单晶硅项目环评报告书
新建年产mw单晶硅太阳能电池项目环境影响报告书
新建年产m w单晶硅太阳能电池项目环境影响报告书Corporation standardization office #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8新建年产300MW单晶硅太阳能电池项目环境影响报告书（简本）建设单位：英利能源（中国）有限公司评价单位：北京京诚嘉宇环境科技有限公司二○一○年七月目录1总论1.1项目背景及由来太阳能光伏发电是目前成熟的可再生能源技术，具有诸多优点，如安全可靠、无噪音、无污染、能量随处可得、不受地域限制、无需消耗燃料、无机械转动部件、设备故障率低、维护简便、可无人看护、建站周期短、规模大小随意、无需架设输电线路、可以方便的与建筑物相结合等，以上优点都是常规发电和其它发电方式所不能及的。
我国太阳能电池和组件的产量在2002年以前长期徘徊在全球产量的1%左右，但是自2004年以来，在国际光伏市场尤其是德国、日本市场的强大需求拉动下，我国光伏产业发展迅速，成为世界光伏产业发展最快的国家之一，为世界瞩目。
2006年我国在光伏领域的产能达到世界份额的10%以上，仅次于日本、欧洲，居世界第三位。
估计到2010年，我国的光伏发电产品产量将突破1000MW，成为世界最大的太阳能电池生产国。
在光伏市场的应用方面，2002～2004年，国家组织实施了“送电到乡”工程，中央和地方财政共安排了47亿资金，在内蒙古、青海、新疆、四川、西藏和陕西等12个省（市、区）的1065个乡镇，建设了一批独立的光伏、风光互补、小水电等可再生能源电站，其中光伏电站占大部分，应用了万KW的光伏电池，促进了国内光伏产业的兴起。
到2006年，全国累计光伏发电容量为8万KW，其中42%为独立光伏发电系统，用于解决电网覆盖不到的偏远地区居民用电量问题，此外，通信等工业领域和光伏消费品的市场份额也在逐年增长。
英利能源（中国）有限公司（以下简称“英利中国”）是英利绿色能源国际控股有限公司（以下简称“英利国际”）在中国河北省保定市国家高新技术产业开发区投资成立的外商独资企业，注册资本12000万美元。
新增年产5GW单晶组件项目环评报告公示
《建设项目环境影响报告表》编制说明《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。
1、项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。
2、建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。
3、行业类别——按国标填写。
4、总投资——指项目投资总额。
5、主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。
6、结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。
同时提出减少环境影响的其他建议。
7、预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。
8、审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。
一、建设项目基本情况项目名称新增年产5GW单晶组件项目建设单位滁州隆基乐叶光伏科技有限公司法人代表钟宝申联系人赵耀通讯地址安徽省滁州市淮安路19号联系电话199****2121传真——邮政编码230000建设地点滁州经济技术开发区长江路以北、滁州大道以东、湖州路以西立项审批部门滁州经开区发展改革委项目编码2019-341160-41-03-016160建设性质新建行业类别及代码C3825光伏设备及元器件制造建筑面积（平方米）230000绿化面积（平方米）/总投资（万元）350000其中：环保投资（万元）350环保投资占总投资比例0.1%评价经费（万元）/投产日期2020.2工程内容及规模：1、项目的由来新增年产5GW单晶组件项目由隆基乐叶光伏科技有限公司全资子公司滁州隆基乐叶光伏科技有限公司（以下简称“滁州乐叶”）投资350000万元兴建。
公司拟租用滁州市经济技术开发区管委会位于长江路以北、滁州大道以东、湖州路以西（包括4座厂房和配套设施）（项目投资协议见附件2），计划购置18条单晶硅组装生产线及相关配套设施，建成后新增年产5GW（约85971万片）单晶组件的生产能力。
单晶硅
（3）噪声
该项目主要噪声源为制水装置、循环水泵、
单晶炉和切片机等设备运行噪声，噪声源强在
70~75dB之间。具体噪声级见表5-2。
表5-2 主要生产设备情况
序号
设备名称
噪声级(dB)
1
制水装置
70
2
循环水泵
75
3
单晶炉
70
4
线切机
75
5
滚磨设备
75
（4）固废 该项目固废主要为酸洗过程中产生的废酸液， 制去离子水过程中产生的废活性炭、单晶炉产生 的炉渣，另外还有职工的生活垃圾和残次品。各 类固废产生量及处置情况见表5-3。
6
硅片弯曲平正 测试仪
1台
7 超声波清洗机 4台
已有项
8
目
线切机
1台
吸尘装置
1台
氩气系统
1套
柴油发电机组 1台
滚磨设备
1套
二、建设项目所在地自然环境社会环境简况
三、环境质量状况
四、评价适用标准
五、建设项目工程分析
1、生产工艺分析 单晶硅生产工艺流程及产污环节如图5-1所 示。
图5-1 单晶硅生产工艺流程及产污环节图
/
0.50t/a
/
波清 排
洗废 放 水浓
/
6~9
/
70mg/L
/
度
排 放 2500 m3/a / 量
/
0.175t/a
/
产
生ห้องสมุดไป่ตู้浓
/
度
/
/ 2000mg/L /
产
生 2500 m3/a /
/
5 t/a
/
滚磨 量
废水 排
单晶硅片项目清洁生产审核报告
单晶硅片项目清洁生产审核报告一、项目概述单晶硅片项目是我国新能源产业的重要组成部分，随着国家对新能源产业的重视和支持力度的加大，单晶硅片项目得到了快速发展。
然而，在单晶硅片的生产过程中，也存在着一定的环境污染问题。
为了实现清洁生产，提高单晶硅片生产过程中的环境质量，本项目进行了清洁生产审核。
二、审核目标本项目的审核目标是实现单晶硅片生产的清洁生产，具体目标包括：1.减少生产过程中的废弃物排放，降低对环境的影响。
2.提高资源利用效率，减少能源消耗。
3.提升产品质量和稳定性，满足客户需求。
4.降低生产成本，提高企业竞争力。
三、审核内容本项目的审核内容包括：1.原材料采购、储存和运输环节的环保措施。
2.生产过程中的废弃物产生和排放情况。
3.能源利用效率和水资源利用情况。
4.产品检测和质量控制环节的环境影响。
5.员工健康和安全方面的环境影响。
四、审核结果通过审核，我们发现本项目在以下几个方面存在环境问题：1.原材料采购环节中，部分原材料的采购过程缺乏环保控制，存在一定的环境污染风险。
2.生产过程中，废弃物产生量较大，部分废弃物未得到妥善处理和处置。
3.能源利用效率和水资源利用方面存在一定的问题，能源消耗和用水量较大。
4.产品检测和质量控制环节的环境影响较小，但仍有改进空间。
5.员工健康和安全方面的环境影响较小，但仍需加强管理和培训。
针对以上问题，我们提出了以下改进措施：1.加强原材料采购环节的环保控制，选择环保合规的供应商，采用环保材料进行生产。
2.对生产过程中的废弃物进行分类处理和处置，减少废弃物的产生量。
3.采用先进的生产技术和设备，提高能源利用效率和用水效率。
4.对产品检测和质量控制环节进行优化，采用更加环保和高效的方法和设备。
5.加强员工健康和安全方面的管理和培训，降低环境对员工健康和安全的影响。
五、结论和建议通过本次清洁生产审核，我们发现本项目在环境保护方面存在一定的问题，需要采取措施进行改进。
单晶硅、多晶硅太阳能电池组件制造环评报告_概述说明
单晶硅、多晶硅太阳能电池组件制造环评报告概述说明1. 引言1.1 概述太阳能电池组件作为可再生能源的重要部分，正在逐渐成为解决能源危机和环境污染问题的关键技术之一。
在太阳能电池组件的制造过程中，单晶硅和多晶硅是两种常见的材料选择。
本报告旨在对单晶硅和多晶硅太阳能电池组件制造过程进行环境影响评价，并探究不同环评指标的选择与考量。
1.2 文章结构本文主要包括引言、单晶硅太阳能电池组件制造环评报告、多晶硅太阳能电池组件制造环评报告以及结论四个部分。
首先，在引言部分，我们将简要概述本文的目的和文章结构，为读者提供整体了解。
1.3 目的本报告的目的是通过比较单晶硅和多晶硅两种太阳能电池组件材料的制造过程，评估其对环境产生的潜在影响。
通过对两种材料制造过程中消耗资源、产生废弃物、排放有害物质等方面进行定量分析，并综合考虑社会经济因素，我们将探讨环评指标的选择与考量。
在单晶硅太阳能电池组件制造环评报告部分，我们将详细介绍单晶硅太阳能电池组件的制造过程，并重点阐述环境影响评价的重要性。
进一步，我们将深入探讨环评指标的选择和考量，以便完整地展示这一制造过程对环境可能产生的潜在影响。
同时，在多晶硅太阳能电池组件制造环评报告部分，我们将详细了解多晶硅太阳能电池组件的制造过程，并强调环境影响评价对其必要性和作用。
此外，由于多晶硅与单晶硅存在差异性，在环评指标关注点上也有所不同，在本部分中我们将进行深入研究。
最后，在结论部分，我们将总结现有制约因素及改进方向，并进行单晶硅和多晶硅材料的比较分析摘要。
此外，我们还将展望未来发展趋势并提出相关建议。
通过本报告的撰写和研究内容的整理，旨在加深对于单晶硅和多晶硅太阳能电池组件制造过程中环境影响评价的理解，并为相关领域的决策提供参考。
2. 单晶硅太阳能电池组件制造环评报告2.1 单晶硅太阳能电池组件的制造过程单晶硅太阳能电池组件的制造过程主要涉及以下几个步骤：原料准备、硅材料熔炼、单晶体生长、切割与抛光、铝排片和背面接触等工艺。
单晶硅拉棒建设项目环境影响报告书
单晶硅拉棒建设项目环境影响报告书
内容可以参考下面提供的重要内容：
摘要
本报告介绍了单晶硅拉棒项目的环境影响。
该项目位于XX市XX县，
其区域环境质量标准与国家环境保护法律法规保持一致。
项目建设后可能
会对当地环境造成一定的影响，但可以采取一定的措施来减少或消除这种
影响。
一、项目概况
1.1技术、设计及建造规模
该项目建设的单晶硅拉棒由多台机械设备、电器及其他技术设备构成。
可以达到每年生产100吨单晶硅拉棒的建造要求。
1.2技术流程
1.3工艺设备
二、环境影响
2.1空气污染
项目建设期间，拆除、搬运、喷涂等作业可能会对空气产生一定的影响。
其中，建筑施工时可能会释放挥发性有机化合物（VOCs）和灰尘等，
其它机械设备也可能产生有害气体如CO、NOx等。
熔棒熔化时可能产生少
量的粉尘和气体污染物。
2.2噪声污染。
万吨高纯晶硅项目环评报告书(一)
万吨高纯晶硅项目环评报告书(一)万吨高纯晶硅项目环评报告书是一个重要的环保文献，它详细地描述了该项目对环境的影响，分析了影响的原因，提出了相应的解决方法。
以下是对该报告书的简要分析和评价。
一：报告书的总体结构合理，内容完备、条理分明。
报告书中包含了项目简介、环境影响评价、环境风险防范措施等部分。
每个部分的内容都安排得比较清晰，结构也相对独立。
良好的组织结构使得人们可以很方便地浏览整个文档，了解项目的各个细节。
二：该报告书的环评部分具备较高的详尽度和严谨性。
在报告书中，对项目的影响评估以及环保措施的考虑都有详细的描述和分析。
报告书的环评部分注重了整个项目的影响分析，尤其是对潜在风险和可能产生的污染物和废弃物进行了较为深入的探讨，充分提醒了施工和运营方面可能会面对的风险，有利于环保工作的开展。
三：总体而言，该报告书还存在一些需要改善的方面。
比如，在对环保措施的考虑中，仅仅涉及了基本的技术措施、管理措施、监测措施等方面，如果能够深入探讨从长期利益出发提供的针对性更强的措施，就更有利于避免环境污染等可能发生的问题。
此外，在项目运营阶段可能对环境造成的影响分析上，该报告书也不够深入，需要在调查研究等方面做出深入的改善。
结论：综合来看，该环评报告书在针对高纯晶硅项目影响分析和防范措施的部分，所采取的技术手段和管理措施方案还是比较合理的。
但是在从长期出发的角度，建议在相应的措施规划上，做出深入的、针对性更强的改善。
同时，在环境影响分析上，也建议改进调查研究、污染物控制预计、影响预测等方面，全面贯彻环保工作，确保项目顺利开展，同时也保证环境及生态的完整和安全。
单晶硅片项目清洁生产审核报告
硅片项目清洁生产审核报告一、项目背景及目的单晶硅片是太阳能光伏产业中的重要组成部分，其生产过程中存在着一些环境污染问题。
为了促进清洁生产，本次审核旨在对某单晶硅片项目进行评估。
本报告将对该项目的清洁生产措施进行分析和评估。
二、清洁生产措施1. 原材料使用该项目使用的原材料主要包括硅石、石英砂等。
在审核过程中，我们注意到该项目已经采取了节能减排的措施，通过改善原材料质量和生产工艺，减少了能耗和废弃物产生量。
2. 能源使用该项目在能源使用方面也进行了改进。
引入了先进的高效燃烧设备，提高了能源利用率。
通过优化生产路径，减少了能耗。
在项目实施后，能源消耗量显著降低，对环境造成的影响也得到了有效控制。
3. 废水处理废水治理是该项目的重点之一。
通过安装先进的废水处理设备和完善的污水处理工艺，该项目有效地控制了废水排放，实现了废水循环利用，降低了对环境的污染风险。
4. 废气治理该项目的废气排放控制得到了较好的实施。
针对废气中的有害物质，该项目采用了高效过滤装置，将废气中的颗粒物、辛酸、氮氧化物等有害物质进行捕捉和处理，确保废气排放符合相关环境排放标准。
5. 废弃物处理废弃物处理是该项目的一个重要问题。
通过改进生产工艺，降低了废弃物产生量，并采用了合理的处理方式，将大部分废弃物进行了回收和再利用，最大程度地降低了对环境的影响。
三、评估结果及建议通过本次审核，我们认为该单晶硅片项目在清洁生产方面取得了显著成果。
项目实施后，能源消耗和废弃物产生量明显减少，废水和废气排放得到了有效处理，废弃物得到了合理的处置。
我们也发现该项目在相关设备更新和技术改进方面仍有进一步的空间。
为了进一步推进清洁生产，我们提出以下建议：1. 加强设备更新。
引入更先进、更节能的设备和技术，进一步提高能源利用效率和处理效果。
2. 优化生产工艺。
通过进一步改善生产流程，减少不必要的能耗和废弃物产生。
3. 加强监测与数据管理。
建立完善的监测系统，及时掌握各项清洁生产指标的数据，并进行系统的管理和分析。
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(此文档为word格式，下载后您可任意编辑修改！)银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目环境影响报告书（简本）银笛（扬州）微电子有限公司2006年9月目录1总论11.1任务由来11.2评价目的11.3编制依据21.4评价原则41.5评价重点51.6评价因子51.7评价等级51.8评价范围61.9评价工作技术路线7 2建设项目周围地区环境概况82.1自然环境概况82.2社会环境状况132.3经济开发区总体规划132.4开发区环境功能区划182.5评价标准182.6建设项目环境保护目标20 3工程分析223.1本项目概况223.2生产工艺流程及原辅料能源消耗273.3主要生产、公用及贮运设备353.4公用工程353.5污染源分析37 4污染防治措施504.1大气污染防治措施评述504.2水污染防治措施评述524.3噪声污染防治措施评述564.4固体（废液）污染防治措施评述564.5非正常排放防范措施574.6绿化574.7排污口规范化设置594.8环保投资及“三同时”59 5清洁生产与循环经济分析625.1产业政策相符性分析625.2清洁生产625.3循环经济64 6环境质量现状评价656.1大气环境质量现状监测与评价656.2地表水环境质量现状监测及评价67 7环境影响预测及评价727.1大气环境影响预测及评价727.2地表水环境影响分析857.3声环境影响分析857.4固废环境影响分析87 8施工期环境影响分析与防治888.1施工期环境影响分析888.2施工期环境影响防治89 9总量控制分析929.1总量控制要求929.2总量控制原则929.3总量控制因子929.4总量控制指标929.5总量平衡方案93 10环境风险评价9410.1风险评价等级的确定9410.2风险识别9510.3源项分析9610.4事故防范9710.5结论101 11项目厂址可行性分析10211.1项目选址与规划相容性10211.2项目选址与评价区域的环境质量现状的相容性分析10211.3本项目实施后对周围环境的影响103 12公众参与10412.1建设项目环评公众参与公示10412.2公众意见问卷调查104 13环境经济损益分析10913.1经济效益分析10913.2社会效益分析10913.3环境效益分析109 14环境管理与监控计划11114.1环境管理11114.2环境监控计划11214.3排污口规范化设置11315结论与建议11515.1结论11515.2建议1191总论1.1任务由来新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司，经过多年的攻关，攻克了功率场控器件用高阻厚外延和亚微米、深亚微米CMOS器件薄层外延制造技术，该成果得到了国家相关部委及高科技产品认定中心的认定。
新加坡银笛科技（控股）私人股份有限公司已在上海金桥出口加工区投资建设了外延片的生产基地，由于现目前国内半导体材料市场严重供不应求，为了满足国内外半导体市场的需求，决定在江苏省仪征经济开发区投资设立银笛（扬州）微电子有限公司，年产300万硅抛光片、60万硅外延片，主要生产4~12英寸的硅抛光片以及6~8英寸的硅外延片。
本项目的建设有利于加速集成电路芯片主要材料的国产化进程。
按照《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理条例》的有关规定，应当在工程项目可行性研究阶段对该项目进行环境影响评价。
为此，银笛（扬州）微电子有限公司于2006年8月委托苏州工业园区新东方环境保护科学研究所承担该项目环境影响报告书的编制工作。
我单位接受委托后，即认真研究该项目的有关资料，并踏勘现场的社会、自然环境状况，调查、收集有关工程现有状况及拟建项目资料，通过对项目所在区域的环境特征和本项目的工程特征进行深入分析，编写了环境影响报告书。
通过环境影响评价，了解建设项目周围的环境状况，预测建成后对周围水气声环境的影响程度和范围，并提出防治污染措施，减缓建设项目对周围环境的影响，为建成后的环境管理提供科学依据。
2主要环境保护目标表2-1环境保护目标3本项目概况(a)本项目名称、建设地点、建设性质、投资总额、环保投资项目名称：银笛（扬州）微电子有限公司年产300万单晶硅抛光片、60万硅外延片项目建设地点：江苏省仪征经济开发区新区建设性质：外商投资新建投资总额：新建项目投资总额8000万美元，其中环保投资576万元(b)本项目建设内容银笛（扬州）微电子有限公司向仪征市高新技术开发区提出生产、办公用房及生产设施的建设要求，仪征市经济开发区按要求建造厂房及相应的设施，然后租赁给银笛(扬州)微电子有限公司使用。
租用厂房面积约48680㎡，包括外延片生产厂房、抛光片生产厂房、综合动力站、化学品库、办公楼、门卫等。
设施主要包括供水系统、循环冷却水系统、纯水系统、变配电系统、应急电源、通信信息及生命安全系统、空调净化系统、压缩空气系统、制冷及供热系统、环保设施（废水处理站、废气处理设施）、消防设施、劳动保护安全设施以及室外工程等。
项目主体工程与设计能力情况见表3-1，公用及辅助工程的组成见表3-2。
表3-1 项目主体工程与设计能力(c)占地面积、厂区布置占地面积：本项目总占地面积133334m2，所占土地为仪征经济开发区新区高新技术产业用地。
厂区布置：厂区包括生产用房、办公楼、辅助生活设施、甲类化学品仓库、仓库、成品仓库、气体供应站、综合动力站及发展预留用地等(d)职工人数、工作制度职工人数：公司职工总人数220人，其中技术人员160人。
工作制度：预计年工作日355天，每天工作24小时，年工作时数为8520小时。
3.2生产工艺流程及原辅料能源消耗(a)生产工艺流程一、单晶硅抛光片制作生产工艺流程具体介绍如下：固定：将单晶硅棒固定在加工台上。
切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。
此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。
退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层。
倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形，防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。
此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣。
分档检测：为保证硅片的规格和质量，对其进行检测。
此处会产生废品。
研磨：用磨片剂除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。
此过程产生废磨片剂。
清洗：通过有机溶剂的溶解作用，结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质。
此工序产生有机废气和废有机溶剂。
RCA清洗：通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物质和金属离子。
具体工艺流程如下：SPM清洗：用H2SO4溶液和H2O2溶液按比例配成SPM溶液，SPM溶液具有很强的氧化能力，可将金属氧化后溶于清洗液，并将有机污染物氧化成CO2和H2O。
用SPM清洗硅片可去除硅片表面的有机污物和部分金属。
此工序会产生硫酸雾和废硫酸。
DHF清洗：用一定浓度的氢氟酸去除硅片表面的自然氧化膜，而附着在自然氧化膜上的金属也被溶解到清洗液中，同时DHF抑制了氧化膜的形成。
此过程产生氟化氢和废氢氟酸。
APM清洗：A PM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液组成，硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜（约6nm呈亲水性），该氧化膜又被NH4OH腐蚀，腐蚀后立即又发生氧化，氧化和腐蚀反复进行，因此附着在硅片表面的颗粒和金属也随腐蚀层而落入清洗液内。
此处产生氨气和废氨水。
HPM清洗：由HCl溶液和H2O2溶液按一定比例组成的HPM，用于去除硅表面的钠、铁、镁和锌等金属污染物。
此工序产生氯化氢和废盐酸。
DHF清洗：去除上一道工序在硅表面产生的氧化膜。
磨片检测：检测经过研磨、RCA 清洗后的硅片的质量，不符合要求的则从新进行研磨和RCA 清洗。
腐蚀A/B ：经切片及研磨等机械加工后，晶片表面受加工应力而形成的损伤层，通常采用化学腐蚀去除。
腐蚀A 是酸性腐蚀，用混酸溶液去除损伤层，产生氟化氢、NO X 和废混酸；腐蚀B 是碱性腐蚀，用氢氧化钠溶液去除损伤层，产生废碱液。
本项目一部分硅片采用腐蚀A ，一部分采用腐蚀B 。
分档监测：对硅片进行损伤检测，存在损伤的硅片重新进行腐蚀。
粗抛光：使用一次研磨剂去除损伤层，一般去除量在10~20um 。
此处产生粗抛废液。
精抛光：使用精磨剂改善硅片表面的微粗糙程度，一般去除量1 um 以下，从而的到高平坦度硅片。
产生精抛废液。
检测：检查硅片是否符合要求，如不符合则从新进行抛光或RCA 清洗。
检测：查看硅片表面是否清洁，表面如不清洁则从新刷洗，直至清洁。
包装：将单晶硅抛光片进行包装。
二、硅外延片制作生产工艺流程具体介绍如下：纯水洗：简单清洗，去除硅衬底材料表面的表面杂质。
外延生长：外延炉经氯化氢和氮气吹扫清洗后，通入SiHCl 3和H 2，为了满足硅片的电学性能，还要掺入50ppm 的特种气体PH 3或B 2H 6，红外加热至1100~1200℃下，通过化学气相沉积法在硅衬底材料上生长一层与衬底材料具有相同晶格排列的单晶硅，形成单晶硅外延片。
有99% 的SiHCl 3、PH 3、B 2H 6参加反应。
此工序产生的废气主要是氯化氢，还有一些没有反应的PH 3、B 2H 6和SiHCl 3；外延炉的石墨基座和石英夹套需要定期更换，产生废石英和废石墨。
具体反应如下：↑+↓−−−→−+3HCl S i H S iHCl 1200~110023℃↑+↓−−−→−21200~110033H 2P 2PH ℃↑+↓−−−→−21200~1100623H 2B H B ℃SPM 清洗：去除硅片表面的杂质。
此处产生硫酸雾和废硫酸。
碱洗：去除上一道工序在硅片表面形成的氧化膜。
测试检验：测量外延层厚度和电特性参数、片内厚度和电特性均匀度、片与片间的重复性及杂质颗粒等是否符合相应的指标。
此处会产生一些废品。
真空包装：通过工艺真空系统对产品进行真空包装。
外延炉石英管清洗：在外延生长中会在外延炉的石英管上沉积一些杂质。
(b)主要原辅料及能源消耗主要原辅料、能源消耗见表3-3。
3.3主要生产、公用及贮运设备项目主要的生产、公用、贮运设备见表3-5。
3.4公用工程(a)供电项目用电由开发区110KV的变电所提供，日用电量约153600kwh。
(b)供水项目供水由开发区的给水管网提供，开发区内建有日供水能力20万吨的自来水厂二座。
(c)供热为了满足生产工艺中对热源的需要以及解决冬天的采暖问题，本项目采用蒸汽供热，年消耗的蒸汽10万吨有开发区的供热管网提供。
(d)纯水制备项目设有一套超纯水制备设施，其制备能力为110t/h，根据生产需要每天制备纯水2099.8t/d，产生的浓水和反冲洗水642t/d作为清下水排放，其超纯水制备工艺流程如下：(e)排水项目采用雨污分流、清污分流的排水体制。