扩晶作业标准

割胶纸
发热盘下降; 7. 拉开锁扣，上掀开上气缸，取出扩好之晶片环 8. 用剪刀将子母环周围多余之扩晶薄膜剪去
核 准
审 核
制 定
制定单位
研发部
版 本
1.0
套子环
2. 拉开锁扣， 将上气缸上掀， 将子环套于扩晶机之发热盘上， (子 环光滑面朝上)
3．子母环 4．薄膜 5．剪刀
放晶片
3. 将翻好之晶片（晶片面朝上）放在发热盘上;并把上气缸归位， 拉上锁扣；
套母环
4. 将左开关往上打至扩张位置，将垫盘升起，把母环扣上（光滑 面朝上）
取晶片
5. 按下右边的下压开关，上气缸下压，将母环与子环扣紧; 6. 放开右边的下压开关，并将左开关打至下降位置，上气缸上升，
LAMP 生 产 作 业 标 准
页 次 1/1 发行日期： 发行日期： 2005-6-15 注 意 事 项 及 品 质 要 求
1. 晶片应该在上,晶片不能放反;
物料名称及其图面
1． 扩晶机 2． 晶片
1. 打开电源，将温度设定至 60℃，具体请参照《扩晶机机器操作 2. 晶片之正确位置应该在发热盘中间; 说明》 3. 扩晶时,应先放子环,再放母环; 4. 小心作业,以免薄膜破裂. 5. 扩晶温度控制在 60±5℃之间. 6. 用刀片割多余薄膜时,手不能碰及晶片,并在扩好之晶 环上,无晶片之部分,用笔标明晶片型号及其规格数量.
老师批改作业扩句扩晶机高处作业分级标准标准化作业冷水作业分级标准低温作业分级标准作业标准作业指导书标准格式登高作业的准登高作业标准
宁波安迪光电科技有限公司 宁波安迪光电科技有限公司
工站名称： 工站名称：扩晶
文件编号: 文件编号: ET001 流程图 調模 开机作业 产品型号： 产品型号：LAMP 系列 作 业 步 骤