DRF-85型单晶炉使用说明书(机械部分)

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单晶炉安全操作及保养规程

单晶炉安全操作及保养规程单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备，对于保持其正常运行和延长使用寿命非常重要。

为了确保单晶炉的安全操作和有效保养，以下是一些规范性的指导原则。

1.安全操作1.1熟悉设备的使用说明书和操作程序，确保能正确操作单晶炉。

1.2在操作单晶炉之前，需要进行必要的检查，确保所有连接和部件都处于良好状态。

1.3穿戴适当的个人防护装备，如防热手套、防护眼镜和耳塞。

1.4在操作单晶炉时，严禁穿着松散的衣物、长发或配饰物，以防止意外事故和伤害。

1.5操作单晶炉时，应保持机器周围的通道畅通，以便紧急情况时能够迅速离开。

1.6确保在操作单晶炉时，有足够的人员在场，以应对任何突发情况。

2.危险物品处理2.1遵守危险物品的处理规定，包括储存、运输和处理。

2.2当使用有害化学品时，必须戴好手套、口罩和护目镜。

控制好化学物品的量，避免溢出或飞溅。

2.3用完以后，要及时清理和处理废弃物品，防止对自然环境和健康造成伤害。

3.炉子操作3.1在开启单晶炉之前，确保电源已断开，电压为零。

3.2使用合适的工具来操作和调整单晶炉，不得使用手指或其他物品接触炉内的热部件。

3.3确保单晶炉的表面保持清洁，避免灰尘和杂质进入炉内，以影响操作和材料质量。

3.4定期清洁炉内的灰尘和残留物，以保持单晶炉的正常运行。

3.5使用合适的炉具和隔热材料来处理高温单晶炉。

3.6当炉子需要移动时，确保炉子已经冷却并断开电源，避免烫伤或其他意外伤害。

4.检查和维护4.1定期检查单晶炉的各个部件和连接，确保它们处于良好状态。

4.2清洁并更换炉子和加热元件。

4.3检查和更换损坏的温度传感器和仪表。

4.4定期校准和调整单晶炉的控制系统，以确保温度和压力的准确控制。

4.5定期检查并更换阀门、管道和密封圈，以确保没有泄漏。

4.6维护记录：记录每次维护的日期、时间、操作内容和使用的材料等信息，以追踪单晶炉的使用情况和需要进行的维护。

4.7定期培训：定期对操作和维护单晶炉的人员进行培训，使其熟悉单晶炉的安全操作和维护方法。

DRF-85型单晶炉使用说明书(机械部分)

DRF-85型单晶炉使用说明书（机械部分）目录1.综述 (4)1.1 用途 (4)1.2 技术特征 (4)1.4 附件 (8)2．设备安装与要求 (8)2．1 设备的工作环境 (8)2．2 冷却水源与排水 (9)2．3 电源 (10)2．4 氩气源 (10)2．5 泵组系统的排气管路 (10)2．6 设备的平面布置与厂房高度 (10)2．7 地基构造 (11)2．8 操作平台 (12)2．9 设备的拆箱 (12)2．10 设备的安装 (12)3．炉子本体结构说明 (14)3．1 结构简述 (14)3．2 坩埚驱动装置 (14)3．3 主炉室 (15)3．4 翻板阀 (17)3．5 副炉室 (17)3．6 籽晶驱动装置 (18)3．7 副炉室及炉盖升降操作 (18)3．8 主炉室（炉筒）升降操作 (19)3．9 水冷系统 (20)3．10 使用与操作 (20)3．10．1 调整 (20)3．10．2 (21)4．真空系统及充气系统 (21)4．1 真空系统 (21)4．1．1 (21)4．1．2 (22)4．1．3 (22)4．1．4 (22)4．2 (22)4．3 (23)4．3．1 (23)4．3．2 (23)5．维护与修理 (23)5．1 坩埚轴驱动部件的维修 (24)5．2 蜗轮蜗杆减速器的维修 (24)5．3 籽晶提拉部件的维修 (24)5．4 伺服机组的维修 (25)5．5 水冷系统的维修 (25)5．6 翻板阀的维修 (25)5．7 管道的维修 (26)6．拆装 (26)6．1 坩埚轴的拆装 (26)6．2 电极的拆装： (26)6．3 卷丝轮的拆装 (27)6．4 翻板阀的拆装 (27)1.综述1.1 用途DRF-85 单晶炉属软轴提拉式单晶炉，它是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将硅半导体材料加热并熔化，然后用直拉法生长无位错的单晶设备。

该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的硅单晶。

DRF-85型单晶炉使用说明书(电气部分)

DRF-85型单晶炉使用说明书（电气部分）目录一．TDR-ADC单晶炉电气控制系统组成 (4)1. 概述 (4)2. TDR-ADC电气控制系统组成及功能 (5)2.1 TDR-ADC晶体生长控制柜 (6)2.1.1 TDR -SLCL(PLC) 晶升埚升速度控制单机 (6)2.1.2 TDR -SRCR晶转埚转速度控制单机 (6)2.1.3 TDR -TEMP温度控制及工控机单机 (7)2.1.4 控制柜继电控制单元 (8)2.1.5 控制柜面板 (8)2.2 加热功率部件 (8)2.2.1 主加热功率部件 (8)2.2.2 辅助加热功率部件（选件） (9)2.3 继电控制 (9)2.3.1 液压系统的继电控制 (9)2.3.2真空机组的继电控制 (9)2.4 辅助控制部分 (9)2.4.1 HX-TDR主机分线盒接口装置 (9)2.4.2 HX-SEED2 引晶装置 (10)2.4.3 TDR -LIN晶升埚升计长板 (10)2.4.4 限位开关 (10)2.4.5 冷却水温度测量 (11)2.4.6 晶体直径测量 (11)3. TDRF-85炉的TDR-ADC电气控制系统接线说明 (11)3.1 TDRF-85炉的晶体生长控制柜接线说明 (11)3.1.1 控制柜内元件接线 (11)3.1.2 控制柜端子排接线 (11)二．TDR-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 (23)1. 安装说明 (23)1.1 控制系统配置 (23)1.1.1 TDR -ADC晶体生长控制柜 (23)1.1.2 加热功率部件 (24)1.2 接线说明 (24)1.2.3 主机分线盒接线说明 (25)2. 系统调试 (25)2.1 TDR-ADC晶升埚升速度系统调试 (25)2.1.1 晶升速度调试 (29)2.1.2 埚升速度调试 (31)2.2.1 晶转埚转速度交流伺服电机简介 (34)2.2.2 晶转埚转速度调试 (35)2.3.1 TDR-TEMP温度控制及工控机单机 (36)2.3.3 加热温度控制部分调试 (41)2.4 TDR-ADC继电控制调试 (42)2.4.1真空机组继电控制调试 (42)2.4.2液压系统的继电控制调试 (43)2.5 TDR-ADC水温检测及限位开关调试 (44)2.5.1 冷却水温监测及超温报警 (44)2.5.2 限位开关调试 (44)三。

常州DRF型单晶炉软件使用说明书

一．晶体生长主界面（主界面 F1）
晶体生长控制系统的主界面。可直观显示晶体生长过程中单晶生长系统主要运行参数及设备的运行状态，其操作画面如下图所示。（注：在每次系统上电后系统自动进入晶体生长主界面。也可在其它界面下通过触摸屏幕下方的【主画面 F1】键调出主界面.）
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HX-DRF 单晶炉电气控制系统软件使用说明书
HX-DRF 单晶炉电气控制系统软件使用说明书
HX-DRF 单晶炉电气控制系统软件使用说明书
使用须知
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使用之前，请注意安全使用注意事项。请在阅读后，妥善保管好说明书，以备以后查阅。本手册适用于 HX-DRF 系列电气柜上位软件，但由于炉体配置不同，其中有些功能不能使用，请谅解。
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HX-DRF 单晶炉电气控制系统软件使用说明书
� 预备加热：等泄露率达到指标后，系统按照设定打开主室阀，充氩气使得炉内压力达到设定的真空值。 � 真空测试状态栏内，显示极限真空及泄漏率检测结果。 � 注：真空测试过程中主泵开度，氩气设置都需要配置相应的电动球阀及质量流量计。
点击“加热”进入如下界面：
界面说明： � 上标题栏从左至右分别是：晶体位置（mm）信号，坩埚位置(mm)信号，软件版本号及系统当前时间等信息。 � 下标题栏从左至右分别为：F1-F7 界面切换按键。 � 界面中间部分为系统的运行参数及状态： � 左侧是系统主要运行参数，由上至下分别是晶升速度，晶转速度，埚升速度，埚转速度，当前加热功率及温度信号，MFC（质量流量计）开度控制及流量显示，主室泵开度控制及显示，主炉室当前真空信号及系统报警提示栏。 � 主画面中为设备当前运行状态的直观显示，晶升上下限位，埚升上下限位，液压系统 S1、 S2 限位，MFC V1、V2、V3 充气阀开关，水路状态及当前水压，晶体直径显示及晶体重量显示（根据直径估算），主室阀电源开关，副室阀电源开关。 � 注：1.MFC、主泵电动球阀、副室电动球阀、水流量显示等功能适用于 95 炉高配版本。 2.主室阀与副室阀电源需在球阀完全关闭的状态下关闭，以免在炉室内真空的状态下造成倒吸。

单晶炉操作规范共31页word资料

热检冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。

2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。

3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。

2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。

也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。

3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。

4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。

5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。

3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。

2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。

3.机械泵皮带必须安装防护罩。

4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。

5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。

3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。

装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。

2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。

3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。

4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。

3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。

2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。

4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。

泄漏率超出范围应报修。

手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。

直拉硅单晶作业指导书

夏津县奥德新能源有限公司直拉硅单晶作业指导书版本/修订0文件编号：AD-ZY-DJ-02-20101 目的为了使单晶炉操作工正确、规范地进行生产操作。

避免因操作错误等原因给生产带来不必要的损失，并使员工在生产过程中能够养成按规定操作的良好作业习惯，特制定本指导书。

2 适用范围适用于单晶工段DRF-85单晶炉及所有单晶炉操作工。

3 内容3.1 操作准备3.1.1 车间需穿戴好整洁工作服、鞋。

3.1.2 将不绣钢小车移至炉旁，准备好耐高温手套、研磨纸、吸尘管、防尘口罩、加热器垫架等拆炉工具3.2 热态检漏3.2.1 检查上炉功率关闭时间，确认单晶冷却时间达到4小时以上。

确认后关闭氩气总阀门，开始抽真空，并做好时间记录3.2.2 待炉压到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室泵球阀，再关闭主真空泵电源。

若0.5小时抽不到3Pa以下。

交有关维修人员处理。

3.2.3 检漏3分钟以上，当3分钟漏速<1Pa时为正常，做好漏气率记录。

若漏速>1Pa时，交有关维修人员处理。

3.2.4 做好热态检漏时的抽真空时间、检漏时间、漏气率等记录。

3.3 取单晶与籽晶3.3.1确认单晶冷却时间达到5小时后，缓慢调节晶转为0，充氩气至常压，打开炉门。

将单晶升至副室（提升时注意不得使单晶有碰撞）3.3.2升起副室，把安全接盘移到炉筒口晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动，缓慢转动副室到侧面（移动时注意避免单晶与炉筒碰撞）。

3.3.3 将单晶筐对准炉筒口，移开安全接盘。

按晶快降，将晶体降入筐内3.3.4 确认单晶完全入筐后，戴高温手套抓住籽晶夹头，用钳子将籽晶从肩上部位掐断3.3.5 手扶籽晶夹头，等钢丝取消拧力后取下籽晶，并将籽晶放入指定场所。

3.3.6 将单晶移到指定位置，并将单晶编号写在单晶上。

3.4 拆炉3.4.1 戴好口罩以及耐高温手套按顺序取出导流筒和保温盖，并放在装石墨件的不绣钢小车上，注意要拿稳轻放3.4.2 取下热电锥，将其和密封及玻璃放到指定位置。

85单晶炉标准操作规程

85单晶炉标准操作规程单晶车间说明1．本规程目的：学会正确操作直拉单晶炉，加强单晶车间的安全管理，保证工作质量，提高产量、成品率、降低成本、消除安全隐患。

2. 本规程内容：本规程详细讲解直拉式单晶炉的操作方法及基础知识，以巩固所学操作知识及安全生产知识。

3．本规程的使用方法：直拉单晶炉是生产电子、太阳能电池产品的原材料设备，具有较强的技术要求及严格工艺卫生要求的特点，因此操作者结合实际操作，根据本规程的讲解，能基本掌握单晶炉的操作方法。

4．适用对象：全自动直拉单晶炉操作人员。

5．本规程特点：基础知识与多年实践操作相结合，本规程的操作步骤全部经过实践、验证、正确无误。

实用性强。

目录1.准备工作2.取晶和拆炉3.安装石墨热场4.装料5.籽晶准备6.抽真空7.检漏8.熔料9.熔体温度稳定10.缩颈11.放肩12.转肩13.等径14.晶体回熔与取出15.收尾16.冷却17.石墨件的锻烧18.单晶生产应急措施19.交付单晶炉操作工艺流程热检漏→作业准备→取单晶→石墨件取出冷却→大罐清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→装料→装籽晶→抽空→检漏→压力化→熔料→引晶、缩颈→放肩→转肩→等径生长→收尾→停炉冷却一．准备工作1 目的：清楚本班的工作内容。

2 准备工作2.1 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。

2.2 接班后查看交接班记录本，了解设备前一周期运行情况，清楚本班工作内容，做到按时拆炉、装炉。

2.3准备拆炉工具及护具2.3.1准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。

2.3.2准备好防护手套、橡胶手套、无水乙醇、纱布、吸尘管、刷子等。

2.3.3准备好取晶车、石墨件舟车、装埚底料的不锈钢盆并处理干净。

2.4合理安排清炉时间，并在公司规定的时间的内完成清炉工作，为开炉工作做好准备。

2.5若在清炉过程中，发现异常情况，及时通知主操或者班长。

更换石墨器件需通知班长，并做好工艺记录本备注栏做好相关记录。

HX-DRF-85单晶炉电气控制系统说明书。11

使用须知●本说明书专为HX-DRF-85型单晶炉的用户所编写，要熟悉操作HX-DRF-85单晶炉，除了本使用手册外，用户还应熟知HX-DRF-85单晶炉的机械使用说明书。

●对于说明书中没有涉及到的问题或应用户要求专门设计的使用细节，用户应以我们提供的电气图纸资料及培训资料为准。

●本说明书只对公开的用户须知部分进行描述，对于用户拉晶工艺参数的特殊要求，我们负责对用户的拉晶工艺参数保密，而不在使用说明书中描述详细的工艺参数及细节。

●本手册的所有版权归西安恒新自动控制有限公司所有。

其全部或者部分文档或附加的软件，在没有西安恒新自动控制有限公司的书面允诺之前不得以任何形式复制或者拷贝。

1 概述.控制系统的特点 (1)2 控制系统组成及功能说明 (2)2.1 单晶炉电气控制系统组成 (2)2.2 单晶炉电气控制系统功能说明 (2)2.2.1 HX-ADC晶体生长控制柜 (2)2.2.2 HX-P190-0600或HX-P190-1211加热功率柜 (5)2.2.3 其它控制部分 (6)3 HX-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 (8)3.1 安装及接线 (8)3.1.1 供电电源 (8)3.1.2 HX-ADC控制柜接线说明 (8)3.1.3 功率柜接线说明 (9)3.2 系统调试 (9)3.2.1 速度系统的调试 (9)3.2.2 温度控制系统调试 (17)4 电气部分常见问题分析处理 (26)4.1 速度系统常见故障及处理 (26)4.1.1 直流电机调速系统 (26)4.1.2 交流电机调速系统： (27)4.2 控温系统常见故障及处理 (27)4.2.1 加热电源柜调试中常见故障 (27)4.2.2 系统投入自动后常见故障 (29)4.2.3 加热过程中，频繁出现“过流” (29)概述1概述·控制系统的特点HX-ADC单晶炉电气控制系统是西安恒新自动控制有限公司集多年单晶炉控制经验之大成，为提拉式单晶炉研制的新一代全自动单晶炉电气控制系统，可满足大直径单晶炉的电气控制要求。

单晶炉操作流程

单晶炉操作流程一．清炉：（1）把拆出的石墨件在清扫间用砂纸打磨干净（2）把炉内用吸尘器吸干净并用毛刷把加热器清理干净（3）把炉后的排气管道拆开清理干净后用六角扳手拧好（4）把现场打扫干净开始装炉二．装炉：（1）装炉时应注意：《1》托杆是否拧紧《2》加热器与保温筒的距离是否相等《3》取光孔是否对准《4》三瓣埚是否有裂纹《5》石英坩埚是否有气泡和黑点（2）把托盘/三瓣埚和石英坩埚装入后开始装料（3）装料时应注意大小的搭配以免挂边和咂埚（4）装好料后把保温盖装好后把导流筒装入看料是否与导流筒接触（5）装好一切后把炉子盖好开始抽空三．抽空：（1）把主泵打开后等一会在缓慢开主室阀开始抽空（2）当炉内压力小于6pa时开始加热化料四．化料：（1）化料时把功率隔半小时加一次但电流不要超过2400A以免产生过流五．塌料：当料快融化完时会塌料塌料是应随着往下塌而升埚升以免硅溅出六．化完挥发：（1）所有的料到化完时把埚转开到2转温度降至上一炉引晶温度后切换到自控（2）把埚向上升30MM开始稳定七．稳定：（1）稳定时把籽晶下降到液面晶转打至8转烧灼5分钟（2）当温度稳定一小时后把埚上升到液面与导流筒2至3公分便可以开始吃光圈八．吃光圈：（1）当液面与籽晶接触时便慢慢开始吃光圈（2）如果液面与籽晶接触时出现光圈一下亮了随之会断掉说明温度高便降几个点待稳定后在试（3）如果液面与籽晶接触时出现光圈周围越长大了说明温度低了便在此的基础上加几个点待稳定后试（4）如果温度合适便会看到4个亮点便可以开始引晶九．引晶：（1）引晶时把埚转打至7转（2）拉速调至0。

3至6。

5拉速不要归零也不要太大而缓慢拉起（3）保持直径在3——5MM（4）当晶引至150MM时开始放肩十．放肩：（1）放肩时把拉速调至0。

4——0。

7开始放（2）在放肩的同时便缓慢降温以达到转肩的标准十一。

转肩：（1）当肩放至145MM时开始转肩（2）转肩时将拉速调至1。

5/2。

单晶炉操作说明

．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。

连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。

单晶炉安全操作及保养规程

单晶炉安全操作及保养规程随着科技的不断发展和进步，单晶技术在许多领域中得到了广泛的应用，因此单晶炉也成为了现代化生产中不可或缺的设备。

而使用单晶炉的过程中必须确保安全。

本文将介绍单晶炉的安全操作及保养规程，以提供参考和指导。

安全操作手册1. 基本操作流程在使用单晶炉之前，务必将所有关键零部件经过一定温度预热，以防止突然的温度变化引起零件失效。

同时，在操作过程中，规范而恰当的操作手法也是至关重要的。

以下为单晶炉的基本操作流程：1.打开操作程序，选择所需熔化的材料和工艺参数；2.按照程序预设温度和时间进行预热；3.将材料放置在坩埚中；4.关闭坩埚和炉门；5.按照程序设定的温度升降曲线开始进行熔化；6.等待熔池形成后进入下一步操作；7.根据程序规定的速率进行晶体升提过程；8.待晶体生长完成后开始冷却至常温；9.开启炉门，取出晶体和坩埚。

2. 单晶炉使用注意事项在使用单晶炉的过程中，还需要注意以下事项：•在炉体温度较高时，严禁使用水进行清洗；•在清洗炉体时，必须使用专业的清洗液，注意使用方法；•熔池液面过高时，坩埚上升的速度要慢以免热溅造成伤害；•在通电前，必须确认所有的接线牢固，并检查电气仪表的运行情况；•工作人员必须保持全神贯注的状态，不可分心、离开现场或开玩笑。

3. 突发情况应急处理在单晶炉的使用过程中，常常会面临一些突发情况。

这时候应该要及时采取紧急措施，避免事故的发生。

以下为应急处理措施：•在整个熔化过程中，炉体温度不能超过材料的熔点；•若发现温度过高，应及时降温，否则可能会造成材料脱附以及材料或设备其他损坏；•若发现未预期的颜色变化，请及时采取相应措施。

保养规程单晶炉不仅需要在正常使用时保持良好的工作状态，同时也需要定期的保养和维护。

以下是单晶炉的保养规程：1.炉口、炉体和坩埚等部件应当及时进行擦拭和清洗。

不得使用难以挥发的溶剂或是腐蚀性溶剂进行清洗；2.定期对采取相应的方法进行烧结、雾化和涂覆等处理，同时，还应对加热元件进行检查、维护和更换；3.对设备进行经常性的检查，确保各个部件处于正常工作状态，并及时做好修缮和更改；4.严格执行单晶炉的操作规程，避免操作失误，对设备造成损害和人员身体损伤。

单晶生长炉单晶炉安全操作及保养规程

单晶生长炉单晶炉安全操作及保养规程1. 前言单晶生长炉是制造单晶金属、半导体、陶瓷等材料的重要设备。

但是，在使用单晶生长炉时，安全操作和保养非常重要，不仅可以保护设备，还可以保护操作人员的安全。

本文档旨在介绍单晶生长炉的安全操作和保养规程，以帮助操作人员正确使用设备并延长设备的使用寿命。

2. 安全操作规程2.1. 设备检查每次使用单晶生长炉前，必须进行设备检查，确保设备运转正常。

检查内容包括：•确认设备稳定，无明显的晃动或震动。

•检查加热元件和隔热材料是否完好。

•检查对流风扇是否良好运转。

•检查气路、电路是否正常通畅。

2.2. 环境要求在使用单晶生长炉时，必须保证以下环境要求：•使用场所必须具备良好的通风条件，保证室内空气流通。

•环境温度必须在0℃~40℃之间，湿度不超过80%。

2.3. 操作流程在操作单晶生长炉时，必须遵守以下操作流程：•打开电源开关，并插好温度测量仪表。

•打开并设置加热温度、生长速率、转动速度等参数。

•将生长棒安装于设备中，并依次加入各种化学物质。

•等待生长过程完成后，关闭设备，等待其自然冷却至室温。

2.4. 注意事项在操作单晶生长炉时，还需要注意以下事项：•操作人员必须穿戴好防静电衣、手套等防护用品。

•操作人员必须按照操作流程进行操作，不得随意更改参数。

•注意气路、电路、加热元件等部分的损坏和老化情况，及时更换。

3. 保养规程3.1. 日常保养单晶生长炉的日常保养工作包括：•定期清洗筒体内表面及加热元件的附属物。

•定期更换、清洗筒体内的隔热材料。

•定期检查、更换气路、电路等部分的老化或损坏的元器件。

3.2. 定期保养在单晶生长炉使用一定时间后，需要进行定期保养，以确保设备的正常运转和延长设备寿命。

定期保养的内容包括：•检查设备所有部分的紧固件是否松动和损坏。

•清洗、调整控制器，检查、维修或更换元器件。

•检查、维修或更换机械、电气与液压系统。

•清洗、更换或涂抹润滑油和其他消耗材料。

单晶炉单晶生长炉安全操作及保养规程

单晶炉单晶生长炉安全操作及保养规程前言为了保障实验室和操作人员的安全，本文将对单晶炉单晶生长炉的安全操作和保养规程进行详细阐述。

希望各位实验室人员能够认真遵守，保证实验室的安全。

操作前准备在操作单晶炉单晶生长炉之前，需要对实验室进行检查，确保实验室的电路、配电箱、安全电源等设备安全可靠。

同时，还需检查实验室内的其它电气设备是否正常，以及实验操作台、电源线、冷却水线等是否连接正常、安全可靠。

如果异常，应立即停止使用，并通知维修人员处理。

安全操作规程1. 操作前提示在开始操作之前，需要查看单晶炉单晶生长炉相关的操作手册，详细了解操作流程和注意事项。

同时，应对实验操作人员进行安全培训，让其了解设备的安全操作规程和操作流程。

在实验室内拉警戒线并贴上警告标志，提醒其他人员禁止靠近。

2. 操作时注意事项在操作单晶炉单晶生长炉时，应注意以下事项：•操作时需戴上安全手套、护目镜、口罩等安全用品，确保操作人员的人身安全。

•操作完毕后应将设备温度调降至合适的温度并关闭开关。

同时，还需关闭冷却水、电源等设备，确保实验操作台、电源线、冷却水线等处于安全状态。

•操作过程中需注意实验操作台和地面的干净整洁，例如防滑、避免水溅的措施。

3. 设备的保养为了确保单晶炉单晶生长炉的正常使用，在操作结束后，需要对设备进行清理和保养。

主要包括以下内容：•清理设备外表面的污渍，保持设备整体清洁干燥。

•对设备进行润滑并定期检查，保证设备机械部件的灵敏度和机械性能。

•定期对设备进行内部检查，并更换老化、磨损的零部件。

总结单晶炉单晶生长炉的使用对实验室的研究和开发具有重要意义，但其中也存在一定的安全隐患。

为了确保实验室和操作人员的安全，需要遵守相关的安全操作规程和保养制度，保证设备的安全可靠。

再次号召各位实验室人员对于安全工作的重视，共同打造一个安全、可靠、高效的实验室。

单晶炉系统规范说明共39页文档

13、遵守纪律的风气的培养，只有领导者本身在这方面以身作则才能收到成效。—— 马卡连柯 14、劳动者的组织性、纪律性、坚毅精神以及同全世界劳动者的团结一致，是取得最后胜利的保证。—— 列宁摘自名言网
15、机会是不守纪律的。——雨果
21、要知道对好事的称颂过于夸大，也会招来人们的反感轻蔑和嫉妒。——培根 22、业精于勤，荒于嬉；行成于思，毁于随。——韩愈
单晶炉系统规范说明
11、战争满足了，或曾经满足过人的好斗的本能，但它同时还满足了人对掠夺，破坏以及残酷的纪律和专制力的欲望。 ——查·埃利奥特 12、不应把纪律仅仅看成教育的手段。纪律是教育过程的结果，首先是学生集体表现在一切生活领域—— 生产、日常生活、学校、文化等领域中努力的结果。— —马卡连柯(名言网)
23、一切节省，Байду номын сангаас根到底都归结为时间的节省。——马克思 24、意志命运往往背道而驰，决心到最后会全部推倒。——莎士比亚
25、学习是劳动，是充满思想的劳动。——乌申斯基
谢谢！

硅单晶硅生长炉技术指标1

合同附件（一）DRF85硅单晶硅生长炉技术指标合同编号：第一章设备概要1－1【目的】本设备是用于生产太阳能电池级单晶硅的CZ型拉晶装置。

1－2【概要】在石英坩埚内填充多晶硅原料，在炉体内抽真空并加热至熔解多晶硅原料。

从旋转着的受到温度控制的熔液上方降下籽晶与旋转坩埚内的熔硅接触后，在温度的精确控制下，通过一边旋转一边向上提拉籽晶来制造单晶硅。

１－３【硅单晶生长炉制造装置的构造】１）主体●籽晶提升装置●上炉体●挡板阀（手动式）●主炉体●坩埚驱动机构●炉体升降机构●炉筒升降机构●真空配管系统●Ar气配管系统●冷却水用分流排●电器控制系统●单相UPS２）可据客户要求另配的项目●适用于20英寸坩埚的热场图纸●适用于18英寸坩埚的热场图纸1－4【手动・自动的定义】●手动：由人手使某程序或物体运转。

●自动：由系统对条件进行判定，使某程序或物体运转。

1－5【适用规格】设备的技术标准除满足以上要求外还须满足企业和行业的公认标准并且不低于制造厂商现有的制造标准，同时须满足正常的单晶生产需要。

第二章使用条件（本章的内容须客户解决或做到的事项）２－1【使用环境】1）环境温度：20±5℃；2）相对湿度：≤65%(须保证没有结露情况的发生)，杜绝腐蚀性气体；3）洁净度：一般环境；4）外界振源大于10 Hz时，振幅值应小于0.003 mm；5）设备安装场所：主机基础承载能力要求大于 10000 KG/m2，推荐屋顶高度 8500mm（能确保上部维修空间 500mm以上）8500mm =设备基础高度1100mm +设备最大高度6900mm +上部维修空间 500mm２－2【支持系统】1）电源：●交流输入：三相AC 380V 50Hz●电压变动范围：342V～418V●输入容量：200KVA2）冷却水（工业纯水）●水质：酸碱度 PH=6.0～8.0）＜150 PPM硬度（CaCO3导电率＜500μS/CM氯离子（Cl-）＜100PPM2-）＜200PPM硫酸根离子（SO4） 15～60PPM碳酸碱（CaCO3●流量： 250L/min～300L/min●水压： 1.2 kg/c㎡～1.5 kg/c㎡●进水温度：15～25℃3） Ar气流量●流量： MAX 200L/min●压力： 4.0 kg/c㎡以上，并带可调减压阀4）压缩空气●压力： 7.0 kg/c㎡●气管直径：10mm5）主真空泵能力●到达真空度： 6.7X10-2 Pa●排气能力： 4200L/min●口径： 80mm6）辅助真空泵能力●到达真空度：6.7X10-2 Pa●排气能力： 900 L/min●口径： KF25第三章设备主要技术参数3－1【产品规格】1）硅单晶直径：8”或6”2）硅单晶全长：2,000mm以下(Neck-Crown-Body-Tail) 3－2【设备真空度】硅单晶的拉制环境：2.7 KPa以下空的冷炉极限真空度：3 Pa以下允许漏泄量：1Pa/10min 以下3－3【设备的重量与外形尺寸】●重量：炉主体：约2500kg机架：约1500kg控制柜：约200kg电源柜：约1500kg泵组：约900kg●外形尺寸：2130×1280×6900mm（详见外形图，另行提供）3－4【具体单元情况】1）籽晶驱动机构(吊线式)●部件概要由籽晶绳、拉晶用吊线的线辊和驱动其整体转动的轴构成。

单晶炉的操作规程

单晶炉的操作规程单晶炉的操作规程之相关制度和职责,利用区熔单晶炉进行以下操作:1.清炉、装炉;2.抽空、充气、预热;3.化料、引晶;4.生长细颈;5.扩肩及氮气的充入;6.转肩、保持及夹持器释放;7.收尾、停炉清炉、装...利用区熔单晶炉进行以下操作:1.清炉、装炉;2.抽空、充气、预热;3.化料、引晶;4.生长细颈;5.扩肩及氮气的充入;6. 转肩、保持及夹持器释放;7.收尾、停炉清炉、装炉:(1)清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴,调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处,然后将其安装到上轴末端,进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上,然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门,拧紧各紧固螺栓;(2)抽空、充气,预热:打开真空泵及抽气管道阀门,对炉室进行抽真空,真空度达到所要求值时,关闭抽气管道阀门及真空泵,向炉膛内快速充入氩气;当充气压力达到相对压力1bar-6bar时,停止快速充气,改用慢速充气,同时打开排气阀门进行流氩;充气完毕后,对多晶硅棒料进行预热,预热使用石墨预热环,使用电流档,预热设定点25-40%,预热时间为10-20分钟;(3)化料、引晶:预热结束后,进行化料,化料时转入电压档,发生器设定点在40-60%;多晶料熔化后,将籽晶与熔硅进行熔接,熔接后对熔区进行整形,引晶;(4)生长细颈:引晶结束后,进行细颈的生长,细颈的直径在2-6mm,长度在30-60mm;(5)扩肩及氮气的充入:细颈生长结束后,进行扩肩,缓慢减少下速至3±2mm/min,同时随着扩肩直径的增大不断减少下转至8±4rpm,另外还要缓慢减小上转至1±0.5rpm;为了防止高压电离,在氩气保护气氛中充入一定比例的氮气,氮气的掺入比例相对于氩气的0.01%-5%;(6)转肩、保持及夹持器释放:在扩肩直径与单晶保持直径相差3-20mm时,扩肩的速度要放慢一些,进行转肩,直至达到所需直径,单晶保持,等径保持直径在75mm-220mm,单晶生长速度1mm/分-5mm/分,在扩肩过程中,当单晶的肩部单晶夹持器的销子的距离小于2mm时释放夹持器,将单晶夹住;(7)收尾、停炉:当单晶拉至尾部,开始进行收尾,收尾到单晶的直径达到Φ10-80mm,将熔区拉开,这时使下轴继续向下运动,上轴改向上运动,同时功率保持在40±10%,对晶体进行缓慢降温。

单晶炉操作注意事项

单晶炉操作注意事项单晶炉操作注意事项⼀、装料准备/⽅法/原则1．安全及准备：1.1 ⼩⼼防⽌锐利的多晶划伤⼿制或其它部位。

1.2 禁⽌在炉内温度很⾼的情况下开始装料。

1.3 认真检查上炉单晶拉制及设备运⾏状况以及⽔、电、⽓是否符合开炉条件。

装料前应检查：项⽬开炉标准、⽔压：不低于0.15MPa，不⾼于0.3 MPa氩⽓压⼒:0.1~0.2MPa 热检：<0.6Pa/5min炉⼦极限真空度:<6Pa/40min机械运⾏正常各种电器仪表显⽰及运⾏情况正常1.4 严格禁⽌不检查热场系统，不擦炉装料。

应检查：加热器已使⽤炉数加热器化料电压(是否偏⾼)加热器是否打⽕，电流电压⽆摆动⽯墨坩埚已使⽤炉数、⽯墨坩埚⽆裂缝、磨损，与⽯英坩埚缝隙是否过⼤⽯墨坩埚外壁⽆较厚挂有硅晶层⽯墨电极板⽆打⽕迹象⽯墨电极板与加热器、不锈钢电极连接⽆松动⽯墨电极板⽆裂纹、损伤⽯墨托杆旋转时⽆松动、摇摆、损伤1.5 禁⽌不检查⽯英坩埚就放⼊炉内.对于⽯英坩埚应做如下⽬检:⽯英坩埚⽆触痕(暗伤)/裂纹/划伤/变形/厚薄不均⽯英坩埚没有附着物/喷溅物/指纹/斑点⽯英坩埚内表⾯⽆粘污膜/变⾊⽯英坩埚内表⾯⽆失透点/⼤⽓泡>3mm/⽓泡群>3个/cm2⽯英坩埚上⼝是否⽆明显的切磨加⼯缺陷与指令单上的型号⼀致1.6核对运⾏号/⽬标电阻率/装料量/掺杂量等保持⼀致1.7 检查籽晶型号/完整性⼀致/完整2.操作⼈员装炉时，班长应在现场监督和指导。

并遵循⼀下三原则：2.1 装料时必须轻拿轻放，体现⼀个“轻”。

2.2 带上⽆尘⼿套后除拿料外不能接触其它物品,体现⼀个“洁”。

2.3 料放置要稳妥、均匀.禁⽌反复多次摆放，体现⼀个“稳”。

3.装料前.埚位应上升到较⾼的位置,3.1 禁⽌低埚位装料3.2 禁⽌旋转坩埚3.3 禁⽌不带⼝罩喧哗/触摸⽯英坩埚内壁3.4 禁⽌向⽯英坩埚内倾倒多晶硅/⾚⼿抓取多晶4. 根据料块的形状和⼤⼩，可按⼀下原则放料：4.1装料前，把要装的料全部观察⼀遍，掏出⼤块料，若有回熔料，与回熔料放在⼀起进⾏破碎后⽅能装料。

单晶炉操作规程及技术规范

第二章单晶炉操作规程及技术规范1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。

2、适用范围适用于华盛天龙新、老80、85型单晶炉的操作。

3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料投炉→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→降功率→取肩测电阻→掺母合金→引晶、缩细颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。

b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。

c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。

d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。

e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢盆和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。

f. 用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。

B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却3.5小时（80型单晶炉）、3.5小时（85型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门.主、副室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。

4.5小时后取单晶棒。

b. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录。

若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。

c. 检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。

C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后，旋松副室小门4个螺丝，打开氩气阀门充氩气至常压，关闭氩气，旋开副室小门4个螺丝，打开副室小门。

单晶炉安全操作规范.docx

单晶炉安全操作规范1、开机安全检查单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠；1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）；2）欧陆表输出设定为0；3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象；4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常；2、装炉时安全事项在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；3、抽真空安全事项1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态；2）按真空泵操作规程正确操作；3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项1）按工艺操作规程进行正确操作；2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作；3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作；5、加热器加热过程安全事项在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。

1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器；2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行；3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，严禁强行升温；4）如遇上述故障，应及时报修，由专职维修人员进行维修，严禁拉晶操作人员擅自修理；6、单晶炉的维修维护安全事项1）单晶炉在维修过程中，必须在显眼位置处悬挂维修警示牌；2）严禁拉晶操作工擅自拆装大型机械部件，以免造成人身伤害；设备专职维修人员在拆装上述部件时，也必须采取相应的安全措施；3）严禁拉晶操作工拆装220V及以上的电器、线路，必须由专职维修人员进行维修，专职维修人员维修时，必须穿电工鞋进行操作，以免造成电击危险。