PECVD班组长实操考核打分表

≤10min
≤3min
能够正确创建任 务、补镀工艺选 择无误。
≤10min
取片位置正确、 能够正常测试并 记录，字迹清晰
≤2min
能够处理卡桨
≤2min
舟位置设置正 确，能够完成操 作。
被考核人:_______________
工序 考核题目 操作步骤分解 完成时间 完成质量标 考核结果 考核组成 标准 准 Pass/Fail 员签字
是否带pvc手套 及口罩、上片时 注意载片盒方向 、按stop按钮 后再按手动按钮 、插片完成后检 查。
监督组成 员签字
1.将buamann设备 “手动/自动”旋钮转到自动，按下“start”； 2.将载片盒按照正确的方向（开口朝下）放到传送轨道上； 1、buamann上 3.设备自动插片，插完硅片之后，按下“Stop”按钮； 料操作 4.将baumann自动化设备打到手动模式，打开安全门； 5.检查舟内片子位置是否到位，是否有碎片，并处理； 2.检查处理完毕后，将设备恢复自动模式。 1.点击“Pause”按钮后，进入手动模式， 点击“Setup”； 2.勾选“set boat active for handing”，激活舟处理； 3.选择“process wafer”选项； 2、补镀任务 4.选择“process tube”“要进行工艺的炉管， 的创建 5.选择需补镀石墨舟的实际位置；。 6.将“boat state”“舟的状态”选择“wait for tube"; PECVD 7.选择目前的补镀工艺”N6M240DV“； 工序 8.检查舟输入内容及信息，无误后点击“OK“确认设置。 段 1.取石墨舟中间位置一片，四个角位置各一片； 3、膜厚折射 2.将镀膜后的硅片从承载盒中取出，放上载物台； 率测试 3.点击Measure开始测量； 4.将测试数据记录在膜厚、折射率记录本上。 1.点击卡桨对应的管，进入状态界面； 4.卡桨后复位 2.点击“sevice”菜单选项； 处理 3.切换至下一页，点击“Recovery”选项； 4.在Recovery菜单下，点击“Handling”选项； 1.选择需要打开炉门的工艺管； 5.手动开启炉 2.手动将N2流量设定为最大，将炉内气压冲至大气压状态； 门 3.在手动菜单下，将舟的位置设定为22mm。
工序考核题目操作步骤分解完成质量标准10min3min10min能够处理卡桨2min电池制造分厂班组长上岗实操考核项目pecvd完成时间标考核结果passfail考核组成员签字监督组成员签字pecvd工序段1buamann上料操作1
被考核人:_______________
电池制造分