫描电镜(SEM)是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途最为广泛的一种仪器。
广泛地应用于金属材料和非金属材料等检验和研究。
在工业企业中,主要用于生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制和新产品的研发等。
日立公司生产的S-3000N扫描电子显微镜,属于大型精密仪器,集电子、计算机、光学、机械、真空等技术为一体,出现故障在所难免,但出现图像放大倍数紊乱,使得样品的扫描图像与其所标明的实际尺寸不符。
即在进行放大倍数调整时,实际图像的尺寸与其不同步,出现不规则的变化,实属罕见。
一、扫描电镜的故障现象扫描电镜成像后,虽然图像清晰,但是,调整放大倍数时,图像中影像的变化,却十分紊乱,如下图1:二、工作原理如图2,扫描电镜电子枪发射出来的电子束,经栅极聚焦后,在加速电压作用下,经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。
在末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下使电子束在样品表面扫描。
由于高能电子束与样品物质的交互作用,结果产生了各种信息,背SE探头获取并后期处理。
扫描电镜的放大缩小功能是通过控制扫描线圈上工作电流大小决定的。
所以此次故障分析重点集中在对电镜缩放起到直接作用的扫描电路展开。
三、维修过程首先我们通过各种渠道获得、收集扫描电镜的相关资料。
扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养
![扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养](https://img.taocdn.com/s3/m/8f69df2f02d8ce2f0066f5335a8102d277a2615c.png)
理圯韹騸-S B理分冊_____________PTCA (PARTA:PHYS.TEST.)_____________?■验设答及应用lX)I:10.11973/lhjy-wl202102013扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养孙秋香,卢慧粉,宋庆军,宋鹏(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心,济宁272000)摘要:介绍了扫描电镜系统的各辅助设备常见的故障及解决办法。
检验管理人员做好各辅助 设备的维护保养,了解各设备的故障点.能够快速、低成本地解决故障问题,有效保障测试工作的正 常进行。
关键词:扫描电镜;辅助设备;故障分析;维护保养中图分类号:TH89 文献标志码:A 文章编号:1001-4012(2021)02-0054-03Fault Analysis and Maintenance of Auxiliary Equipment in ScanningElectron Microscopy SystemSlIN Qiuxiang. LU Huifen. SONG Qingjun. SONG Peng(Jining Center for Quality Supervision and Inspection of Semiconductor Display Products, Jining 272000, China)Abstract:The common faults and solutions of the auxiliary equipment of scanning electron microscopy system were introduced. The inspection management personnel shall do a good job in the maintenance of auxiliary equipment, understand the fault points of each equipment, can quickly solve the fault problems with low cost, and effectively ensure the normal operation of the test work.Keywords:scanning electron microscopy;auxiliary equipment;fault analysis;maintenance扫描电镜分析是现代分析测试技术中较为常用 的分析手段,用于研究各种材料的微观形貌w。
台式扫描电子显微镜钨灯丝的熔断分析及维护
![台式扫描电子显微镜钨灯丝的熔断分析及维护](https://img.taocdn.com/s3/m/1914c7ccdb38376baf1ffc4ffe4733687e21fc25.png)
实 验 技 术 与 管 理 第37卷 第8期 2020年8月Experimental Technology and Management Vol.37 No.8 Aug. 2020ISSN 1002-4956 CN11-2034/TDOI: 10.16791/ki.sjg.2020.08.022台式扫描电子显微镜钨灯丝的熔断分析及维护郑 娜,沈素丹,浦 群,房尔园,贺 静,张 斌,徐 丽(浙江大学 化学工程与生物工程学院 化学工程联合国家重点实验室,浙江 杭州 310027)摘 要:对近两年来已熔断的不同使用寿命的钨灯丝进行对比总结,发现在有效长度基本一致的情况下,使用寿命长的钨灯丝发叉处的夹角比使用寿命短的大;而且相比未使用的钨灯丝的微观形貌,使用后的钨灯丝的表面产生了很多褶皱。
结合多年来的管理和维护实践,提出了台式扫描电子显微镜延长钨灯丝使用寿命的方法,对提高扫描电子显微镜的开放共享具有借鉴意义。
关键词:扫描电子显微镜;钨灯丝;熔断;维护中图分类号:G647 文献标识码:B 文章编号:1002-4956(2020)08-0102-03Fusing analysis and maintenance of tungsten filamentfor desktop scanning electron microscopeZHENG Na, SHEN Sudan, PU Qun, FANG Eryuan, HE Jing, ZHANG Bin, XU Li(State Key Laboratory of Chemical Engineering, School of Chemical and BiologicalEngineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China)Abstract: The tungsten filament with different service life which has been fused in recent two years is compared and summarized and it is found that the angle at the fork of tungsten filament with long service life is larger than that with short service life when the effective length is basically the same. Compared with the micro morphology of the unused tungsten filament, there are many wrinkles on the surface of the used tungsten filament. Based on the management and maintenance practice for many years, the method of prolonging the service life of tungsten filament by the desktop scanning electron microscope is put forward, which can be used for reference to improve the open sharing of the scanning electron microscope.Key words: scanning electron microscope; tungsten filament; fusing; maintenance扫描电子显微镜(scanning electron microscope ,SEM )简称扫描电镜,是电子学与光学相结合的大型精密仪器[1],是微观结构分析的有力工具,广泛地应用于化工、高分子、医药、纳米材料等领域[2-6]。
常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法
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收稿日期:2005-03-13作者简介:唐晓山(1977—),男,湖北武汉人,湛江师范学院助理实验师,从事电镜技术及其在医学中的应用研究. 2005年6月第26卷第3期湛江师范学院学报JOURNA L OF ZH AN J I ANG NORM A L C O LLEGE Jun 1,2005Vol 126 No 13常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法唐晓山,屈菊兰(湛江师范学院电镜室,广东湛江524048)摘 要:在论述了荷电效应、损伤、边缘效应这三种常见的扫描电子显微镜图像缺陷的基础上,分析了其产生的原因及解决方法,并展示了其结果.关键词:扫描电子显微镜;荷电效应;损伤;边缘效应中图分类号:Q336 文献标识码:A 文章编号:1006-4702(2005)03-0123-03扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像.它主要反映样品表面的立体形貌.由于样品的高低参差、凹凸不平,电子束照射到样品上,不同点的作用角不同,因此造成激发的二次电子数不同;再由于入射方向的不同,二次电子向空间散射的角度和方向也不同,因此在样品凸出部分和面向检测器方向的二次电子就多些,而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些;总之,样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质,变成了不同强度的二次电子信息.电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子,依次在荧光屏上显示出亮暗不同的点,也就是相应的象素.再由这些象素组成了完整的二次电子图像.1 荷电效应图1 二次电子发射随加速电压变化曲线当入射电子作用于样品时,从样品上会发出二次电子,其发射率会随入射电子的加速电压而变化.图A 是表示二次电子发射率随入射电子的加速电压变化的曲线,图中横轴V 0表示入射电子的加速电压,纵轴σ表示二次电子发射数与入射电子数之比,即σ=二次电子发射数Π入射电子数.从图1中可见,只有在V 0=V 01和V 0=V 02时,σ等于1,即入射电子数与二次发射电子数相等,此时样品既不增加电子也没有失掉电子,样品不带电.除此两点外,样品会因吸收或失掉电子而带电.如果样品不导电(生物样品一般不导电),此时样品会因吸收电子而带负电,就会产生一个静电场干扰入射电子束和二次电子发射,这些会对图像产生严重影响-此称荷电效应.它会对图像产生一系列的影响:①异常反差.由于荷电效应,二次电子发射受到不规则影响,造成图像一部分异常亮,另一部分变暗.②图像畸形.由于静电场作用使电子束被不规则地偏转,结果造成图像地畸变或出现阶段差.③图像漂移.由于静电场作用使电子束不规则偏移引起图像的漂移.④亮点与亮线.带电样品常常发生不规则放电,结果图像中出现不规则的亮点和亮线.通过长期、大量的实验,我们发现减少荷电效应的方法:①导电法.用金属镀膜、导电染色等方法使样品本身导电,使吸收电子通过样品台流向“地”,从而消除荷电效应.生物样品几乎都采用这种方法,但不是能完全消除.②降低电压法.把加速电压降低,使V 0=V 02,λ=1,入射电子数与二次电子发射数相等,就不产生电荷积累,消除荷电效应.通常使用加速电压为1~5kV.但因此会使分辨率下降.③快速观测法.以尽快的速度观测和拍摄,使荷电效应影响不大时结束.一旦出现较明显的荷电效应只能改变观察区域或更换样品.另外,应尽可能使用低倍观察.因为倍数越大,扫描范围越小,荷电越迅速,影响越大.图2a 所示为一生物样品由于荷电效应所产生的图像畸形与亮线,可以很明显的看出图像中、下部分发生明显移位畸形并散在分布数条亮线;图2b 所示为在经过金属镀膜、加速电压由15kV 降为10kV 后同一观察部位图像.图像畸形与亮线已全部消除.图2 样品荷电效应2 损伤扫描电子显微镜观测时,样品可能受到的损伤有(1)真空损伤.生物样品从大气中放入真空中时,就会产生真空损伤,主要是由于样品干燥引起的.(2)电子束损伤电子束的能量引起照射点的局部加热、化学结合的破坏等,造成样品的破裂或局部漂移.减少损伤常用方法有(1)临界点干燥法.此法能快速干燥样品,减少样品收缩变形.(2)降低加速电压及较小电子束流.(3)加厚喷镀金属膜.图3所示为沙虫卵细胞膜在加速电压为15kV ,电流在110mA 时,由于电子束的能量引起照射点的局部加热导致细胞膜表面膨胀破坏,可见图像中部一巨大隆起;图4则为将加速电压由15kV 降为10kV ,电流降为60mA ,减少同一部位观测时间后,卵细胞膜真实的表面形态. 图3 样品局部受热导致膨胀 图4 样品图像原貌421湛江师范学院学报(自然科学) 第26卷3 边缘效应样品表面凹凸变化大的边缘区域,二次电子散射区域与样品表面接近的面积增大,结果使边缘区域二次电子发射异常地增加.在图像中这些区域特别亮,造成不自然地反差,称为“边缘效应”.这虽然并非由于操作引起地图像缺陷,但可通过适当地操作尽量减少.主要方法是降低加速电压,这可以使边缘效应相对减轻.图5所示为纳米复合材料冲击断口的图像,可见由于断口表面高低不平,边缘区域由于二次电子发射异常增加导致样品边缘异常增亮,无法显示出样品细节;图6为将加速电压由15kV 降低为5kV 后的图像,边缘效应明显减轻,但未能完全消除. 图5 样品边缘异常增亮 图6 样品边缘效应减轻4 结束语荷电效应、损伤、边缘效应为扫描电子显微镜图像常见的图像缺陷,这些缺陷一些是人为因素产生,一些则是由于扫描电子显微镜成像原理而不可避免产生,但我们都能通过一定的方法,如导电法、降低电压法、快速观测法等等而消除或减少图像缺陷的产生.在实际操作中,对于不同的图像缺陷,要灵活采用各种不同的方法,反复实验,并总结、分析各种方法的优劣,才能拍摄出更好、更真实的图片.参考文献:[1]陈长绮,朱 武.环境扫描电子显微镜真空系统特点及成像系统分析[J ].真空与低温,2001,7(2):122-124.[2]干蜀毅.常规扫描电子显微镜的特点和发展[J ].分析仪器,2000,(1):50-53.[3]李 伟.扫描电子显微镜及其分析技术简介[J ].山东电力技术,1996,(2):34-36.[4]孙 珊.扫描电子显微镜和原子力显微镜表面观测的互补技术[J ].矿冶,2004,13(3):95-97.Defeds and Improvesent of Im ages from ScanningE lectronic MicroscopeT ANG X iao -shan ,QU Ju -lan(Department of Scanning E lectron M icroscopy ,Zhanjiang N ormal C ollege ,Zhanjiang ,G uangdong 524048,China )Abstract :We discuss the defeds of the images of the Scanning Electronic Microscope ,including elec 2tric charge effect ,damage ,edge effect ,analyze the reas ons for the defects and suggest s ome s olutions.K ey w ords :scanning electron microscope ;electric charge effect ;Damnify ;Edge E ffect 521第3期 唐晓山等:常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法。
显微镜常见的故障及修理方法
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显微镜常见的故障及修理方法常见的故障及修理方法1、接目镜、接物镜内沾有尘埃、影响观察效果时。
接目镜是由两块透镜以丝扣连接于一个金属圆筒的两端而成,当发现内部有尘埃时,可旋开丝扣,以毛笔刷去灰尘,再以纱布沾少许二甲苯擦拭透镜,以除去油污,待干后用洗耳球吹去残留的少许尘埃或沾上的纱布棉纤维。
对拆开的接物镜透镜组片,逐一以沾有少许二甲苯的纱布擦拭,边缘处可用牙签(尖端处重新削薄)裹以薄层脱脂棉沾二甲苯(挤干)擦拭,擦后可在光亮处检查,如有未擦净处需重新擦洗,不要残留棉纤维。
决不能把接物镜直接浸泡在二甲苯中去除污垢,否则会造成不透明或脱胶的情况。
对接目镜、接物镜的透镜上的霉斑的擦拭,少量的可用纱布沾二甲苯擦除,较多时可用药棉蘸取少量牙膏或红粉(抛光粉)在整个透镜面上依同一方向作圆周形的全面研磨,切不可只磨霉斑处,否则会使透镜的曲率不等。
在清除直镜筒的显微镜目镜和物镜上的污染物时,应先摘下物镜,然后再摘下目镜,擦试完毕后,应先装目镜后装物镜,因为这样可以防止因摘装目镜时与镜筒摩擦下来的尘渣沿镜筒落入物镜的内部。
2、反光镜脱水银显微镜储藏在潮湿处或化学实验仪器室内,在圆镜边缘上很容易脱掉水银,遇到这种情况可重新换一个新的反光镜。
显微镜操作技能大赛评分细则一、取镜(15)取镜时应右手握住镜臂,左手托镜座,(5)保持镜体直立,不歪斜,安放时,动作要轻,(5)放在座位的左侧(5)。
1、错误的拿起显微镜0;2、放置过重-3;3、放置位置不正确-3二、对光扭转物镜转换器,使低倍镜对准载物台上的通光孔,打开聚光器的光圈,然后左眼对准目镜注视,右眼睁开,用手翻转反光镜,使镜向着光源调到光线适当、均匀时(评委应检查是否达到要求)1、转动转换器时直接转动物镜 0;2、高倍镜对准在物台此项不得分;3、光线不是很清晰扣3三、放玻片将需要的玻片标本防在载物台上用压片夹压住玻片的两端,玻片的标本正对通光孔中心1、压片不紧-32、玻片不在通光孔中心-3四、低倍镜的使用(20)调整焦点:使用低倍镜时,两眼从侧面注视物镜旋转粗调节螺旋使物镜下降并停留在距离载物台上约5mm处(5),接着用左眼在接目镜中观察,同时按反时针方向向后、向内调节粗调节螺旋使镜筒缓缓上升(5),直到看到标本图象在调节细调节器(10)1、用单眼看显微镜-32、使用物镜不是先降后升为03、看到的图象模糊-5五、高倍镜的使用(20)使用高倍镜时应先在低倍镜中选图标,将其调至视野中央,转动转换器换高倍镜观察(5),转换高倍镜后只需略调细调节螺旋就能看到清晰的图象(5),在此过程中镜头切勿与玻片接触(5)(若镜头不是配套的应先略升高镜筒在慢慢下降镜筒,使高倍镜靠近玻片,再进行调节),转动镜筒时速度不宜过快(5)。
透射电子显微镜灯丝电路分析和故障检修
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医疗设备信息透射电子显微镜灯丝电路分析和故障检修陈希炜(第三军医大学西南医院烧伤研究所,重庆400038)[摘要]本文较详细地分析了日本J EOL 公司生产的J EM -2000EX 透射电子显微镜灯丝电路,并对工作中所遇到的一例灯丝电路故障进行分析判断和检查维修,尽快地排除了故障[关键词]透射电子显微镜;灯丝电路;故障检修[中图分类号]Q 6-33[文献标识码]C[文章编号]1007-7510(2002)01-0045-01The f ila ment c ircuit anal y sis an d wron g check of the TEMC H EN Xi -wei(Instit ut e of bur n research ,t he t hir d milit ar y medical univer sit y ,Cho n gq i n g 400038,Chi na )[收稿日期]2001-06-11J EM -2000EX 透射电子显微镜(T EM )是日本J EOL 公司的产品,其结构复杂,技术密集、自动化程度高,采用计算机控制。
本文对它的灯丝电路进行了分析并对由灯丝电路引起的一例故障进行了检修。
1电路分析由IC0、V R1、C5构成T TL 滞后自激振荡电路可产生80k Hz 的脉冲,V R1的变化可改变脉冲频率使H T 的振荡频率与激励脉冲的频率相对应。
80k Hz 脉冲经J K 触发器分频和非门整形后得到20k Hz 方波信号,此乃灯丝回路激励所需的信号。
T R3、T R6、T R10、T R11、T3、T4组成灯丝高频功率放大电路,J K 触发器输出Q 经非门IC4控制T R6、T R7的导通和截止,T R6、T R7与T3的上下部相连,使T3上下部交替工作,20k Hz 方波由T R6、T R7、T3升压后,经T3、T4、T R10、T R11组成变压器耦合推挽功率放大电路中的T R10、T R11推挽功放和T4升压产生正弦交流高频信号。
扫描电子显微镜和PV9900能谱仪故障排除及检修要点
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扫描电子显微镜和PV9900能谱仪故障排除及检修要点
杨晓华
【期刊名称】《化工矿产地质》
【年(卷),期】1997(000)003
【摘要】对使用SEM-500扫描电子显微镜过程中常出现的显示屏有固定回
归线、无图象或开关、计数器失灵以及能谱仪不能收集谱或其引导程序出错等故障,可以在分析原因的基础上通过不同的方法进行检修,排除故障,以确保仪器的正常使用。
【总页数】1页(P213)
【作者】杨晓华
【作者单位】化学工业部化学矿产地质研究院
【正文语种】中文
【中图分类】TN16
【相关文献】
1.PV9900能谱仪启动系统的一次故障分析 [J], 张步升;郭永宏;李纪标
2.PV9900能谱仪系统检修要点及故障4例 [J], 杨晓华
3.PV9900能谱仪主机电源变压器的维修和保护 [J], 曾跃武
4.PV9900能谱仪控制部分的故障与排除 [J], 张步升;郭永宏
5.扫描电子显微镜/能谱仪和红外光谱仪在液晶调光膜结构分析中的应用 [J], 解雅玲;夏江南;高明珠;韩明星
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显微镜的安全使用及故障排除
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• 将广范围们镜(1)插入正确的位 置。磁耦合可以将其牢靠的固定 于正确的位置。
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• 6:安装双筒管(180度位置)
• 稍旋几下松开螺丝(4)。
• 移去防尘罩(3),将其置于安全 的位置。
• 将双筒管(2)安放在显微镜上。
• 旋紧固定螺丝(4)将双筒管(2) 固定在正确的位置。
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• 2:组成 NC4 支架由 (1)承重臂, (2)平行四边形臂、 (3)控制台、 (4)Flex Trac基座、 (5)锁定仪表板、 (6)支持臂组成, 用于手术显微镜。
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• 平行四边形臂:使手术显微镜能够被无阻碍的移动。 整个系统可以在X、Y和Z三个方向移动,沿着三个 轴旋转。
(17)。如果图像被启动,滑动镜片暂时转向
位置2。
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• 14 具有固定螺杆的管架:
• 可以安装另外一个双筒管,以使两 个外科医生能够面对面工作。
• 15 防尘罩
• 16 用于光导装置连接的S形插座:
将S 形光导装置按入插座直至它被 咬合。
• 17 图像输出端口:
合适的适配器可以用来连接记录和 共同观察装置(例如35毫米照相机, 共同观察管)。
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• 2 显示 - 模式显示:例如,1到4、CH、OP
- 错误显示:例如,E1,,,E2。
- 发动机状态显示:数字段从左到右依次闪亮显示,反之亦然。
• 3 聚焦控制: 为了设定聚焦动作的速度。 • 4 缩放控制: 为了设定缩放动作的速度。 • 5 AF自动键:
当开启发光二极管发光时(自动模式开启):刹车释放后自动聚焦被激 活。
扫描电镜无图像故障的分析及处理
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扫描电镜无图像故障的分析及处理
张小伍;杨丹娜;李学军
【期刊名称】《现代仪器与医疗》
【年(卷),期】2010(016)002
【摘要】本文简述扫描电镜图像电路的组成,介绍一例无图像故障的分析及处理的经验.
【总页数】2页(P53-54)
【作者】张小伍;杨丹娜;李学军
【作者单位】哈尔滨汽轮机厂有限责任公司研究院,哈尔滨,150046;哈尔滨汽轮机厂有限责任公司研究院,哈尔滨,150046;哈尔滨汽轮机厂有限责任公司研究院,哈尔滨,150046
【正文语种】中文
【相关文献】
1.遥控彩电常见故障分析与检修(25)--光栅正常,无图像、无伴音故障检修(下)
2.遥控彩电常见故障分析与检修(21)--有正常伴音与光栅,无图像故障检修(上)
3.遥控彩电常见故障分析与检修(22)--有正常伴音与光栅,无图像故障检修(下)
4.遥控彩电常见故障分析与检修(23)--光栅正常,无图像、无伴音故障检修(上)
5.遥控彩电常见故障分析与检修(24)--光栅正常,无图像、无伴音故障检修(下)
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JSM-35CF扫描电子显微镜故障维修三例
肖少泉,吴百一
(中国地质大学地球科学学院地质过程与矿产资源重点实验室,北京100083)
我单位自1981年购进日本电子公司JSM-35CF 扫描电子显微镜至今已工作了24年,现将最近几年在使用过程中出现的3例故障作一故障分析,并把解决方法总结如下。
故障现象一:JSM-35CF扫描电子显微镜的相机不能卷胶卷。
分析检修:以前如向原仪器生产厂家订购新相机价格为6000元左右,为节约经费和时间,决定自行维修。
拆开相机检查是一个拉簧断了。
直观地看,拉簧像钟的发条。
开始时,是用老式电话机的拨号盘发条来代用,但拨号盘的发条比原相机拉簧厚,也宽一些。
于是,用什锦锉将拨号盘发条的宽度锉去一部分,使其与原来拉簧的宽度相等,厚度则无法减少,拉簧的总长度为244mm,包括拉簧两端的弯曲部分。
由于拨号盘的发条比较硬,容易折断,必须对拉簧两端的弯曲部分进行退火处理。
用酒精棉球点火后,对拉簧的两端加热至暗红色,然后在室温条件下自然冷却。
拉簧端部的弯曲部分,先采用锡焊的方法,总是不能焊牢。
拉簧卷胶卷的力量还是较大的,有时把拉簧的弯曲部分拉直了,相机就又不能工作了。
后来采用先把拉簧弯成一个小圆圈,再用细铜丝在拉簧的端部捆4道,并用锡焊焊牢拉簧端部及细铜丝,最后将拉簧的一端弯一个小钩,这样用了6个月的时间,拉簧的其它处断了。
仔细分析拉簧的运动过程及作用,拉簧其实质是起一个绳子的作用,并不需要拉簧的弹性,可以用其它的材料来代替。
钢卷尺的材料较薄,韧性好一些,决定用普通的钢卷尺来代替拉簧。
根据拉簧的宽度为2.5mm,长度为244mm,测得钢卷尺的厚度为0.2mm,在钢卷尺上用剪刀剪下同样尺寸的一条钢带。
为了加强钢带两端的韧性,用酒精棉球点火对钢带的两端进行退火处理。
将钢带两端加热至暗红色,再让它在室温条件下自然冷却。
两端用尖嘴钳各弯了一个小圆圈,并用锡焊焊牢小圆圈,安装好后,试用成功。
后来这个代用的钢带在内圆圈处断了,使用了8个月时间,比其它材料使用的时间长。
实践证明,用钢卷尺材料来代替拉簧是可行的。
JSM-35CF扫描电子显微镜的相机不能卷胶卷,还有一个原因。
那就是使拉簧回位的一根内发条断了,这个发条是要有弹性的。
发条的宽度为2mm,厚度为0.3mm,长度为215mm。
因手头上只有电话机拨号盘的发条较接近原发条的尺寸,故用电话机拨号盘的发条代替原发条。
因拨号盘的发条比相机内发条的宽度要宽一些,需要将拨号盘发条卷起来用细铜丝捆好,放在油石上磨,使拨号盘发条的宽度为2mm,与原相机内发条的宽度相等,发条的长度可略长一些为240mm。
将磨好的发条两端用酒精棉球点燃后退火,弯成所需要的形状,安装时要仔细注意各个齿轮间的相互位置关系,注意计数齿轮下的弹簧位置。
安装好后,试机,相机恢复正常状态,上述故障排除。
故障现象二:JSM-35CF扫描电子显微镜前级抽真空的机械真空泵的一个20A保险丝在10个月内烧了两次。
分析检修:以前一个保险丝能用2~3年,而现在10个月内断了两次,应是不正常的情况。
检查机械真空泵的油面,发现油面已经看不见了。
仔细观察发现是因为机油变质后体积增大,使得油面升高,超过了检查油面高度的窗口,而且油的颜色也变深了。
用一根洗衣机的排水管将旧油全部倒出,约1.5升。
用少量的新油倒入泵中,手拉皮带让泵旋转十几圈,然后将油从泵体内放出。
用同样的方法,反复清洗3次。
加入新油至规定的油面高度处。
开机检查,机械真空泵工作正常,没有再出现保险丝烧毁的现象。
故障现象三:JSM-35CF扫描电子显微镜在更换样品时,样品室内的照明灯不亮。
分析检修:分析样品室内的照明灯电路,与样品室的阀门有关。
仔细听样品室阀门打开时,有继电器吸合的声音,这样可以认为样品室阀门工作正常。
是不是照明灯灯泡坏了呢?打开样品室仔细寻找样品室内的照明灯,发现照明灯位于样品室前部的右上方。
开始时,不知道怎样拆下照明灯。
仔细分析认为它就是插上去的,没有螺丝固定,有一个密封圈密封,用力慢慢向外拔,就可以把照明灯拔出来。
拆下照明灯灯泡检查,是灯泡烧坏了。
因灯泡上没有任何标识,配件中也没有找到同样类型的灯泡,用万用表测得灯泡处的交流电压为8V。
因此,买来6.3V的国产指示灯泡,安装上去后,开机试验,样品室内的照明灯恢复正常。
参考文献略.
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电子显微学报 J.Chin.Electr.Microsc.Soc. 24(4)∶391~391 2005年。