sem检测是什么
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如果不是专业人事对于什么是SEM检测应该比较陌生,SEM检测是Scanning Electron Microscope的简称,翻译过来就是电镜扫描检测。
下面我们就一起来了解一下这方面的知识。
1、电镜扫描检测的概念
扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜的优点是,有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简单。
目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
二、实验技术原理
扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。
在末级透镜上方扫描线圈的作用下,使电子束在试样表面做光栅扫描(行扫+帧扫)。
入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X射线等各种信息。
这些信息的
二维强度分布随试样表面的特征而变(这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等等),将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号,再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度,就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图像。
如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号,就可以由计算机做进一步的处理和存储。
三、实验操作流程
1、取材
2、固定
3、漂洗
4、脱水
5、置换
6、干燥
7、镀膜
8、扫描电镜观察,拍片
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