镀膜线颜色控制程序

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镀膜工艺与镀膜系统配置

美国丹顿真空有限公司总裁及首席执行官，美国真空镀膜设备协会常务理事 #主要撰稿人：本文译者：冯学丽，美国丹顿真空设备有限公司北京代表处， #%# S !P%#$%"!
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第 -A 卷
般来讲，现代化蒸发系统的产能与生产成本呈几何量级的比例关系。尽管镀膜系统制造厂家对此观点倍感欣慰，但从另一面来思考，就会发现一个同样显著的经济效益问题：即当造价降低时，系统产能发生大幅度下降，以致系统的规格明显地小于最低标准尺寸（图。目前，一台内容积 !"# $ 以上，大抽速（空气抽 !）速 % !&& $ ’ (），具有离子束辅助沉积功能（ )*+,）的现代化镀膜设备的价格约为 -# 万美金。估计近期很难出现重大技术突破来大幅度降低现有成本。
产工艺，而不是让用户改变生产工艺来适应我们的镀膜机。但遗憾的是，现在使用的许多镀膜系统都是后一种情况，例如，有些生产线上正在使用的是为其他应用而设计的镀膜机，甚至有些时候是厂家先制造出镀膜机然后再去寻找应用客户。不管是何种情况，这样制造出的镀膜机都可能无法完全达到预期的功效，因而很难取得满意的结果。涉及到真空室的选择和确定，我们认为有以下三个方面需要考虑，而这些问题又都是与系统的制造公差有关：（!）输入 @ 设计镀膜机的设计如同一道 “菜谱” ，它规定出了膜层结构、厚度和折射率等指标。如果将以上设计指标严格复制到工艺 ’ 设备中，那么标准的输出结果就会达到预期的性能要求。工艺 ’ 设备在我们看来，工艺和设备也可（-）以统称为按照设计输入实施标准输出功能的一个 “黑匣子” 。实际上，工艺包括设备硬件，控制软件和一组使机器实现设计要求的指令。在工艺 ’ 设备中存在着许多变量，而其中有些不可能被完全控制。这些不可完全控制的变量提高了系统的制造公差，降低了控制膜层厚度的能力，造成标准输出相对于设计的偏差。（A）输出 @ 标准性能归根到底标准性能输出才是真正最重要的。为了保证工艺的特久性，标准输出应在大多数时间内达到预期效果，即满足用户对薄膜光学性能和耐久性的具体要求。必须认识到以上三个因素是相互依存的，孤立地看待其中任何一个方面都是不对的，这一点非常重要。如果一个系统的设计和工艺 ’ 设备配合良好，那么不管制造公差如何，它都应该总能达到预期性能。然而，如果三个因素中的任何一方发生变化，就必须同时考虑调整其他另两个因素来保证整个系统的协调。例如，对系统工艺的升级会产生制造公差，而且系统越大产生的制造公差也就越大，这就需要改进设计或降低预期性能指标。又如，用户想提高预期产品性能而只是简单地改进了设计，表面上好像达到了用户的目的，但如果新的设计对膜的厚度很敏感，除非改变工艺来降低制造公差，否则产品不太可能长期达到新设计的产品性能要求。在评估工艺公差时必须考虑如下一些因素：（!）厚度监控：设计中每一层膜厚的精度都受到控制仪器本身精度的限制，一般我们讲的控制仪器

真空镀膜机控制系统的PLC改造

管灯丝烧断是由真空室里的压强未小于１１Ｐ时通电所致，增加了灯丝启动保护环节，并 ×０ａ
ＰＦ２－ＡＤ￣Ｄ转换器作为真空测量机构代替真空计，提高了系统的自动化程度．￣ＸＮ４）Ａ／（关键词：真空；镀膜；ＰＣ；Ａ／ＬＤ转换
中图分类号：Ｔ７．Ｍ２３１文献标识码：Ａ文章编号：１０－８３２１）３０４—５０７６８（０００—０８０
操作不当，该真空镀膜经常出现如下问题：
收稿日期：２０ —１ —１０９１０
作者简介：刘秋武（９５）１７一，男，广东潮州人，韩山师范学院物理与电子工程系实验师
４８
（扩散油失效．１）在镀膜结束后应将钟罩再次抽真空，用冷水继续冷却扩散泵使扩散油的温度降至
室温，通常需要１，４时．该机不带定时装置，没有相应的关机程序，很多学生在镀完膜后就关机离开，扩散泵里的扩散油在高温下接触氧气容易热分解，使扩散油失效．
１４
１罩２扩散泵３机械泵４预抽电磁阀５出口电磁阀６主阀电磁阀７旋转架电机８旋转架．钟．．．．．．．９蒸发电热丝１．．０热偶规管１．１电离规管１．２热偶规管变送器１．３电离规管变送器１．罩升限行程开关Ｓ１．４钟Ｑ１５钟罩降限行程开关ＳＱ２
第３卷第３１期２１年６００月
韩山师范学院学报
ＪｕｎｌｏｎｈｎＮｏｍａｉｅｓｔｏｒａｆＨａｓａｒｌＵｎｖｒｉｙ
Ｖｂ．１ＮＯ３１．３Ｊｎ２１ｕ．００

AS镀膜培训报告总结2

产品进料数显示地带
手.自动切换输送操作系统
该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能
成膜ブロセス（成膜步骤）
真空时间镀膜操作画面个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止. 也可手动操作
大气时间
ST2~ST6腔体镀膜时高真空压力. 高电压.低电流.成膜速率的画面
慢粗抽阀中和器高温电阻蒸发机冷冻管慢泄压阀主冷却水阀
AS操作面板项目

操作面板九大项目（日.英.中）ライン监視全体搬送成膜ブロセスレシビブロセス管理アラームコーテイリテイーメンテナンス Line Overview Carry Coat-process Recipe Process-set Alarm Utility Maintenance 生产线监视真空动作监视产品输送成膜步骤处方模块程序管理警报冷却系统界面保养
设备排气系统
镀膜室内照明手动.自动切换按钮装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报
主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop）镀膜室灯的控制按钮（start-light) 时间设定自动开机操作（点击time进行设定）
搬送（产品输送）
手动操作输送. 可倒走非真空半自动输送操作 ST2~ST6镀膜室，每室可放一套伞具产品输送进口一次可进5层
离子源

离子源性能：清洗玻璃基片-提高成膜质量 /加速电流产生动能-辅助成膜稳固
钨丝：分内圈钨丝以及外圈钨丝钨丝电源三根石英碗一个电极：2个.上下层各一个，6000炉需更换1次
上下层2个电极
离子源原理：

溅射镀膜

溅射镀膜介绍一: 溅射镀膜应用:溅射镀膜主要用于半导体生产的金属薄膜的生长.如下图的金属层1到金属层6都是运用溅射镀膜所生产.溅射镀膜到形成所需的金属线的过程为：溅射镀膜--→光照显影--→蚀刻（形成金属连接线）二: 溅射镀膜原理溅射淀积（溅射）是另一种老工艺，能够适应现代半导体制造需要。

它几乎可以在任何衬底上淀积任何材料，而且广泛应用在人造珠宝涂层，镜头和眼镜的光学涂层的制造。

在真空反应室中，由镀膜所需的金属构成的固态厚板被称为靶材（target）（图1），靶材接阴极，衬底接阳极并接地。

首先将氩气充入室内，并且电离成正电荷。

带正电荷的氩离子被不带电的靶吸引，加速冲向靶。

在加速过程中这些离子受到引力作用，获得动量，轰击靶材。

这样在靶上就会出现动量转移现象（momentum transfer）。

正如在桌球，球杆把能量传递到其他球，使它们分散一样，氩离子轰击靶，引起其上的原子分散。

被氩离子从靶上轰击出的原子和分子进入反应室。

这就是溅射过程。

从靶上轰击出原材料之后，氩离子、轰击出的原材料、气体原子和溅射工艺所产生的电子在靶前方形成一个等离子区域。

等离子区是可见的，呈现紫色。

而黑色区域将等离子区和靶分开，我们称之为暗区（dark space）。

图1 溅射工艺的原理被轰击出的原子或分子散布在反应室中，其中一部分渐渐地停落在晶圆上，形成薄膜，溅射工艺的主要特征是淀积在晶圆上的靶材不发生化学或合成变化。

形成薄膜的过程有如下几个过程(图2所示):1长晶2 晶粒成长3 晶粒聚集4 缝隙填补5 沉积膜的成长图2 溅射工艺的原理三：溅射镀膜相对于真空蒸发优点：1 靶材的成分不会改变。

这种特征的直接益处就是有利于合金膜和绝缘膜的淀积。

合金真空蒸发的问题在前一部分已作描述。

对于溅射工艺来说，含有2%铜的铝靶材就可以在晶圆上生长出含有2%铜的铝薄膜。

2 阶梯覆盖度也可以通过溅射改良。

蒸发来自于点源，而溅射来自平面源。

因为金属微粒被从靶材各个点溅射出来的，所以在到达晶圆承载台时，它们可以从各个角度覆盖晶圆表面。

膜系设计软件TFC的中文说明书_最新修正版

最新修正版TFCalc薄膜设计软件功能强大★TFCalc 是一个光学薄膜设计和分析的通用工具，这里有按顺序排列介绍了TFC 的功能：吸收、有效镀膜、角度匹配、双锥形的穿透、黑体光源、色彩优化、约束、继续优化目标、派生目标、探测器、散射公式、电场强度、同等折射率、同等堆叠、获得材质、全局优化、组优化、发光体、膜层敏感性、局部优化、多重环境、针优化、光学监控、光学密度、相位移动、psi、发光分布、折射率的确定、反射、敏感度分析、堆叠公式、综合、穿透率、隧道效应、可变材料。

创新★TFCalc 软件是膜系设计软件中提供创新方法的领导者。

例如，TFCalc 允许活动材料-材料的折射率随着外部影响而改变。

这个功能是其它商业软件没有的功能。

容易使用★TFCalc 是标准的windows 和苹果机程序；薄膜设计工程师利用菜单、对话框和窗口来输入并显示结果。

★Software Spectra 努力让TFCalc 软件尽可能的容易使用，特别是对仅仅偶尔使用软件的工程师来说这一点更加重要。

TFCalc 软件包中包含了大量的设计实例。

价格★TFCalc 软件每套售价1.6 万元人民币，包含一年的升级和技术支持服务。

量大和教学会有一定的折扣优惠。

多种平台TFCalc 可以在以下计算机和操作系统下工作：★运行windows 3.1 ，3.11，95，98，2000，XP 的PC。

★运行System 7 或更新版本的苹果电脑。

★TFCalc 所输出的文件格式兼容这两个平台，让你和同时可以共享数据。

TFCalc 3.80 功能概要TFCalc 是一款具有多种强大功能的软件。

这个概要并没有列出它的所有功能。

要想了解TFCalc 的所有功能，可以阅读TFCalc 用户手册。

另外一种学习TFCalc 软件的方法就是使用它的演示版本。

薄膜★基层的两侧可以达到5000 层★膜层可以手动的添加，也可以使用堆叠公式自动创建，例如（HL）^5 1.2(HL)^5★膜层可以具有可变的折射率★膜层可以是两种材料的混合体★膜层的厚度可以用物理的或波长的四分之一作为厚度输入值★膜层的厚度可以被束缚★厚度可以根据角度值做调整★一个膜层可以被等效膜层的（HLH）或者（LHL）的堆叠所代替★膜层可以成组的对称保存或者按顺序移动★折痕的镀膜也可以模拟★膜层可以由活动性和增益性材料组成分析★计算反射、穿透、吸收、光学密度、损耗、相位改变、psi、组延迟（GD）、组延迟散射（GDD）、TOD 和电场强度★计算反射或穿透颜色（CIE 和LAB）★计算连续膜层的等价折射率（Herpin）★计算反射、投射、吸收、光学密度、损耗、相位改变和正常生产中的公差（厚度和折射率）的敏感度★计算膜层的敏感度★计算反射，穿透、吸收、密度和用户自定义的损耗平均锥角（也叫做biconical）★交互式的分析可以用来决定影响表现的参数的改变★使用交互式的功能可以创造生动的结果★生产分析可以让用户决定一个膜层的生产★Muller 或Abeles 相位改变的定义都可以选定★模拟光的监控器的输出优化★三个局部方法：可变的公制、梯度和单一的★全局搜索可以用来找到最佳的镀膜设计★针优化（带有隧道效应的）用来针对综合的非寻常设计★厚度和折射率都可以设为变量★膜层的厚度可以在优化过程中被束缚★背离和折射率的轮廓可以在优化过程中显示出来★灵活的评价函数★同时地优化前后层★优化组因子★敏感度也可以被优化★零厚度的层看可以能在优化过程中自动地移出★可以输入照明和探测功能，这样对于膜层在特定环境下的优化成为可能★产品的R*T 能够被优化★膜层两侧的表现都可以被优化★锥角平均值可以被优化★极端快速量可以被优化（GD、GDD、TOD）★使用原型方法自动设计带通滤波器优化目标★优化目标可以为反射、穿透、吸收、密度、颜色、照明、相位移动、组延迟、组延迟散射、TOD 和任意波长、偏振以及角度的psi★目标可以是不连续的（单一波长）、连续的（一段波长）或者锥角平均（对于锥形角）★这些量的第一、第一和第三派生都可以作为变量★目标可以手动的、一般情况是自动的或者从文件读取★一般情况下目标是波长、波数或者对数的形式★目标值可以是不等的★最多可以设定5000 个目标★针对多种环境的目标★等波纹的目标★目标值可以用dB 的形式输入结果★结果可以用数字和图片的方式显示★所有的表格和图片都可以打印★结果可以保存到文件中，让其他程序使用★结果可以灵活的保存★五个膜系设计的结果可以同时显示在一张图片中★两个结果，例如反射和投射可以同时在一张图片中涵盖★屏幕上有一个指针，用户可以利用它在图片上读出数值★对于随机的结果可以计算出统计值光学数据★材料、基质、光源、探测器和辐射文件的数值没有限制★折射率可以用表格或散射公式的形式输入★对于基质，内部穿透率可以读出★使用填写功能（interpolation）可以增加丢失的N 或K 数值★折射率可以从频谱或椭圆偏振光中计算出★材料和基质数据可以产生吸收和散射★一个膜层的反射和投射可以保存为一个发光体★每个文件都可以保存注释★数据可以从文本文件中读取★可以建立黑体发光体★数据文件可以保存为苹果电脑和IBM-PC 的兼容格式镀膜文件★包含膜层、目标、注释、可变材料等等的所有信息★方便的将一个膜层的部分复制到其它文件中★镀膜文件兼容苹果电脑和IBM-PC精确而快速★所有的计算都是16 位浮点算法★在优化过程中，TFCalc 可以计算50 万层/接近计算机的最好水平用户界面★容易使用，标准Windows 或苹果用户界面★和Windows 一样的菜单、对话框、表格★非常容易编辑和重新计算TFCalc 3.80 的更新重要的新功能★交互式的分析★灵活的保存★生产分析★极限快速表现计算★分析参数的交互式设定★等效膜层的散射★敏感度分析：各折射率独立变化★带锥角的敏感度分析★极限快速量的优化★锥角目标优化★带通滤波器的自动设计★材料的混合★结构参数存储在每一个设计中有很多升级在本文档中没有提及，这里提到的更新只是针对Windows 版本的；除了以下bug 被修正外，苹果电脑版本没有其它改变。

CVD镀膜参考资料

在线低辐射镀膜玻璃（简称Low-E玻璃）在线镀膜是指在浮法玻璃生产线特定的部位（锡槽、退火窑）上，采用化学气相沉积或喷涂工艺进行镀膜的一种镀膜玻璃产品。

目前国内外普遍采用的是化学气相沉积镀膜工艺。

在线镀膜玻璃产品主要有：热反射玻璃、低辐射玻璃、薄膜太阳能电池用导电膜玻璃、自洁玻璃、减反射玻璃等。

其中薄膜太阳能电池用导电膜玻璃我国尚属空白，国际上只有日本板硝子独家拥有该技术；低辐射玻璃目前国内已研制成功，但尚需进一步改进和提高；热反射玻璃国内技术比较成熟，但由于低辐射镀膜玻璃的出现，加之该产品时常出现“光污染”之争议，已逐渐被低辐射镀膜玻璃所取代。

浮法在线低辐射镀膜玻璃生产工艺为化学气相沉积法（CVD法），在浮法玻璃生产线的锡槽内，玻璃带温度在600-650度高温状态下，将特定的金属或金属氧化物材料制成的气相材料均匀地沉积在玻璃表面上，通过热处理使金属或金属氧化物材料与玻璃更加牢固的结合在一起，形成在线低辐射镀膜玻璃产品。

浮法在线化学气相沉积法镀膜的生产工艺过程简述如下：用钢瓶罐装的气体被运至供应站，经汇流排减压后，气体通过管道输入配气柜经配比混合后从锡槽两侧的进气管输入反应器。

气体压力和流量设定后，由仪表控制和监测。

汇流排分为两组切换供气，保证生产的连续性。

反应器从大车及双梁车上开入锡槽，与升降台一起调节至镀膜所需要的高度，然后通入气体开始镀膜生产。

镀膜后的废气通过排气装置排出室外，排气装置可以自动进行清扫。

镀膜构成过程通过可编程序控制器控制，参数通过仪表监测。

低辐射镀膜玻璃具有三大应用特性：一是良好的透光性，低辐射镀膜玻璃对太阳光中可见光的透过率高达80%以上，而反射率则很低，与热反射镀膜玻璃比其光学性能大为改观。

从室内看，外观更透明更清晰，既保证了建筑物的采光需求，又避免了由于光反射问题。

二是优异的隔热性能，低辐射镀膜玻璃可以阻断热辐射。

在炎热的夏季，可以降低室外侧向室内侧的热辐射，在寒冷的冬季，可以减少是内侧的热量向室外流失，如能与其他节能玻璃结合起来使用，可使节能效果更加显著。

镀膜玻璃标准两个部分

GB/T 18915.1-2002镀膜玻璃第1部分:阳光控制镀膜玻璃范围GB /T 1 8915的本部分规定了阳光控制镀膜玻璃的分类、定义、要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存。

本部分适用于建筑用的阳光控制镀膜玻璃。

2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款。

凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。

GB /T 2 680 建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射比及有关窗玻璃参数的测定(GB/T 2680-1994,neq ISO 9050:1990)GB /T 2 828-1997 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB /T 5 137.1 汽车安全玻璃试验方法第1部分:力学性能试验(GB/T 5137.1 -2002,ISO 3537:1999 Road vehicles-safety glazing materials-Mechanical tests,MOD)GB /T 6 382.1 平板玻璃集装器具架式集装器及其试验方法GB /T 6 382.2 平板玻璃集装器具箱式集装器及其试验方法GB /T 8 17。

数值修约规则GB 1 161 4 浮法玻璃GB /T 1 1942 彩色建筑材料色度测量方法GB 1 784 1-1999 幕墙用钢化玻璃与半钢化玻璃JC /T 51 3 平板玻璃木箱包装3 术语和定义下列术语和定义适用于GB/T 18915的本部分:阳光控制镶腆玻瑞solar control coated glass对波长范围350 nm-1 800 nm的太阳光具有一定控制作用的镀膜玻璃.针孔pinhole从镀膜玻璃透射方向看，相对膜层整体可视透明的部分或全部没有附着膜层的点状缺陷。

电子束蒸发镀膜仪简易操作流程

电子束蒸发镀膜仪简易操作流程1、打开北313高纯氮气瓶主阀（减压阀0.25 MPa，使用结束切记关阀，因为漏气）；2、打开电子束蒸发仪后面的高氮手阀；3、登陆界面。

沉积系统和膜厚系统分别登陆；4、观察两个腔室真空度情况：主腔室一般~ 10-8 torr，送样室一般~ 10-7 torr；5、在真空界面，Loadlock自动充气（提前打开门把手）；6、取样品盘，装样，放入腔体，关仓门；7、Loadlock自动抽气，待真空达到~ 10-7 torr；8、送样：在送样界面，点击自动送样，稍等一会（待字体由红变黑结束送样），打开观察窗挡板观察送样是否到位，随后关闭观察窗挡板；9、打开下方的电子束高压电源与扫描控制器；10、在膜厚系统，Edit -> Process ->选择对应靶材，更改速率Set point（Å/s）以及厚度Finalthickness（kÅ），点击OK；11、在工艺控制界面，材料分布处输入对应靶材的号码并确定，点击坩埚导位（由绿变红完成导位）；打开观察窗挡板观察是否导位正确，随后关闭观察窗挡板；12、在工艺控制界面，样品旋转~10 rpm；13、待主腔室真空度达到~ 10-8 torr，点击HV1 On，开电子束，由红变绿，响一声；14、点击Start process，开始自动镀膜；15、在膜厚系统观察蒸镀过程。

Output power graph和Rate graph；若出现异常，点Abortprocess；16、蒸镀结束后，关闭HV1 ON。

若还需蒸镀其他材料，回到第9步；17、关闭高压电源以及扫描控制器；18、在送样界面，自动取样，稍等一会，待取样完成；19、Loadlock自动充气（提前打开门把手），取样；20、将样品盘放回，关仓门，Loadlock自动抽气；21、待Loadlock自动抽气按钮变成黑色后，退出登录（点击注销）；22、关闭高氮手阀，以及北313高氮气瓶；23、实验登记。

城市管理综合执法局城管执法与执法程序动态PPT

行政执法
门前三包、清雪铲冰29项职责。城市管理综合行政执法机关实施行政处罚，纠正违法行为，应当坚持处罚与教育相结合、以教育为主的原则。
在钢轨腰部钻孔后用钩形螺栓进行连接固定的型式。 11.2.3水土保持工程招投标，反挡间歇制动；4）（4）工程水土保持监测报告，内容包括监测情况、时间、地点、监测项目和方法、监测成果以及存在的问题和下一步建设项目水土保持工作建议等。
城管执法的主要职责
城市管理
城市管理综合执法机关应与市容、环境卫生、园林、公安交通管理
行政主管
行政主管部门建立定期沟通或者部门负责人联席会议制度
执法信息
传递互通有关执法信息，实现许可、管理、执法信息共享。
综合执法
认为应由城市管理综合执法机关予以行政处罚的违法行为
7）．人防通风密闭阀安装应注意安装方向（箭头指向冲击波方向）； 7.16 电气设备安装（3）协调建设单位和施工单位与水行政主管部门之间有关水土保持措施实施、水土保持监测等方面的工作。我公司为保证本工程的质量、进度目标，准备投入5000 平方米的现代化厂房以及由意大利、德国等国家进口的先进高精度加工机械设备这些设备皆属于我司所有。
城管执法的办案原则
违法事实
违法行为
违法行为当事人的违法事实劝导其主动改正违法行为
对在限期整改期限内拒不改正违法行为的当事人，依法进行行政处罚的程序。
对经教育规范不改正违法行为的当事人，通过书面形式责令其限期改正违法行为的程序。
教育规范
书面形式
限期改正
指出违法行为当事人的违法事实，劝导其主动改正违法行为，自觉遵守行政管理秩序的程序。
项目经理搞好现场管理，创造文明施工环境，确保产品质量不受影响。现场设总指挥一名，混凝土浇筑前由总指挥先进行各方面协调、联络和布置，施工时负责指挥处理各种关系，混凝土浇筑现场将派专人指挥管理混凝土浇捣工作，保证施工的有序进行。 ④、管道防腐层宜按下表选用。 2、底板钢筋上下对其，保证S拉筋能勾住钢筋节点，保证受力，抵抗上下层钢筋的错动；

产品外观检验作业指导书

2.塑料大身类,前盖类,控制环均为A面.
3.手柄类可分为ABC面判定.
4. 如有客人特别要求请以客人要求为准.
编制
审核
批准
生效日期
允许Φ0.2mm以下1处
允许Φ0.2mm以下2处，间距>50mm
允许Φ0.4mm以下3处，间距>50mm
缩水
不可接受
不可接受
允许轻微不明显
允许轻微不明显
色差
不可接受
不可接受
不可接受
不可接受
麻轮印
不可接受
不可接受
允许轻微不明显
允许轻微不明显
过度抛光
不可接受
不可接受
允许轻微不明显
允许轻微不明显
备注要求说明
3.4检验条件
3.4.1检验员在40W日光灯下,产品距光源80cm左右的条件下目测,检验员矫正视力1.0以上，并无色盲。
3.4.2检验员戴上手套，手握产品，与产品之间间距30cm，目测且不能借助任何放大仪器。
3.4.3检验使用三秒钟法则:即在以上检验条件下,对同一面同一地方目视3秒钟进行评估(指针对某一个缺陷,而不是指用来检查整个产品所用的时间)
麻点
允许Φ2mm内存在一处且直径0.5mm以下
允许Φ4mm内存在1处且直径为Φ0.5mm以下
允许Φ3mm内存在2处且直径为Φ2mm以下
可接受
杂质
允许Φ0.5mm以下1处
允许Φ1mm以下3处间距5mm
允许Φ2mm以下5处间距5mm
可接受
唱片纹
不可接受
不可接受
可接受
可接受
其它说明
1.胶件合模线部分手感顺畅,不可有刮手现象.
允许20*20mm内2点、ф0.3mm以下2处，不刮手

镀膜机操作指引

客户名称
/
客户型号
/
工序号工序名称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
1/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保护）
/
镀膜机操作面板各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
/
客户型号
/
工序号工序名称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
6/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间注意：胶布不可沾到电
客户名称
/
客户型号
/
工序号工序名称
21
打开盖子，取出钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
10/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以打开Chamber密封盖子，取出钢网，检查线与钢网接触面是否完好；
16.d

离线Low_E镀膜生产线真空系统设计

ｄｏｉ：１０．３９６３／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７４－６０６６．２０１４．０４．０１０离线Ｌｏｗ－Ｅ镀膜生产线真空系统设计罗松松，张超群（中国建材国际工程集团有限公司，蚌埠２３３０１８）摘要：真空系统是离线Ｌｏｗ－Ｅ镀膜生产线的基础，其设计的优劣直接影响镀膜质量。

该文通过对离线Ｌｏｗ－Ｅ镀膜生产线真空系统的分析，得出相关真空系统最佳配置方案及设计方法。

关键词：Ｌｏｗ－Ｅ镀膜；真空系统；真空设计ＶａｃｕｕｍＳｙｓｔｅｍＤｅｓｉｇｎｏｆＯｆｆ－ｌｉｎｅＬｏｗ－ＥＣｏａｔｉｎｇＬｉｎｅＬＵＯＳｏｎｇ－ｓｏｎｇ，ＺＨＡＮＧＣｈａｏ－ｑｕｎ（ＣｈｉｎａＴｒｉｕｍｐｈＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＧｒｏｕｐＣｏ，Ｌｔｄ，Ｂｅｎｇｂｕ２３３０１８，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍｉｓｔｈｅｂａｓｉｓｏｆｏｆｆ－ｌｉｎｅＬｏｗ－Ｅｃｏａｔｉｎｇｌｉｎｅ，ｉｔｓｄｅｓｉｇｎｄｉｒｅｃｔｌｙａｆｆｅｃｔｓｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｃｏａｔｉｎｇ．Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｆｉｎｄｓｔｈｅｂｅｓｔｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎｓｃｈｅｍｅａｎｄｄｅｓｉｇｎｍｅｔｈｏｄｂｙｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍｏｆｏｆｆ－ｌｉｎｅＬｏｗ－Ｅｃｏａｔｉｎｇｌｉｎｅ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｌｏｗ－Ｅｃｏａｔｉｎｇ；ｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍ；ｖａｃｕｕｍｄｅｓｉｇｎＬｏｗ－Ｅ镀膜玻璃由于其具有优良的光学性能和节能效果，加之在国家绿色节能政策的引导下，近年来得到大力的发展，广泛地用于建筑及汽车的挡风玻璃，但更多的与普通玻璃组合成中空玻璃使用，既保护膜层又增加隔热效果，低辐射镀膜中空玻璃是目前公认的节能效果最佳的建筑用玻璃［１］。

Ｌｏｗ－Ｅ镀膜玻璃性能的优劣取决于镀膜生产线的好坏，离线镀膜生产线相比在线镀膜生产线具有生产的镀膜玻璃质量稳定可靠、成品率高以及膜系多样化的优点［２］，占有国内Ｌｏｗ－Ｅ镀膜的绝大部分市场。

镀膜机作业指导书

晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。

2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。

3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。

4．开机械泵。

5．开扩散泵。

6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。

7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。

关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。

3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。

注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。

晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。

机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。

在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。

标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。

镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。

数值大小与电流有关。

延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。

当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。

镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。

当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。

串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。

3静态参数设置。

JGP-450A 型磁控溅射沉积系统计算机控制软件说明书

JGP磁控溅射系统计算机控制软件使用手册目录1软件说明 (3)1.1通讯线连接方法 (3)2界面介绍 (4)2.1挡板控制及状态 (4)2.2转盘控制与状态 (5)2.2.1 样品与样品挡板状态 (5)2.2.2样品速度和挡板速度 (6)2.3转靶控制与状态 (6)2.4程序控制与编制 (7)2.4.1控制命令介绍： (7)2.4.2控制程序举例： (9)2.5加热控制界面 (10)首先，感谢您购买中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司开发生产的磁控及离子束联合镀膜设备。

在使用本设备前，请您仔细阅读本手册，以便更清楚地掌握控制软件的使用，充分利用本设备丰富的功能。

1软件说明该软件用于控制具有靶挡板的多靶共溅/直溅设备，最多可控制六个靶挡板、一个样品挡板、一套样品转盘系统以及加热控温电源.1.1通讯线连接方法该软件与靶挡板控制电源、转盘控制电源之间通过RS232通讯实现控制，加热电源通过485转232模块实现通讯控制。

靶挡板控制电源的通讯1口、转盘控制电源的通讯1口各有一条串行通讯电缆与计算机串口连接，分别连接到串口号为COM2、COM3的对应串口；加热电源通讯口与COM4连接，本机串口为COM1.扩展串口为COM2、3、4、5，分别对应P1、P2、P3、P4。

所以接到P1、P2、P3。

注意：1.该软件为通用型软件，所以针对不同设备，可能部分功能不需使用。

2.在使用该软件前先要将对应控制电源打开，并确认串行通讯电缆已经连接，否则软件将不会正常工作。

2界面介绍软件运行后，显示界面如下：2.1挡板控制及状态作用：控制并显示各个靶挡板的状态。

该控件控制A靶挡板的开与关，并显示挡板状态。

点击“开”， A靶的挡板将切换到开状态。

点击“关”，A靶的挡板将切换到关状态。

该控件控制B靶挡板的开与关，并显示挡板状态。

点击“开”， B靶的挡板切换到开状态。

点击“关”，B靶的挡板切换到关状态。

C、D、E、F靶的开关控制方式与A、B靶相同。

制程检验控制程序(含表格)

制程检验控制程序（IATF16949-2016/ISO9001-2015）1.0目的:通过对制程检验与测试进行管制,确保产品在制程中处于受控状态,使产品品质满足规定要求。

2.0范围:适用于生产过程中的所有产品的品质控制。

3.0术语和定义:3.1检验:通过观察和判断,适当时结合测量、试验所进行的符合性评价。

3.2首件检验:对批量加工的第一件产品所进行的自检和检验员专检的活动。

3.3首件鉴定:对试生产的第一件(批)零部(组)件进行全面的过程和成品检查,以确定生产条件能否保证生产出符合设计要求的产品。

3.4首末件检查:将上一张/批生产任务单最后生产出的产品与同一条件下生产出的本张/批任务单的第一件产品进行对比确认。

3.5 巡检:在生产线经首检确认后正式生产中,指定巡检者对生产线上所有工序中的产品依据检验规范所做的重要质量特性及其参数的例行检验,并做好相关记录。

3.6不合格品:不符合顾客要求和规范的产品或材料。

3.7可疑的产品或材料:任何检验和试验状态不确定的产品或材料。

3.8计数型数据:可以用来记录和分析的定性数据。

计数型数据通常用合格或不合格的形式收集。

3.9计数型量具:就是把各个零件与某些指定限值比较,如果满足限值则接受该零件否则拒收。

4.0职责和权限:4.1归口管理部门:4.1.1品质管理中心:1)负责根据顾客的品质要求,制定相关产品的检验标准或规范。

2)负责按检验标准或规范对在制品进行检验和判定。

3)负责各制程不合格异常产品的追踪处理和效果验证。

4)负责产品申请紧急放行时的审批。

4.2相关责任部门:4.2.1生产制造中心:1)负责按工艺要求对产品进行制造。

2)负责对制程中不合格异常进行原因分析并提出纠正及预防措施。

4.2.2工程研发中心:1)负责根据顾客要求的品质及工艺,制定产品工艺参数和操作指导书。

5.0工作内容:5.1工作流程:无5.2工作说明:5.2.1通则:1)汽车产品,计数型数据抽样计划的接收准则必须是零缺陷(即C=0)。

在线、离线LOW-E镀膜玻璃对比

在线、离线LOW-E镀膜玻璃对比徐兵中国南玻集团吴江南玻华东工程玻璃有限公司江苏·吴江（215222）摘要：本文通过生产工艺、产品性能，市场应用三方面对在线、离线LOW-E镀膜玻璃进行对比，整体上阐述在线和离线这两大类LOW-E镀膜玻璃的市场定位，以此判断LOW-E镀膜玻璃的应用方向。

关键词：在线LOW-E镀膜玻璃，离线LOW-E镀膜玻璃，市场分析前言自1965年开始，大板面玻璃镀膜加工因新工艺和新设备的出现逐步得到了发展。

Libby Owens Ford(LOF)建起了第一条大规模真空镀膜生产线。

之前，建筑玻璃的镀膜采用需要将玻璃基片加热的气相沉积法，该法会引起玻璃变形，或者采用化学沉积法，该法生产的膜层均匀性、耐久性差。

1973年，Airco发明了磁控溅射镀膜工艺。

1977年10月, Airco为Guardian公司建造了第一条磁控溅射镀膜线。

1982年，美国Guardian公司率先推出了银基低辐射膜层。

之后，Low-E玻璃（即辐射率ε≤0.15的镀膜玻璃）逐渐成了优级窗的标准配置。

1987年，LOF推出了在线Low-E镀膜玻璃产品，至此，Low-E镀膜玻璃生产正式发展成为在线、离线两种工艺方式。

以下，将从生产工艺、产品性能，市场应用对在线、离线Low-E镀膜玻璃进行分析，确定这两类产品的市场现状及未来趋势。

一．生产工艺“在线”系指在浮法玻璃生产线上利用高温热解法生产镀膜玻璃，高温热解法又分为热喷涂和化学汽相沉积法(CVD)，目前多采用CVD法。

镀膜实施的部位，可以在浮法玻璃生产线的锡槽、过渡辊合或退火窑前端，反应的温度在400～700℃之间，如图1所示。

一般在热的浮法玻璃表面要镀多层膜，这些膜包括介质膜和功能膜。

多层膜的复合使低辐射镀膜玻璃既有低辐射功能，又不产生干涉虹彩。

为了保证膜层均匀，必须严格控制玻璃板面温差，同时控制反应气流稳定。

在此前提下，才有可能生产出高质量的低辐射镀膜玻璃。

fse蒸镀机操作手册

2. 警告: 改装此机器设备、修改或使安全连锁装置失效或没有按照建议的操作维护程序工作将造成使用人员或设备上之损害。
2 富临科技工程-蒸镀机操作手册
安全说明
3. 只有受过完整训练的个人及熟悉本设备之人员可以操作或维护本设备，其余人员则严禁操作或变更本设备,否则会造成人员或设备之损伤, 而造成严重的后果。
一般安全提示
本公司强力要求遵守前述之安全规定及以下的安全提示:
安全说明
禁止在通电情况下单独工作，在可视或可听到的距离内有另外的工作人员在场，此人员必须具备以下条件 ¾ 知道如何切断设备电源 ¾ 熟悉紧急处理程序、最近救护站及消防设施。维修前必须关闭、锁定并标示任何有害源如电源、气压、机械重力。在电流流通的环境下工作，禁止配戴戒指、手表或各种首饰于手或手臂。
时。 B．冷冻帮浦温度回升高于 20 度 K
２．若要快速作冷冻帮浦停机，操作方法：冷冻帮浦＞＞暖机＞＞停止。
[ 冷冻帮浦再生 ]：使用氮气执行冷冻帮浦再生。
１．执行冷冻帮浦再生，必须先停止冷冻帮浦暖机；操作方法：冷冻帮浦＞＞暖机＞＞停止。
２．停止冷冻帮浦后，若能使帮浦内部温度高于室温，将可达到较高之再生效果。
３．执行
＞＞
，冷冻帮浦的 N2 IN 阀开启，待冷冻帮浦的 ATM
1-3
启动后画面变成红色四．加热器：腔体烘烤和基材加热时使用．
启动后画面变成红色五．蒸镀源：
主画面说明
E/B 坩锅：
坩锅位置：
Thermal：
六．真空阀件：包含细抽、粗抽、主阀；破真空阀（Vent）
半开阀：有通入制程气体的机型才有安装。
七．制程气体阀件
Vf：气体前端阀。 Vb：气体后阀。 MFC：气体流量控制器，显示实际流量。

BITO技术报告

4.镀膜机台ULD
腔體側面
二、BITO制程
镀膜设备系统结构：
1.镀膜机台LD
2.镀膜腔体第一室：傳入室第二室：傳入緩衝室第三室~六室：成膜室第七室：載出緩衝室第八室：取出室 3.大气回流系统
4.镀膜机台ULD
傳入室:用CDA储存大量高压空气，用于加快破真空，让传入室的门打开，台车从LD流至传入室，粗抽泵浦抽真空至10E-2 Hpa,台车才可进入传入缓冲室。
二、BITO制程
2、镀膜方法簡介
2.3磁控溅镀法(Magnetron sputtering) – 利用惰性气体离子轰击靶材(一般为高密度的铟锡氧化物靶材) ,轰击下来的原子沉积到衬底上（如玻璃基板）形成薄膜 – 用该工艺进行连续镀ITO 膜层,具有膜层厚度均匀、易控制、膜重复性好、稳定、适于连续生产、可镀大面积、基片和靶相互位置可按理想设计任意放置、可在低温下制取致密的薄膜层，現MLCM BITO廠使用的即為此法。
交通工具風擋
高的机械硬度和化学稳定性
能除雾防霜：汽车、飞机等交通工具的风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用于炉门、冷冻食品的显示器等。
可得到高的能量转换效率：可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型A-Si基太阳能电池的透明电极
二、BITO制程
3、BITO制程Layout&流程簡介
洗淨
镀膜
ITO特性抽检外观抽检
N G
OK
包装出货
报废
二、BITO制程
洗淨系统结构： 1.L/D 单元 2.2D Read 单元 3. RB 单元 4. HP 单元 5. BJ/FS 单元 6. AK 单元

镀膜机常见故障及分析解决预防措施.doc

镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.12346二.一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪控制参数Soak power1----预熔功率1 约为蒸发功率的一半Soak power2----预熔功率2 也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower ----最大功率Dep Rate ----蒸发速率Final Thk ----膜厚（波长）Soak time----预熔时间Rise time ----功率上升时间Density ----材料密度检测膜厚原理通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：(1).探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)(2).探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2决定颜色2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟4.3.灯丝安装a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发b.栅极片应略低于阳极片c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5. 轰击条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤6. 换机械泵油将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,洗干净后即可加油.加油应加到观察油窗伤两条红线之间(油加少了会造成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.7. 应急措施7.1. 突然停电首先将设备总电源开关关闭(防止突然恢复电力所有用电设备工作造成电流冲击过大),然后将所有开关复位,处在关的状态(开关弹起为关的状态),等待电力恢复如果长时间电力无法恢复应将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使其冷却.设备循环水关小,防止停电时间过长导致循环水无法循环使水流失7.2.停水首先应关闭扩散泵,将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使扩散泵冷却关闭各阀门及机械泵,不能让其长时间在无冷却水的状态下工作导致设备损坏7.3.停气气压低于0.43Mpa时阀门会自动关闭,此时应将各阀门开关复位处在关的状态(开关弹起为关).如果长时间无法恢复供气,则将扩散泵,机械泵等运作的设备关闭,关扩散泵15分钟后打开扩散泵快冷冷却扩散泵。