LCD制程异物分析精品PPT课件

* 裝置驅動的地方就是產生異物的地方。
齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子…等，會摩擦的地方 為發塵源。 * 關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有 細小的異物付著。 * 人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛…等異物會產生。
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異物對策
有哪些種類的異物存在?
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異物對策
異物對策必要的工作有那些？
*管理監督者必須對塵埃有深入的理解。
*人員必須有塵埃的意識。
*人員必須有塵埃的知識。
*人員必須有對於塵埃的實際操作技能。
*必須有對於塵埃的工作團隊體制。
知不知道？
*必須對塵埃管理。
要做什麼？
知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。
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異物對策
以什麼樣的方式實施教育？
* TFT是畫面的生命, 其中若有異物附著,會遮住於畫 面,造成不良。
* ASSY製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT) 內部 , 會遮住顯示畫面, 看不見部份即為不良。
* 異物是最大的敵人 , 建造工廠必須花費很多經費 , 因此設備也是異物小間的關係
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異物對策
現在的異物環境達多少分?
目標100分
*Array 製程 90分
機器手臂引起的灰塵 , 設備的清潔
*Panel 製程 70分
機器手臂, 仕掛品 , 材料 , 作業面積
* Module製程 30分
通箱 , 拖盤 , 材料 , 清掃 , 5S
* 品保
30分 室內環境 , 5S , 室內面積
* 資材中心 30分 室內面積 , 開梱 , 搬入出方法 ,
*塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用 支出的目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設 備和維護管理都必須用掉很大費用。
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異物對策
連目的都不知道的人
*廠內人員對塵埃不能理解。 *不能理解生產與塵埃間的關係。 *裝置必須在何種狀態? *室內環境該如何? *材料該如何? *要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多數的人不能
*關於D計劃 D：日﹝day﹞ 每天五分鐘，自作業場所一公尺內周邊實施清掃。 *關於W計劃 W：週﹝week﹞ 週末的三十分鐘，將高架地板上面全部清掃。 *關於M計劃 M：月﹝month﹞ 每月一次花費8小時的時間，從高架地板下面從頭 到尾的仔細清掃。
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異物對策
在什麼地方會產生異物
它它項項110 *從人的衣服上 從衣服發出灰塵。 從內衣褲、外衣、襪子等產生。 *從皮膚上、體毛等 從手的皮膚上發出灰塵，及臉上皮膚脫落。 化妝品也會在一天之中掉落，頭髮體毛等的脫落。 *活動時 人行動時產生風，因而將異物捲起向上擴散。 人打噴嚏也會引起。
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異物對策
異物如何產生
有摩擦的地方、部份…等，全部會發塵
* 金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物 產生。
* 加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因 摩擦而產生異物。
* 材料的角邊和材質會產生異物。
在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材 質會因剝落而產生異物。
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異物對策
實際上從哪裡產生的?
*材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物 品。
*設備及工具也會從測定器發塵。 *室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手
機，Air Shower等的異物意識。
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異物對策
所有異物的影響
*特殊的產業
就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活 動,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工 廠。但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體 相關的行業為代表。
*必須和5S緊密的接合 作業場所雜亂會是什麼東西造成的？或是處於易發 生錯誤的狀態下。
*在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員，對於 異物較能察覺。
*同一製品在大量生產時，要保持美觀、整齊，就是 要先做好異物的管理。 每個人份內的清掃工作做好的話，那是製造完美產 品的捷徑。
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異物對策
知道DWM計劃嗎？
＊Array無塵室(全室)管理等級訂定100。 Panel管理等級訂定100~10000。
＊Module 部份的管理等級訂定10000~100000。
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異物對策
異物從何處進入?
＊與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進 無塵室。
＊與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。 ＊從設備和工具，保修部品等帶進。 ＊從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。 ＊從器具備品、棚架和台車帶進。
*知識 關於異物三原則及其具體的內容和異物。 *意識 品質的關係和製造損失等。 *實技 實際上如何做？ *清掃道具 什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？ *管理方法 在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？ *管理者的意識 推動塵埃關係的整合。
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異物對策
人的意識可以改變品質度
意識和
知識
*異物對品質 左右品質的一個原因為異物，突然使製品 機能變化造成不良。
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異物對策
用清掃的方法清掃效果的改變
清掃的方法改變了成效 *清掃的方法決定成效 雖然稱做清掃，但若只將吸塵器啟動實施 清潔那麼成效並不彰顯。 *清掃地點的順序 從高的地方到低的地方，上風處至下風處。 *清掃上使用工具的順序 先用吸塵器再擦拭，擦拭時以單方向進行 往復式清潔易造成擦拭後仍有污染附著。
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異物對策
無塵室內的發塵源
不注意下列項目物品就會發塵、散亂
理解即是問題。
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異物對策
所謂異物三原則
不良的半數為異物
*影響TFT或晶圓的良率，歸究原因為異物所引起 的佔大多數。
*在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形 ， 在傳送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損 害。
*異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法看見。 異物成為引發各種損害的原因。
提昇良率的第一步即為對異物的管理
* 材料關係
材料材質的發塵，加工時的發塵。
* 梱包關係
梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。
* 人體
皮膚、手垢、體毛、動作。
* 建築關係
外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。
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異物對策
半導體製造是和異物的戰鬥
* 半導體是高精密度的圖案製成的 , 因此 , 圖案上若 有東西附著或橫跨 , 會造成斷線及短路不良。
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異物對策
垃圾及異物與國民性
氣象條件與國民性 *日本人是極為愛好清潔的。 即使在住家也區別室內、室外鞋。 四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離 內外部的生活方式。 *可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。 並且，維持良好的環境。 *被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的 生活方式，正好可輕易達成嚴實的生產條件。
上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室 中。
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異物對策
異物如何進入
* 付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。
* 人員攜入 鞋子和無塵服和食物、手提袋…等，會帶入污染物 。
* 從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙…等，建築物的 不良部份侵入。
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異物對策
在哪一種地方會產生異物
它它項項190 *門 在門故障時，異物容易在間隙中積存。 在門的橫條縫中，異物容易在這裡積存。
*從Air Shower 從門的空隙進入無塵室。 吹出口周圍及標示牌的膠帶脫落後，都容易積存。
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異物對策
在哪一種地方會產生異物
它它項項1100 *機械手臂 在貨物裝載的地方容易積存。 裝卸部的驅動部分容易堆積。 從機械手臂的導輪部發塵。
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異物對策
攜入物品時的注意點
＊去除異物場所的確認
開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所 關連。
直接在地板上做開梱等動作時，會使異物附著在攜入 物品上。
＊搬入路線和中途的置放場所
一定要經過 Air shower再進入無塵室。 置放的場所不可靠近地板，要考慮如何對策異物的附 著。
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異物對策
* TFT的面積比現在的晶圓大。 晶圓尺寸是 25~30 公分。
* TFT 是大畫面 , 即使有 1 個規定以上的異物附 著於畫面上 , 都會引起畫面不良 , 因此比晶圓 廠更嚴格的塵度管理是有必要的。
* 現實上常因不良異物造成不良率達 40 ~ 50 %, 要說明如何對策異物是困難的 , 但若能克服異 物 , 即能期待高品質 , 高良率的產出。
一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境 所發生的異物是各式各樣
* 塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。
* 金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。
* 紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文 具。
*人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。
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異物對策 * 裝置類
異物從哪裡產生?
金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體 的摩擦。
*機械手臂路徑 從導輪屑、導軌Tape的摩耗部發塵。
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異物對策
物品攜入無塵室應如何作？
＊環境的確認 在無塵室入口徹底的清除異物是非常重 要的。 Air shower能適時將異物吹落嗎？ 要從吹的高度及吹的時間等來觀察？ ＊雙層梱包的陷井 物品在雙層包裝中不會受污染，因此問題在於要在無塵 室開梱及是在何處梱包？ 若不檢討開梱場所的話，所攜入的物品就會散布異物。
異物成為何種不良
1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。
2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。
3)模組工程 電氣特性不良。 B／L異物不良。畫面不良的原因。
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異物對策
異物是何種尺寸的東西
＊在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。 ＊以m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。
攜入物品時異物的去除
＊去除異物的方法和場所？ 利用Ａir Shower 走道。 用酒精等擦拭。
＊防止異物附著的對策 將物品保管在無塵罩內。 利用密閉容器。
請確認己經將異物除去了嗎？
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異物對策
無塵室內的發塵源
不注意下列項目物品就會發塵、散亂
材料的開梱場所 ＊開梱場所選定了嗎？ ＊開梱場所和生產場所有否分開？ ＊開梱場所地板的地上已舖上墊子嗎？ ＊包裝材的瓦楞紙是在外面做開梱嗎？ ＊開梱前的場所與開梱後的場所是分開的嗎？
肉眼在外觀可視異物為不良原因
* Array方面 4µm以下。 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。
* Panel方面 4 µm以下 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。
* Module方面 B/L異物是以250 µm以下做為良品判定基準 , 且以 畫面上之障礙物之大小為主。
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異物對策
異物是TFT之良品率的關鍵
異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認 的0.01 m之物質皆有。 現在的半導體業已經從64M 0.28 m更進一步到 256M 0.2 m的Pattern配線，必需要求同程度以下 的異物對策。 人的頭髮直徑大約在50~70 m
TFT的配線大約在6 m的程度
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異物對策
工廠的異物管理
＊依Array、Panel、Module之不同，對異 物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。
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異物對策
要提高品質就要清掃
清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。 異物決定了品質，影響利益，所以防止異物 的對策可謂關鍵。 根據異物三原則，貫徹的作法是必要的， 建立這些(以下等等)平常能實施的體制。
*有效的清掃方法。 *有效的清潔工具。 *有效的清掃頻度。 *制定不需清掃的環境。 *有效清掃特定時間。
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異物對策
所謂異物三原則
*不攜入 不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室 室的東西須全數實施異物對策。
*不使發展 不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、 設備及異物發塵。
* 去除到不殘留 要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意 想不到的地方之發塵去除並建立發塵對策。
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異物對策
清掃達到品質基準
半導體關連產業 沒有異物的環境，可作為品質製造上的基準。
異物對策
異物不良
＊左右ADI製造TFT機能的良率。 原因之一為異物。
＊因此，針對工廠全體之所有異物施以對策， 進而達到製品品質穩定之目的。
＊使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器 具備品類、文具類、消耗品和其他。
＊若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的
投資額與維持費用。
所有異物對策之目的
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異物對策
清掃
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異物對策
異物環境至少需多少分?
* 因成本的關係最少需 90 分。 本來 , 在工廠建設,設計階段時 , 檢討出塵 埃管理標準來維持管理規定。
* 造成工廠污染 , 或低於設計以下的 , 是人所造成 要教導相關知識 , 及維持 無塵室 清潔 ,若無法推 動 即會造成污染。
* 制訂定期實施的適當維持體制 , 管理者的指導也 是很重要的。