MEMS与磁传感器

MEMS与磁传感器
张瑞平;刘俊
【期刊名称】《测试技术学报》
【年(卷),期】2004(018)0z3
【摘要】微电子机械系统(MEMS)是21世纪一项革命性的新技术.其加工工艺是在硅微电子基础上发展起来的,本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分.
【总页数】3页(P26-28)
【作者】张瑞平;刘俊
【作者单位】教育部仪器科学与动态测试重点实验室,华北工学院,电子科学与技术系,山西,太原,030051;教育部仪器科学与动态测试重点实验室,华北工学院,电子科学与技术系,山西,太原,030051
【正文语种】中文
【中图分类】TP2
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