ZDF-IV复合真空计使用说明书

该说明书使用符号说明：
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2、 技 术 参 数
2.1 电阻单元技术参数:
·规 管 型号:Z J - 5 2 T电 阻规
由 于 该 电阻计 设 计采用 干 燥空气(或 氮 气)校准 而 得出的 工 作曲 线。因此在真空环境下，相对空气（或氮气）的其它气体曲线及 修 正系 数 和等效 氮 压力公 式 如下：(仅 供 参考)
显示真空
等效真空
气 体 修 正 系 数K 气体
修 正 系 数K
P e ff (等 效 真 空) = K×P (显 示 真 空)
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1×10 ～1×10 Pa不大 于±20%
·规管去气方式：轰击去气。
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·有 效控制 范 围： 5×1 0 ～5×1 0 P a
2.3 其它参数
·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一 对常闭和一对常开。
·控 制负载 ：A C 220V/1A（DC2 8 V / 5 A） 无感 负 载。 ·工 作电源 ：A C 220V±1 0%/50HZ。 ·功 率：最 大 功率约60W。 · 工 作 环 境 温 度 ：0～4 5 0C。 ·工 作相对 湿 度＜85%。 ·外形尺寸及重量参见附录。
2.2 电离单元技术参数:
· 测 量 范 围:1×1 0 -1～1×1 0 -8P a
·规 管型号: ZJ-12热阴 极 电离规
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·规 管灵敏 度 ：0. 0 7 5 ± 1 5 % P a 。

·规 管加速 极( 栅 极) 对地电位 ：200V±3%
·规 管阴极(灯 丝)中 心点对 地 电位：5 0V±5%。
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6 . 2电 离 规 性 能 概 述 ：
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6、 规 管 性 能 概 述 ：
该 复 合 真 空 计 采 用Z J - 5 2 T电 阻 规 和Z J - 1 2热 阴 极 电 离 规 。
6 . 1电 阻 规 性 能 概 述 ：
ZJ-52T电阻 规 (又 称皮 拉 尼规) 采用 经过特 殊 的稳 定 化处理 工艺，以热容量极小的金属丝作为真空敏感元件，并内置了环 境温度补偿回路和管口防粉尘等装置。具有量程宽、性能稳定、 响应快、抗污染、耐氧化、漂移小、寿命长等特性。
+
e
内 压 力(真空 )。
3.3 复合真空计由电阻规管、电离规管和电子学电路
组成。
电阻单元电路完成电阻规热丝定温功率调节，以及随真空度 变 化 的测量 桥 路电压 信 号的采 样 ，放大 ， 经模 数A /D转换 为数字 信号。
电离单元电路一部份提供电离规管所需的工作电压以及发射 电流的稳定；另一部份完成离子流的检测、放大。经模数 A/D 转换为数字信号。
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7、规管外形及安装………………………………… 1 0
8、真空计与规管连线……………………………… 1 2
9、真空计开机及显示说明………………………… 1 3
10、 真空 计使 用方 法 … … …… …… …… … … … …
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10.1、电阻单元使用方法 …………………………… 1 3 10.2、电离单元使用方法 …………………………… 1 5 11、真空计去气……………………………………… 1 6 *12、控制功能及设定方法…………………………… 1 7
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其工作原理功能图如下：
模数转换 调理电路 测量桥路 电阻规管
(A/D)
按键输入 交流AC 电源
显示器
微处理器
控制输出 模拟量输出 计算机口输出
外控信号
离子流放大 稳发射回路
规管灯丝 电离规管 加速集
直流高压
模数转换
收集极
(A/D)
真空计电路工作原理框图 4、 性 能 概 述 ：
本复合真空计采用经过特殊的稳定化处理工艺，以热容量极 小的金属丝作为真空敏感元件的电阻规，从而更大程度地降低零 点、满度的漂移。
下，对通过电流的电离管灯丝“加热” ， 使其发射电子，故称热
阴 极 电离规 ;同 时给电 离 规加速 极 施加直 流 高压 ， 使电子 在 规管
电极间产生的电场中被加速，去轰击气体分子使其电离，电离产
生的正离子被收集极接收。
离 子流 与 气体压 力p的 关系：
I+=KIeP
k为规管灵敏度，I 为离子流，I 为发射电流，p为真空系统
以微处理器为核心的数字电路，一方面完成电阻单元真空数 字 信 号非线 性 处理、 运 算，最 后 送显示 器 显示；一 方面完 成 电离 单元数字信号采样、运算，并送显示器显示；同时完成离子流放 大量程和发射电流转换的自动切换。另一方面接受前面板各按健 指令或后板外控信号指令并发出相应执行指令；同时输出真空控 制信号以及真空度模拟信号和计算机通讯信号等。
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V成 真
ZH AC
微机型数显复合真空计
使用说明书
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V成 真
ZH AC
成都正华电子仪器有限公司
CHENGDU ZHENGHUA ELECTRONIC INSTRUMENT CO.,LTD.
地 址:成 都 市 双 林 路2 2号 电 话: 028 - 84 3 139 6 4 84310256 8 4313309 传 真: 028 - 84 3 261 3 6 邮 编: 610 0 66 E-mail:zhvacuum@
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2、技术 参数 …… …… …… ……… …… … … … … …
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3、工作 原理 …… …… …… ……… …… … … … … …
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4、性能 概述 …… …… …… ……… …… … … … … …
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5、使用 概述 …… …… …… ……… …… … … … … …
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6、规管 性能 概述 …… …… ……… …… … … … … …
满度修正小孔 零点修正小孔 设定 按键 设定 按键
设定 下限指示灯 设定 上限指示灯 设定 下限指示灯 设定 上限指示灯
1
2
3
4
5A
电源插口
电源保险 电离规 保险 电离规管插口 收集极插口 电阻规管插口
设定 输出端 设定 输出端 设定 输出端 设定 输出端
Z D F -Ⅳ 后 面 板
Z D F -Ⅳ 前 面 板
采 用国 际 通用流 行 的2U标 准机 箱 以及PV C彩 色薄 膜 面板 ， 使 真空计外型更为美观、时尚。
5、 使 用 概 述
真 空计 为 一路电 阻 测量和 一 路电离 测量,组合为 复 合真 空 计。 这种复合的电阻单元用于真空系统粗、低真空的测量与控制。 这种复合的电离单元用于高、超高真空测量与控制。 由于电阻单元与电离单元无重叠测量区域，则电离单元应手 动开启电离规灯丝，使其进入真空测量。 为满足真空设备真空度的自动测量，该复合真空计电离单元 的 电离规 可 通过外 控 端口PLC信 号 等 “开启 ”和“ 关 闭”电离规 以 实现 与 真 空 系 统 联 动 ， 确 保 在 适 宜 的 真 空 度“开 启”和“关 闭”电 离 规 ， 避 免了在低真空时使点亮的电离规灯丝氧化，以延长规管寿命。 可通过前面板完成控制点的设定。 可通过前面板零点（真空），满度（大气压）修正小孔，修 正电阻单元零点（真空）和满度（大气压）值。 可通过面板完成去气功能等操作。
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4 34 3
电源开关
发射电流指示灯 真空显示指示灯 关闭电离按键 开启电离按键 去气按键
设定 继电器指示灯 设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 去气指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
满度修正小孔 零点修正小孔
设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 设定 继电器指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
适 用 于 粗 、 低 真 空 测 量 ， 即 大 气 压 1 . 0×1 0 5P a 至 -1
1.0×1 0 P a测 量。 -7-
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33 44
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电源开关
电离开启指示灯 电离开启按键 去气指示灯 去气按键
设定 按键 设定 按键
设定 下限指示灯 设定 上限指示灯 设定 下限指示灯 设定 上限指示灯
采用全进口的微处理和数字接口芯片以及模拟与数字分离技 术，光电隔离技术，数字滤波等新技术，确保了真空计具有强大 的抗干扰能力。
采用优化的全自动切换技术，确保真空计自动量程切换平稳 和可靠。
采用超量程自动关闭电离规灯丝技术，确保因真空糸统突然 曝露大气而不损坏电离规。
采 用了 外 控 PLC信 号 、R S232/RS48 5信 号， 开 启/关闭电 离 规 最新功能，使得实现真空糸统的自动化成为可能。
采用特别的定温式工作模式，使其电阻单元具有更宽广的测 量范围和更快的响应时间。
采用高稳定、高性能直流高压稳压及稳发射电路，以确保电 离规各参数稳定运行。
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采用独特的真空度离子流采样放大电路和保护回路，确保从 收 集极回 路 串入的 瞬 变电压( TVS)强力 衰 减，使 得 真空 度 测量更 加稳定和可靠。
应配置有效
1、 安 全 说 明
为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳 定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应 用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全 规范。
·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。 ·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。 ·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承 受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规 各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。 ·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该 真空计及其附件的保证条款也将无效。