真空计说明书
真空计PSG500说明书
注意
注意: 真空元件
污垢和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损
管
坏的措施.
克
克
克
克
克
克
克
长管
克
长管
克
(毫巴)
压强范围低于 1 毫巴的校准因数
压强读值
气体类型 校准因素 C
气体类型
校准因素 C
空气,
水蒸气 氟里昂 12
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件将增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, Ni, NiFe
W Ni
1
INFICON 控制器满足这些要求.
内部容积
管
允许压强 允许温度
工作温度 真空连接
灯丝 贮存
相对湿度 使用 安装方向 保护类型 尺寸
重量
测量讯号与压强的关系
压强 p［毫巴］
长管 长管
巴(绝对) 10,限于惰性气体
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
规管可任何方向安装. 为防止来自测量室的 凝聚物和微粒, 最好选择水平向上的位置,使 用带有对中环和过滤件的密封结构.如规管 安装后需要调整, 确保安装后可通过针尖操 作按键控制 (→”调整真空计”).
ZDF-IV复合真空计使用说明书
注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身 的伤害和对该真空计的损坏。
表示重要的附加信息和技巧或建议。
正华公司保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需 事先通知，产品及配件以实物为准。
-1-
2、 技 术 参 数
2.1 电阻单元技术参数:
·规 管 型号:Z J - 5 2 T电 阻规
由 于 该 电阻计 设 计采用 干 燥空气(或 氮 气)校准 而 得出的 工 作曲 线。因此在真空环境下，相对空气（或氮气）的其它气体曲线及 修 正系 数 和等效 氮 压力公 式 如下：(仅 供 参考)
显示真空
等效真空
气 体 修 正 系 数K 气体
修 正 系 数K
P e ff (等 效 真 空) = K×P (显 示 真 空)
-6
-8
1×10 ～1×10 Pa不大 于±20%
·规管去气方式：轰击去气。
-2
-8
·有 效控制 范 围： 5×1 0 ～5×1 0 P a
2.3 其它参数
·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一 对常闭和一对常开。
·控 制负载 ：A C 220V/1A（DC2 8 V / 5 A） 无感 负 载。 ·工 作电源 ：A C 220V±1 0%/50HZ。 ·功 率：最 大 功率约60W。 · 工 作 环 境 温 度 ：0～4 5 0C。 ·工 作相对 湿 度＜85%。 ·外形尺寸及重量参见附录。
2.2 电离单元技术参数:
· 测 量 范 围:1×1 0 -1～1×1 0 -8P a
·规 管型号: ZJ-12热阴 极 电离规
-1
·规 管灵敏 度 ：0. 0 7 5 ± 1 5 % P a 。
U型压力真空计说明书2
U型压力真空计说明书2第一篇：U型压力真空计说明书2一、概述：U型压力真空计（以下简称真空计）是测量粗真空压力的理想仪表，它结构小巧美观、重量轻、安装操作方便，其特点是精度高、响应快、测幅度广、稳定可靠、零部件采用不锈钢制品，有较高的耐腐蚀性，这些都是其它压力真空计无法比拟的。
本真空计的应用面很广，可用于冶金、化工、石油、轻工、医药、科学实验以及中央空调主机溴化锂制冷机组等，所以它是深受用户欢迎的理想仪表。
二、主要技术指标：测量范围0-100mmHg 误差±25%精度等级1.0级单位换算 1mmHg=133.322Pa1KPa=1000Pa三、工作环境条件：环境温度：-5--35℃相对湿度：≤85%外形尺寸：270mm×90mm×38mm四、工作原理：该真空计是一种液体压力计，它的基本原理是利用流体静力平衡原理，利用液体高度并有直接进行压力测量的仪表。
真空计玻璃管二端必须平衡，玻璃管内径均匀一致，一边玻璃管顶端封闭，并始终保持一定的真空度。
管内装有工作介质---高纯度水银，真空计的铜接头与被测设备相连接，设备内的压力由真空泵排气后，看真空计玻璃管内的水银柱端面高度差对照刻度板，直接读出绝对压力（*两端读数相加之和即为真空度）。
五、安装使用说明：将真空计垂直安装在设备上，用户可购￠5mm-￠8mm紫铜管与真空计上端的铜管焊接，另一端与真空阀门焊接，焊接时请注意以下事项：1、温度不要过高，以防止铜接头变形，影响密封性能。
2、铜管必须清洗，有条件可用(乙醚)，不能用油类清洗。
3、焊接质量保证，必须焊二层，绝对不能漏气。
4、“O”型圈拆卸要小心，安装时注意平均。
抽真空时必须关紧真空阀门，等真空泵运转后才慢慢打开真空阀门，以防一下子抽气，把真空中的水银抽出不能使用，停机时同样先关真空阀门，以防大气压强烈进入真空计玻璃管内而击碎玻璃管。
真空计玻璃管后面装有铝质刻度板，刻度板中间有二个调整“0”位的螺丝钉出厂时已调整好，用户不必再调整。
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前，至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
tinb14c1 (2009-07)
19
4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式：
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力，应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
13
3.2 电源连接
危险
危险： 线电压 确保产品已经安全接地，否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中，不能使 用无保护接地的延伸电缆。
电阻真空计使用说明书
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为下点控制模式，其动作类型如下图所示：
区域控制：
继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区域控制模式，其动作类型如下图所示：
关闭模式：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。
（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。
（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：
（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。
（1）、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：
1 Byte
2 Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CR LF
MODBUS-RTU格式
主机发送：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
2Bytes
YYZ-200便携式数显真空计说明书
YYZ-200便携式数显热偶真空计使用说明书一概述YYZ-200热偶真空仪，是新型的真空测量仪，它采用计算机技术对真空测量数据进行非线性处理，提高了测量精度，增加了显示的稳定性，是先进的真空测量仪。
广泛应用于航天、机械、石油、化工、低温液体贮运设备、冶金、电子及医疗等领域。
产品符合JB/T6873-2005。
二工作原理根据低压强下气体分子热传导特性，当热偶规管热丝的加热电流恒定时，热丝的温度将随管内的压强而变化，当压强降低时，气体分子的热传导运动减弱，热丝的温度升高；反之，热丝的温度减小，热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化，只要测量规管的热电势值，与之对应的系统压强就确定了。
规管输出的热电势经计算机非线性处理后送数码管显示。
三热偶规管* ZJ-51（M007）型热偶规管的技术指标1 量程：66.5Pa～ 0.1 Pa2 真空度误差：± 15 %3 加热电流：90～130 mA* ZJ-54(ZJ-53)型热偶规管的技术指标1 量程：300Pa～ 0.1 Pa2 真空度误差：± 15 %3 加热电流：27.5±1.5 mA四仪器的技术指标1 测量范围：500Pa～0.1Pa（0～100格）2 加热电流范围：20 mA～130 mA有效误差范围：68Pa～0.1Pa（ZJ-51）300Pa～0.1 Pa（ZJ-54）3 加热电流误差：± 0.5 %4 真空度极限误差：± 20 %5 显示位数：四位数码LED6 工作电源：DC 8V锂电池，AC 220/50Hz7 功率：2 VA ；8 重量：0.3 kg 9 外型尺寸：100×82×32 mm3五功能菜单功能键:“ SET ”表示，测量转换。
加键：“▲”表示，调节加热电流增加。
减键：“▼”表示，调节加热电流减小。
本机可显示真空度或规管的加热电流。
面板上“SET ”键，用于“真空-丝流”测量转换。
kvc 450 真空计 说明
kvc 450 真空计说明真空测量是气体或液体在压力差作用下，经过气体或液体的物理状态改变，达到对空气和液体分离以减少气体压力损失的一种测量方法。
使用真空计时，可在设备上放置一台或多台设备，用仪器上的测量针检测各机器上的刻度线，通过仪器上的测量针来测量气体状态。
真空计由真空泵和分压传感器组成。
真空泵输出的压力与气体密度成正比关系，因此，真空计测得的真空度是气体密度（与排气口上的压力成正比）乘以测量点的倒数。
在整个操作中，测量针和被测气体保持垂直关系。
•1、真空计在日常使用中应经常检查真空计的工作状况，如发现不正常，必须及时更换。
若真空计测量点附近的气体密度高于其排气口的压力，则说明真空计存在故障，必须及时处理和修理。
真空计在实际测量时有其不同的工作状态选择：在一个测量点上使用最小的真空泵测量，以降低该测试点的测量精度，然后进行测量、分析和校准；在多个测量点上使用最小最大的真空泵测量：该方法也称为最小化法；在不同的气体密度下使用最小化法。
此外，对于使用最小化法测量的测试点，通常采用下列技术:(1)用来确定测点是否是一个极限状态;(2)用来确定所检测气体的压力和流量;(3)用来确定所测的气体是否存在混合物现象;(4)从第一个未知点测量是否为原始点；用来确定该仪器是否有不适当的使用限制条件（例如压力、温度或流量等）。
(5)用来处理真空计测量点附近出现的问题:(1)不能完全避免可能导致压力损失超过其允许值;(2)真空计有故障时必须立即更换新的设备。
真空计在测量前可从两个方向进行检查：首先需要测量设备中所测量得到的真空度。
如果该设备不能自动或几乎自动地进行操作以排除故障原因，则应采取适当措施防止故障对设备造成损坏。
•2、若已损坏真空计可按以下方法进行处理：a.更换新轴承，将传感器更换为新轴承；b.用清洁剂或洗涤剂清洗真空计表面；c.用新的硅胶密封圈和传感器密封圈替换；d.在测量过程中，注意保持仪表清洁干燥。
真空计说明书
ZDR—II—LED微机型数显电阻真空计使用说明书OPERATION.INSTRUCTION一、简介ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。
它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。
本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。
二、适用范围ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。
三、技术指标1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）5、放大器满度误差：≤4％±1个字6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%7、功耗：约30W8、使用环境温度：0～45℃9、空气相对湿度：＜85%10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm11、重量：3KG四、工作原理电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。
电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。
由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。
其工作原理框图如下五、使用方法：1、将玻璃电阻规或金属电阻规开封与系统妥善密封连接，将仪器电缆线与规管连接。
2、接通仪器电源，数秒后显示“规1”测量值（左边），“规2”真空测量值（右边）。
真空度显示前两位为系数，第三位是底数10，用数字符号E来表示，最后位为指数。
如显示2.8E2时，其真空度P=2.8*102Pa=280Pa3、零点、满度校准由于电阻规制造时材料、工艺、装配等方面的因素，不同电阻规的性能有差异。
电阻真空计使用说明书
INSTRUCTIONS
QQ419129686
简介
HRG-52电阻真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现不同热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器。它具有测量准确、使用方便、响应迅速、性能稳定等特点，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
一、仪器概述
HRG-52电阻真空计（又名皮拉尼真空计）以ZJ-52T电阻规为测量探头，采用新型的32位微处理器和双闭环动态自补偿电路，以Pirani传感器为数学模型，对国产规管的非线性进行实时动态修正，解决了国产电阻规个体差异性大、随温度波动明显等问题，有效减少了测量误差。仪器具有漂移小、稳定度高、反应速度快和抗干扰能力强等优点，是低真空测量与控制的首选仪器。
2、单位切换
本产品设有Pa、mbar、Torr三种单位供用户进行选择，在设定完成后，仪器将永久保存。
（1）按“Set”键进入主菜单，界面出现“1 unit”和“2 outs”两个功能菜单，通过“▲”和“▼”键选择“1 unit”，按“OK”键进入该菜单。
（2）按“▲”和“▼”键选择所要切换的单位，选定后按“OK”键完成设置并返回主菜单。再次按“Set”键回到工作界面。
MODBUS-RTU协议的数据帧格式为：
-
1 Byte
1Byte
1Byte
1Byte
……
1Byte
2Bytes
-
起始
从机地址
功能码
数据1
数据2
……
数据n
校验码Biblioteka 结束其中：起始—— 3.5个字符的静止时间，即保持3.5个字符时间无信号
从机地址—— 真空计站号，初始值为01H
功能码—— 数据帧的功能
微机型数显复合真空计使用说明书
目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)电阻2单元使用方法 (13)电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。
2、技术参数电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值Ω±Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）×105～×103可测范围。
×103～×10-1不大于显示值的±30%×10-1～×10-1可测范围。
真空计说明书(中)
！
！ ！
警告
警告
警告
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警告
警告
警告
注意
注意
注意
注意
注意
！ ！
注意 注意
II
！ ！ ！
注意
注意
注意
确保空气流通 切勿将本传感器放入密封容器内。请将本传感器安装在通风处。置于密封环境 内会导致电源内部的电子零件温度升高，致使使用寿命缩短｡ 使用环境 暴露在卤素、卤素类气体等化学性比较活跃的气体内时，会出现灯丝等断线， 压力特性发生变化等问题。在这种情况下使用，应在本传感器和真空容器之间设 置截止阀，尽量避免暴露在这些气体中｡ 使用环境 油旋片泵的油雾、CVD(Chemical Vapor Deposition原料气体等暴露在所附着的 气体中时，可能导致灯丝断线，压力特性发生变化等。在这种情况下使用时，应 在本传感器和真空容器间设置截止阀，尽量避免暴露在这些气体中，并在阀门紧 闭情况下使用｡ 接线确认 与各插针连接的电缆线，避免与其他插针、外壳接触。另外，请注意不要弄错 插针排列顺序。若连接错误，可能导致本传感器及与本传感器连接的机器破损或 引起火灾｡ 铺设电缆线时的注意点 装置内铺设通信用线时，避免与电力线、动力线、高压线、高频率线等靠近或 平行。否则可能导致错误动作发生｡ 远程HOST 电脑、PLC（可编程逻辑控制器）等远程HOST，请选择耐噪音能力较强的隔离 绝缘类产品。否则可能导致错误动作的发生或故障的产生｡ 撞击 本传感器应避免撞击。撞击可能导致灯丝断线及安装部位破损｡ 运输包装 运输本传感器时，请将其恢复到出厂时状态。否则可能损坏本传感器。 不进行包装或装在装置上不进行拆卸直接运输的话，可能导致本传感器破损｡ 保养 本传感器内部的电路使用了铝电解电容。一般情况下，环境温度越高铝电解电 容的寿命就越短。为了防止机器破损，最好3年1次委托本公司保养｡ 报废 废弃本传感器时，请按照各有关规定、条例进行处理。 尤其是可能对人体构成危险的环境下使用的规管，应委托专业的外协单位负责 处理。 关于废弃本传感器所发生的费用，请用户自行承担｡
皮拉尼标准真空计PSG500_中文说明书
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误 差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
要求.
注意
注意: 真空元件
YYZ-500复合式真空计说明书
YYZ-500便携式复合真空计使用说明书一. 概述YYZ-500复合真空仪，是新型的真空测量仪，它针对国内热电偶真空测量的实际情况，将国产热偶传感器和美国Hastings公司的热堆传感器的仪表组合成一个仪表，通过面板按键切换传感器测量的种类，测量数据则采用计算机技术进行优化处理，提升了产品功能性、实用性和方便性，可应用于航天、机械、石油、化工、冶金、电子及医疗、低温液体贮运设备等领域的各类真空测量。
产品符合JB/T6873-2005。
二. 工作原理1．ZJ-51热偶规管根据低压强下气体分子热传导特性，当热偶规管热丝的加热电流恒定时，热丝的温度将随管内的压强而变化，当压强降低时，气体分子的热传导运动减弱，热丝的温度升高；反之，热丝的温度减小，热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化，只要测量规管的热电势值，与之对应的系统压强就确定了。
规管输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
2. DV-6R热堆传感器美国Hastings公司DV-6系列真空测量传感器是用贵金属材料制作的热电偶真空传感器（附图）。
用低电压的交流电桥对其热电偶A和B进行加热，当真空系统中压力的变化引起气体分子碰撞的变化时，热电偶周围的气体或气体混合物的之间热传导随之变化，这使得热电偶A和B的温度变化，而温度的变化将引起热电偶A和B之间的直流输出变化（和压力变化方向相反），热电偶C用以对环境温度的瞬时变化进行补偿。
热偶变化的热电势反映了热丝温度的变化，测量热电势值，与之对应的系统压强就确定了，传感器输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
三传感器技术指标1 ZJ-51型的主要技术指标1.1 量程：66.5Pa～ 0.1 Pa 1.2 真空度误差：± 15 %1.3 加热电流：90～130 mA2 DV-6R型的主要技术指标2.1 量程：1Torr～0.001 Torr2.2 真空度误差：±(读数的15 %+0.001 Torr)（最大）2.3 连接尺寸：1/8＂npt公螺纹 2.4 操作温度：－20 ～ +60℃四仪器的技术指标1 ZJ-51型1.1 测量范围：500Pa～0.1Pa（0～ 100格）1.2 有效误差范围：68Pa～0.1Pa 1.3 压力极限误差：±20 %1.4 加热电流范围：80mA～130mA 1.5 加热电流误差：±0.5%2 DV-6R型2.1 测量范围：450Pa～0.1Pa 2.2 有效误差范围：133Pa～0.1Pa2.2 压力极限误差：±20%3 其它技术指标3.1 工作电源：DC8V；充电AC220/50Hz 3.2 显示位数：四位数码LCD3.3 重量：0.3Kg 3.4 功率： 3 VA3.5 外型尺寸：185×95×38 mm3五使用方法1 功能操作说明功能键（SET）：测量转换。
真空计使用说明新版
1、复合真空计使用说明1.1 主要性能：1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围：热偶计：103Pa～10-1Pa复合计：103Pa～10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa～10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围：220V AC±10%；消耗功率：≤30W1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃湿度：0～85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320重量：约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连，并接地。
1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。
手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。
2.操作说明：本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。
复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。
在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。
ZDZ-52T电阻真空计说明书
产品名称: 电阻真空计产品型号： ZDZ-52T使用说明书Operation Panel目录1.简介--------------------------------------------------11.1 仪器简介----------------------------------------11.2 包装内容----------------------------------------12. 主要技术参数-----------------------------------------13. 仪器安装---------------------------------------------23.1仪器安装尺寸-------------------------------------------23.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------24. 仪器操作指南------------------------------------------------25. 故障诊断---------------------------------------------36. 注意事项 -------------------------------------- --41.1仪器简介ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。
在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。
适合用于粗、低真空的测控。
ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。
本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。
1.2 包装内容◆ZDZ-52电阻真空计一台◆ZDZ-52使用手册一本◆ZJ-52T电阻规管一支◆5芯电缆线(5M) 一根◆电源线(1.5M) 一根2.主要技术参数1测量路数 1路2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)4 配接规管 ZJ-52T/KF165 测量精度 ±30%6 零点漂移 ±1%7 控制范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)8 控制方式 2路点控或区域控制（本机无）9 控制精度 ±1%10 控制时间 < 1S11 输出容量 3A/220VAC无感负载12 模拟输出 0～５V13 使用电源 AC 220V/50Hz ±10%14 环境温度 -10℃--45℃15 环境湿度 < 85%(25℃)16 额定功耗 10W17 仪器净重 约1.5Kg3．仪器安装3.1仪器安装尺寸:单位(mm)A．外形尺寸：96X96X190(宽X高X深)B．面板尺寸：96X96C．开孔尺寸: 92X923.2 后面板接线说明：A:电源插座:接3芯电源线B:电阻规插座(5PIN):电缆线说明:仪器端←--------→规管端 后面板接线端口 (1,2,3,4) 对应 (1,2,3,4)选配扩展功能：C: 模拟输出接口(DB-9)，可输出0-5/10V/10mV 或 0/4-10/20mA等的真空度模拟输出量。
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DL-10型真空计说明书
一、 概述
DL-10型真空计是石英晶振真空计。
它的量程较宽，精度较高。
该真空计由规管与控制单元组成，控制单元的数码管显示压强值。
二、 技术要求
1、测量范围：10-105Pa
2、电源：交流220V,50Hz
3、功率：7W
4、几箱尺寸：200×90×160mm（宽×高×深）
三、 原理
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。
石英晶振装在铝壳中做成规管，管径为15.5mm，可通过接口插入系统。
谐振阻抗的测量电
路如图1所示：
图1 谐振阻抗测量电路
谐振阻抗Z=
V AB
V AB 为晶振两端电压 I 为流过晶振的电流
电流I 流过与晶振串联的电阻R ，在电阻两端的电压为V BD ∴ I =
V BD
Z=BD
AB V V R
V AB 近似等于AC 两端电压V 0,V BD 近似等于DC 两端电压V 1，由测量的V 0，V 1值及电阻值，可以计算出阻抗。
单片机将阻抗转换成压强，由数码管显示压强值。
四、 DL-10真空计的安装
DL-10真空计的安装如图2所示：
控制单元
图2 DL-10 的安装
石英晶振及振荡电路放在探头内，引线电缆通过5芯插头插入控制单元后面板的插座内，探头Φ15.5直径的管道插入真空系统。
电源电缆一头插入控制单元后面板插座，另一端插入电源插座。
电源插座应含接地线，使控制单元机箱接地。
打开电源开关，控
制单元数码管显示压强值。
数码管显示3.2 E 2 表示压强值为3.2×102
Pa 。
五、 校准
当环境温度变化时，应对DL-10进行校准，校准方法如下：
1、 大气校准：在规管压强为大气时，用改锥按压控制单元前面板大气孔内的按键，松
开后即可。
2、 零点调节：在规管压强小于1×10-2Pa 时，用改锥按压控制单元前面板零点孔内的
按键，松开后即可。
如果真空系统达不到1×10-2Pa ，不可按压零点按键。
如果不慎在大于1×10-2Pa 高压强时按动零点按键或DL-10指示明显出错，可打开机箱上盖板，按动在机箱内出厂设置按键一次即可。
型号测量范围参考价格(元) 备注
DL-0 1—100Pa 900 含规管
DL-2 10-5—10-1Pa 1500 含规管
DL-4 100—100KPa 1500 含规管
DL-5 10-4—10Pa 2700 不含规管DL-6 1—100KPa 1500 含规管
DL-7 6*10-8—10-1Pa 2900 不含规管
不含规管DL-9 10-5—1Pa 2700
DL-10 10—100KPa 1500 含规管
DL-40 1—100Pa 100—100KPa 2400 含规管
DL-70复合 6*10-8—10-1Pa 1—100Pa3300 不含规管
DL-90复合 10-5—1Pa 1—100Pa 3100 不含规管
DL系列裸规560/只
真空选配200/项真空设置、打印等。