真空计说明书

DL-10型真空计说明书

一、 概述

DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽，精度较高。该真空计由规管与控制单元组成，控制单元的数码管显示压强值。

二、 技术要求

1、测量范围：10-105Pa

2、电源：交流220V,50Hz

3、功率：7W

4、几箱尺寸：200×90×160mm（宽×高×深）

三、 原理

DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管，管径为15.5mm，可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电

路如图1所示：

图1 谐振阻抗测量电路

谐振阻抗Z=

V AB

V AB 为晶振两端电压 I 为流过晶振的电流

电流I 流过与晶振串联的电阻R ，在电阻两端的电压为V BD ∴ I =

V BD

Z=BD

AB V V R

V AB 近似等于AC 两端电压V 0,V BD 近似等于DC 两端电压V 1，由测量的V 0，V 1值及电阻值，可以计算出阻抗。单片机将阻抗转换成压强，由数码管显示压强值。 四、 DL-10真空计的安装

DL-10真空计的安装如图2所示：

控制单元

图2 DL-10 的安装

石英晶振及振荡电路放在探头内，引线电缆通过5芯插头插入控制单元后面板的插座内，探头Φ15.5直径的管道插入真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座，另一端插入电源插座。电源插座应含接地线，使控制单元机箱接地。打开电源开关，控

制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值为3.2×102

Pa 。 五、 校准

当环境温度变化时，应对DL-10进行校准，校准方法如下：

1、 大气校准：在规管压强为大气时，用改锥按压控制单元前面板大气孔内的按键，松

开后即可。

2、 零点调节：在规管压强小于1×10-2Pa 时，用改锥按压控制单元前面板零点孔内的

按键，松开后即可。

如果真空系统达不到1×10-2Pa ，不可按压零点按键。如果不慎在大于1×10-2Pa 高压强时按动零点按键或DL-10指示明显出错，可打开机箱上盖板，按动在机箱内出厂设置按键一次即可。

型号测量范围参考价格(元) 备注

DL-0 1—100Pa 900 含规管

DL-2 10-5—10-1Pa 1500 含规管

DL-4 100—100KPa 1500 含规管

DL-5 10-4—10Pa 2700 不含规管DL-6 1—100KPa 1500 含规管

DL-7 6*10-8—10-1Pa 2900 不含规管

不含规管DL-9 10-5—1Pa 2700

DL-10 10—100KPa 1500 含规管

DL-40 1—100Pa 100—100KPa 2400 含规管

DL-70复合 6*10-8—10-1Pa 1—100Pa3300 不含规管

DL-90复合 10-5—1Pa 1—100Pa 3100 不含规管

DL系列裸规560/只

真空选配200/项真空设置、打印等