PLD系统操作规程-高真空

PLD系统操作规程
——高真空生长
实验过程中，请勿带任何首饰！
使用系统之前先检查系统的状态。

1.确认电源连接状况良好。

2.确保氧气瓶的气阀、真空室的针阀以及涡轮分子泵的闸板阀处于关闭状态。

3.检查涡轮分子泵中是否出于1个大气压状态。

4.确保真空室中处于常压、室温状态。

PLD系统的使用(真空室内的操作必须带PV手套)
1.将靶材放入真空室后，通过移动透镜使激光聚焦到靶材的表面。

缓慢调节透
镜下面的手动平移台，听激光轰击靶材的声音，声音最大时为最好的聚焦状态。

2.聚焦调好后，将激光器能量和频率调至生长时的参数，预溅射2分钟，将靶
材的表面清洁干净。

3.将衬底放入真空室，关闭观察窗的挡板，然后再关快开门(避免挡板被快开门
夹住，影响真空室的密封状态)。

关闭快开门时，先转动右侧的旋钮将快开门轻轻顶住，然后将左侧旋钮拧紧，最后将右侧旋钮拧紧即可。

（此过程中切勿用力过大）
4.确保真空室的气阀处于关闭状态，低真空抽气旁路的气阀处于关闭状态，分
子泵高真空抽气旁路气阀处于开放状态，涡轮分子泵的闸板阀处于开放状态，打开机械泵，然后打开真空计。

打开分子泵冷却水，（真空计处于自动档不需要调节）等到真空室气压在10Pa以下时打开涡轮分子泵。

5.温度系统：在抽真空的同时给衬底升温，打开温度控制仪。

1)按GRP键，然后按键，显示初始温度。

2)按STEP键，显示第一段程序，第一步的目的温度，按和键调节
温度大小，按ENT键确认（单位为摄氏度）。

3)按键，显示第一段程序，第一步的执行时间，按和键调节时
间，按ENT键确认（单位为分钟）。

4)到此第一步程序设定完毕，按STEP键设定第二段程序的参数。

5)所有参数设定完毕后按四次GRP回到主设定界面，按住RUN键3秒运
行程序。

如需停止程序，按住RUN键3秒程序停止。

（最高生长温度750
度）
6.生长温度和生长气压达到所需的值后，稳定5分钟。

然后打开激光器开始生
长。

生长过程中，如需观察真空室内的状态，可以拿手电筒，戴上防护境，打开观察窗挡板观察，观察后请随手关闭挡板，以免开启时间过长污染观察窗上的玻璃。

（高温高真空下请勿打开腔内的照明灯）
7.生长过程完毕后，先将涡轮分子泵闸板阀关闭，再停分子泵，等分子泵频率
降低0Hz后，关闭分子泵的电源。

接着关闭真空计，然后关闭机械泵。

将生
长室中的真空释放掉，待腔中降到室温后，开腔取出样品和靶材。

最后将分子泵放气阀打开，将分子泵中的气压降至大气压。

8.使用完后将透镜用样品带套住，用干抹布擦干净PLD系统表面的浮灰，将
工具放回工具箱。

激光器的使用
1.激光器的开启。

将激光器钥匙由0拨到1，将激光器开关由OFF旋至ON状
态。

激光器开始预热8分钟。

2.调节激光的重复频率：按REPRATE键，然后输入所需频率（数字1-9）。

然
后按ENTER键确认。

调节激光的能量：按EGY键，然后输入所需能量，然后按ENTER键确认。

激光出光：按RUN键，然后按EXE键。

（出光前先将激光器出光口的百叶窗打开）
激光停止出光：按两下break键。

3.激光器的关闭。

先将激光器停止出光（关闭激光器出光口处的百叶窗），等激
光器冷却后（30分钟），将激光器开关由ON旋至OFF状态，将激光器钥匙由1拨到0。

激光器钥匙放回原处。

实验完毕后检查：
1.冷却水是否关闭。

2.分子泵中的真空是否释放。

3.透镜和反射镜是否套上塑料袋。

4.地板上的激光出光口是否挡上。

5.激光器是否关闭。