超高真空团簇束流淀积系统

超高真空团簇束流淀积系统( Ultra-High Vacuum Cluster Beam System UHV-CBS)
注意事项：
1.本系统在超高真空环境下工作≤10-5 Pa，注意保持良好的密封，避免油污微尘等杂物进入沉积腔，影响真空度。

2.真空系统由机械泵前级泵和分子泵后级泵构成，分子泵的工作条件在≤10Pa，故启动时要注意，先开分子泵。

3. 在密封法兰时，注意用均匀拧紧螺母，以免压坏铜圈，造成漏气。

4.安装靶材是注意靶材与外罩之间短路。

5. 检查水冷机的水位是否在安全线以上，机械泵的泵油是否充足。

简易操作流程：
1．打开¢ 200的法兰，拆除靶材的外屏蔽罩，跟换需要沉积的靶材。

2. 放入靶材并安装外罩，安装时用厚度为0.5mm 的测量刀片，测试外罩与靶材之间的缝隙，通过调节底部的螺母，使缝隙适中，并密封¢ 200的法兰
3. 安装溅射电源线，到靶材的底托的外接口。

4. 安装衬底到沉积腔的样品架上，并用十字螺丝刀锁紧。

5. 在沉积前对系统的外观做一个整体的观察，看有无明显的异常。

6. 关闭气镇，代开总电源，key。

启动器械泵，启动水冷机(启动前观察水位是否在安全线以上)，打开后¢ 25后角阀。

7.启动机械泵，打开真空计，待示数≤10Pa时打开三个分子泵。

8．启动电离规，待示数≤5×10-5Pa时，通入氩气，打开流量计，通入少量的氩气清洗管道，清洗完之后关上后面的¢ 25后角阀。