电子束照射加工之 构造与应用技术
电子束照射实验技术详解
电子束照射实验技术详解电子束照射实验技术是一种重要的材料表征手段，广泛应用于材料科学领域。
本文将从仪器原理、实验方法和应用领域三个方面详细介绍电子束照射实验技术。
一、仪器原理电子束照射实验技术主要基于电子显微镜的原理。
电子束是通过将电子加速到高能级并聚焦在样品上而产生的。
在这个过程中，电子束与样品发生相互作用，并获得丰富的信息。
1.1 电子源电子源是电子束照射实验技术的核心部件之一。
常用的电子源有热源电子枪和场发射电子枪。
热源电子枪是通过电阻加热材料，产生高温环境从而发射电子。
场发射电子枪则利用电场强热解金属表面的材料，发射电子。
这两种电子源各有优缺点，可以根据实际需要进行选择。
1.2 透镜系统透镜系统用于聚焦和定位电子束。
主要包括准直透镜、聚焦透镜和对象透镜。
准直透镜用于使电子束平行，聚焦透镜用于将电子束聚焦到样品上，而对象透镜则将电子束收集、放大并形成图像。
1.3 探测器探测器是用于检测从样品散射出的电子。
常用的探测器有二次电子检测器和能量分散谱仪。
二次电子检测器可提供样品表面的形貌信息，而能量分散谱仪则可以得到样品成分的信息。
二、实验方法电子束照射实验技术有多种实验方法，根据不同的研究目的和要求，可以选择不同的方法进行实验。
2.1 透射电子显微术透射电子显微术是一种常见的应用电子束照射实验技术的方法。
通过将电子束通过样品，并在样品背后搭载一台透射电子显微镜，可以观察到样品内部的结构和组成。
这种方法被广泛应用于材料领域的结构表征和分析。
2.2 反射电子显微术反射电子显微术是将电子束垂直照射在样品表面，并探测从样品表面散射出的电子。
通过对反射电子的分析，可以了解样品的表面形貌、结构以及组成元素。
这种方法被广泛应用于表面薄膜的研究以及纳米颗粒的观察。
2.3 显微电子束衍射技术显微电子束衍射技术是一种将电子束通过样品后，通过观察电子通过衍射产生的花样来研究样品的结构。
这种方法能够提供高分辨率的晶体结构信息，被广泛应用于材料领域的晶体结构分析。
电子束辐照技术的应用与发展
电子束辐照技术的应用与发展电子束辐照技术是一种高能量电子束对物质进行辐照的技术。
它在医疗、食品、高分子材料、半导体等领域有广泛的应用，并且在近年来得到了迅猛的发展。
本文将从技术原理、应用场景、相关成果和未来发展等方面介绍电子束辐照技术。
一、技术原理电子束辐照技术的原理是通过电子加速器将电子加速至高能量，并通过电磁场进行聚焦，使高能量电子束对待加工物进行非热辐射加工。
这种辐照会使加工物中发生一系列物理、化学变化，提高材料的性能。
例如，辐照金属材料可以提高硬度、强度，而辐照食品可以灭菌杀菌、延长保质期。
电子束辐照技术因其操作简便、成本低廉、环境友好、加工时间短等优点，已经得到了广泛的应用。
二、应用场景1.医疗领域在医疗领域中，电子束辐照技术被广泛应用于辐照消毒、医疗器械制备、药物制剂等领域。
通过辐照处理，可以有效地消除或减少微生物、病毒、细胞等生物滋生，从而达到杀菌消毒、医疗器械消毒及医药制品存储等消毒目的。
2.食品领域电子束辐照技术也广泛应用于食品领域，例如消毒、去除臭味、延长保质期等。
不仅如此，通过电子束辐照处理后，食品的污染物如虫卵、细菌、寄生虫等被有效地减少，食品的杂质和添加物也减少了。
3.高分子材料领域电子束辐照技术在高分子材料领域中的应用也非常广泛。
在生产过程中，可以通过电子束辐照技术对聚合物材料进行改性，从而使其性能提高，例如更高的耐磨性、更高的强度等。
4.半导体领域在半导体领域中，电子束辐照技术可以用于制造无线电设备和芯片。
通过电子束辐照加工，可以改变半导体的表面结构和性质，达到增强半导体的导电性能等目的。
三、相关成果电子束辐照技术在医疗、食品、高分子材料、半导体等领域的应用已经有了不少的成果。
例如，电子束辐照技术应用在药品制备领域，可以提高药效、延长药品保质期。
在医疗器械消毒方面，通过电子束辐照可以消除生物污染，有效提高了医疗器械的消毒水平。
在食品领域，电子束辐照技术可以有效灭菌、杀虫，延长食品保质期。
电子束加工技术及其应用
电子束加工技术及其应用近年来，随着科技的不断进步，各种新型加工技术也应运而生。
其中电子束加工技术受到了越来越多的重视。
电子束加工技术是一种高能量电子束辐照金属材料使其快速加热并熔化的加工方法，其具有许多优点，如加工精度高、加工速度快、不受材料硬度的影响等等。
因此，电子束加工技术在各个领域都有着广泛的应用。
电子束加工技术的基本原理是利用电子束的高能量辐照金属材料，使其表面快速升温并熔化，经过一定的冷却时间后，可形成各种复杂形状的零部件。
与传统的机械加工方式相比，电子束加工技术具有更高的加工精度和速度，同时也不会损坏材料的结构。
在工业生产中，电子束加工技术的应用非常广泛。
在航空航天领域，电子束加工技术被用于制造各种复杂的燃气涡轮和涡轮叶片等零部件，其制造精度和质量都得到了显著的提高。
在汽车制造中，电子束加工技术可用于生产发动机和变速器等关键零部件，该技术可以达到精密制造的目的，提高生产效率。
在医疗器械领域，电子束加工技术也被广泛应用，可制造各种高精度的医疗产品，如人工心脏瓣膜等。
电子束加工技术还被用于精密电子加工领域。
例如，在微电子器件制造中，电子束加工技术可以制造出非常小尺寸的芯片，从而提高电子产品的性能。
同时，电子束加工技术还可用于制造LED发光二极管等光电器件，这些器件在舞台照明、汽车照明、电视背景板等领域都有着广泛的应用。
在科学研究领域，电子束加工技术也被广泛应用。
比如，在材料科学中，电子束加工技术可用于制备一些高性能材料，如金属泡沫等。
此外，该技术还可用于制备超导材料，来用于实现磁悬浮列车、核聚变等高技术项目。
在现代生产领域，高精度、高效率和高质量等特点成为了制造业趋势的主要特征。
电子束加工技术正是一种能够提供高精度加工方法的新兴技术，同时也是现代制造业不可或缺的一种重要技术手段。
总之，电子束加工技术是现代制造业中一种不可或缺的技术手段。
随着这一技术的不断发展，它将在更广泛的领域内发挥重要作用。
物理学中的电子束技术与应用
物理学中的电子束技术与应用在现代科学中，电子束技术是一种非常重要的技术，尤其是在物理学领域。
这项技术利用高能电子对物质进行加工和分析，可应用于多方面领域，例如电子显微镜、电子加速器、半导体等等。
一、电子束的基本原理电子束技术的基本原理是将电子加速到高速度，然后通过透镜将这些电子聚焦到非常小的位置上，使它们能够穿透固体或物质表面进行加工和分析。
在电子束技术中，高速运动的电子具有波粒二象性，可以被看作是一种电磁波，而不是一种粒子。
二、电子束技术的应用1. 电子显微镜电子束技术在电子显微镜中得到广泛应用。
电子显微镜是一种非常强大的仪器，可用于对高分子材料、半导体等材料进行分析。
电子束技术在电子显微镜中的主要应用是通过电子束在样品上扫描，产生高分辨率的电子图像。
2. 电子加速器电子束技术在电子加速器领域也被广泛应用。
一般来说，电子加速器可以分为线性加速器和环形加速器两种。
在这些加速器中，电子束技术用于将电子的能量提高到足以进行加工和研究的高水平。
3. 半导体生产在半导体生产领域中，电子束技术可以用于通过电子束雕刻来制造微电子器件。
这项技术通常被称为电子束光刻。
电子束光刻可以制造非常小的器件，例如计算机芯片和存储器。
4. 电子束焊接电子束技术也可以用于电子束焊接领域。
这种焊接方法可以用于连接非常小的零件，例如精细电路板或高精度零件。
三、电子束技术的优点1. 高精度电子束技术能够以非常高的精度进行加工和分析，能够刻画出非常小的特征。
2. 无污染电子束技术是一种无污染的技术，它不需要使用任何化学品或其他污染物。
3. 高效率电子束技术能够快速地进行加工和分析，能够在较短的时间内完成大量工作。
四、电子束技术的局限性1. 高成本电子束技术的设备成本通常非常高，这使得它只能应用于一些特殊的领域。
2. 高复杂度电子束技术的应用需要相应的专业知识和技能，对操作人员的要求非常高。
3. 不能加工厚物质电子束技术不能加工太厚的物质，这是由于电子束的穿透能力和束流密度的原因。
电子束加工原理及应用
电子束加工原理及应用电子束加工（Electron Beam Machining, EBM）是一种高能电子束在材料上直接加热与蒸发的加工方法。
它利用电子加速器产生高能量电子束，通过电子与材料原子之间的相互作用，使原子受到高能电子的冲击，产生断裂、熔化和蒸发等现象，从而实现对材料的加工。
电子束加工具有高加工精度、加工速度快、无热影响区和无振动等优点，因此在航空航天、汽车、电子、医疗器械等领域具有广泛的应用。
电子束加工的原理主要包括电子束生成、准直、聚焦和冲击等过程。
首先，通过电子加速器将电子加速到高能态，这样产生的电子束具有很高的能量。
然后，利用准直系统对电子束进行整形，控制其形状和大小，使其能够准确地照射到加工目标上。
接下来，通过磁场控制系统对电子束进行聚焦，使其能够集中在一个较小的区域内。
最后，电子束与材料之间发生冲击，使材料表面的原子受到电子的冲击并产生断裂、熔化和蒸发等现象，从而实现对材料的加工。
电子束加工具有很多优点。
首先，由于电子束具有很高的能量，因此它能够快速加热和熔化材料，从而实现高加工速度。
其次，电子束加工的加热过程是无接触的，没有热传导和导热损失，因此不会引起材料变形和应力集中等问题，具有高加工精度。
此外，电子束加工没有振动和冲击力，可以避免材料表面的划痕和变形等问题。
最重要的是，电子束加工对材料的化学性质没有影响，能够实现对不易加工的材料的加工，如高熔点金属和陶瓷等。
电子束加工在航空航天领域有着广泛的应用。
由于电子束加工具有高加工精度和高能量特点，因而能够应用于航空航天领域中对材料性能要求较高的部件的制造。
比如，电子束加工常用于制作航空发动机喷嘴、涡轮叶片以及复杂的结构件等。
此外，电子束加工还可以用于航天器的表面处理，如表面改性、疏水处理等。
在汽车制造方面，电子束加工也具有很大的应用潜力。
汽车零部件通常由高强度和复杂形状的金属材料制成，而电子束加工能够实现对这些材料的高精度加工，从而提高零部件的质量和性能。
电子束加工的原理及应用
电子束加工的原理及应用电子束加工是一种高速电子束束流通过真空管道对工件表面进行加工的技术。
该技术使用加速器产生高能电子束，通过聚焦系统将电子束聚焦到非常小的直径上，然后将聚焦后的电子束对待加工的工件表面进行瞬时加热和熔化，从而实现对工件表面的精细加工。
电子束加工技术的原理主要包括三个方面：加速原理、聚焦原理和工件加工原理。
首先，电子束加工技术的加速原理是利用高频电场或直流电场对电子进行加速。
通过加速器对电子进行加速，使其获得足够的能量，从而能够对工件表面进行加工。
其次，电子束加工技术的聚焦原理是通过电磁场对电子束进行聚焦。
聚焦系统一般由电磁透镜和偏转系统组成，其中电磁透镜通过调节磁场强度和焦距来实现对电子束的聚焦，而偏转系统则用于控制电子束的运动轨迹，使其能够对工件表面进行精确的加工。
最后，电子束加工技术的工件加工原理是利用高能电子束对工件表面进行瞬时加热和熔化。
当高能电子束聚焦在工件表面时，电子与工件原子之间发生碰撞，使得工件表面的原子发生能量的传递和转换，从而使工件表面被加工的局部瞬时加热和熔化。
电子束加工技术具有以下几个特点和应用领域：1. 高精度加工：电子束加工技术可以控制电子束的位置和能量，从而能够实现对工件表面的高精度加工。
该技术可以用于制造微细结构、光学元件、模具等高精度的工件。
2. 薄壁结构加工：由于电子束加工技术的加热局部，因此可以实现对薄壁结构的加工。
该技术可以用于制造航空航天领域中的燃烧室、气体涡轮叶片等薄壁结构件。
3. 高效率加工：电子束加工技术加工速度快、效率高，可以有效提高生产效率。
该技术可以用于批量加工、大规模生产等领域。
4. 材料熔化温度低：由于工件加工只发生在电子束聚焦的局部区域，因此工件的整体温度相对较低，可以避免材料的过热和变形等问题。
5. 增材制造：电子束加工技术可以直接将粉末熔化成零件，实现对材料的增材制造。
该技术可以用于制造复杂结构的零件和特殊材料的加工。
电子束微细加工技术的发展和应用
电子束微细加工技术的发展和应用电子束微细加工技术是一种高精度、高效率的加工技术，其发展和应用已经超出了传统的加工界限。
本文将从技术原理、应用领域以及未来发展等方面，探讨电子束微细加工技术的现状和前景。
一、技术原理电子束微细加工技术利用电子枪发射的高速电子束，通过密集的电子轰击，把材料表面剥离，并形成所需要的形状。
其主要原理是利用电子束在材料表面的能量转化作用，将部分电子能量转化为材料内部原子的动能，从而产生电离、碰撞、沉积等作用，从而实现微细加工。
该技术的优点在于，可以实现高精度、高速度、高效率、无污染和低成本的微细加工。
同时，电子束微细加工技术还可以通过控制电子束的聚焦、扫描、转移等操作，实现材料的微调和微分形状的加工，从而满足不同材料的加工需求。
二、应用领域电子束微细加工技术已经得到广泛的应用，主要包括微电子、光电子、机械制造、纳米技术等领域。
在微电子领域中，电子束微细加工技术已经成为一种非常重要的工艺。
它可以实现微元件、微结构和微电路的制造，尤其是在微芯片的制造中，电子束微细加工技术可以实现更高的制造精度和分辨率，从而为微芯片的制造提供了有力的支持。
在光电子领域中，电子束微细加工技术一直是光学器件加工的主流技术之一。
它可以实现各种不同的光学元件加工，如光阑、分束器、棱镜、反射镜等，从而为光电子行业提供了更加精密的元器件和设备。
在机械制造领域中，电子束微细加工技术可以实现极小尺寸的微型工件的制造，在航空、汽车、军工等领域中也有广泛应用。
同时，电子束微细加工技术还可以实现不锈钢、钛合金等高强度材料的微细加工，从而提高了材料的利用价值和应用范围。
在纳米技术领域中，电子束微细加工技术可以实现纳米尺寸级别的制造和加工。
它可以制造纳米级别的器件、电路、传感器等。
同时，该技术还可以实现纳米粒子和纳米结构的制造，从而为纳米材料的研究提供了非常关键的加工手段。
三、未来发展未来，随着科学技术的不断进步和应用领域的不断拓展，电子束微细加工技术的应用范围还将不断扩大。
电子束技术与应用
电子束技术与应用电子束技术作为一种新兴的先进加工技术，其独特的性能和技术优势，使得它在材料科学、环境保护、生物科技等领域有着广阔的应用前景。
本文将详细阐述电子束技术的基本原理、特性以及在不同领域的应用。
一、电子束技术的基本原理电子束技术是一种利用电子束的高能量进行材料的表面改性、焊接、切割、钻孔、溅射以及其他加工操作的技术。
其主要包括电子源、聚焦系统、偏转系统、扫描系统和操作系统五大部分。
其中，电子源的主要功能是产生和加速电子，使之具有极高的运动能量；聚焦系统是用来控制电子束的形状和尺寸，使其能够精确地照射在工件上；偏转系统和扫描系统则用于调节电子束的方向和位置，从而实现对工件的精密加工。
二、电子束技术的特性电子束技术具有以下几个显著的特性：1. 高能量：因为电子具有极高的运动能量，所以利用电子束进行加工时可以实现材料的深层加工；2. 高精度：由于电子束的尺寸可以精确控制，所以该技术具有很高的加工精度；3. 宽适应性：电子束技术能够对各种材料进行加工，不论是金属、陶瓷、还是塑料；4. 采用真空环境：为了防止电子与气体的相互碰撞造成散射，电子束技术的应用通常需要在真空环境中进行。
三、电子束技术的应用电子束技术因其优异的技术特性，在多个领域有广泛应用。
1. 材料科学：电子束技术在材料科学中的应用主要表现在材料的合成和处理上，比如用于改善材料的表面硬度、耐磨性、耐腐蚀性等性能，还可以利用电子束技术生产无缺陷的超导材料、纳米复合材料等；2. 环境保护：电子束技术在环保领域的应用主要是利用其高能量将有害物质分解为无害物质，既可以处理有机污染物，也可以处理无机污染物；3. 生物科技：电子束技术在生物科技领域的应用主要体现在对生物样本的形态观察和结构分析上，比如利用电子束技术进行生物组织的切片、染色、固定等操作。
总的来说，电子束技术作为一种精密的高能量加工技术，不仅提高了工件的加工质量，而且为材料科学、环保、生物科技等领域的发展打开了新的可能。
电子束加工技术的研究与应用
电子束加工技术的研究与应用电子束加工技术（Electron Beam Machining）是一种高能量密度的金属加工方法，利用电子束的高速运动和高能量集中，在工件表面瞬间加热并融化材料。
与传统金属加工方法（如机械加工、电火花加工、激光加工）相比，电子束加工具有加工速度快、精度高、能耗低等优点，在航空航天、汽车、电子、医疗等领域均有广泛应用。
本文将着重探讨电子束加工技术的研究进展和应用现状。
一、电子束加工技术的原理和特点电子束加工技术是利用加速器将电子加速到光速附近，并通过特殊的几何形状的电子透镜束缩成一束高速电子束。
当电子束照射到金属表面时，其能量被转化为热能，使金属表面瞬间升温至熔化温度并融化。
同时，电子束在金属中的运动引起金属内部原子的弹性碰撞和不弹性碰撞，从而产生热扩散和塑性变形，最终实现对工件的加工。
电子束加工技术具有以下几个特点：1. 高能量密度：电子束加工的能量密度高达10^9 W/cm2以上，远高于传统加工方法，可以实现对薄膜、微细结构等工艺难度较大的部件的加工。
2. 高精度加工：电子束加工具有高精度、高分辨率和高表面质量的优势，对于形状规则复杂的零件及超精细加工有很强的适应性。
3. 无切削力加工：电子束加工是一种非机械切削类加工方法，不存在机械摩擦或挤压等现象，因此对被加工物的变形、振动、屈曲、拉伸等无任何影响。
4. 处理难加工材料：电子束加工可以处理钨、钼、铌、铬、镍等难加工材料，对黑色金属、色金属、难切削材料以及各种合金均能轻松完成加工。
二、电子束加工技术的研究进展电子束加工技术诞生于20世纪50年代，经过数十年的发展研究，目前已经取得了一系列重要的研究成果。
1.关键技术研究电子束加工技术需要高能量密度、高稳定性的电子束，这需要对电子加速器、透镜束等关键技术进行深入研究。
目前，电子束加工技术主要应用的加速器有线性加速器、驻波加速器和微波加速器等，而电子透镜束的研究则鉴于于电子束聚焦能力的提高和加工精度的进一步提高。
电子束辐照技术的使用教程
电子束辐照技术的使用教程电子束辐照技术是一种现代化的辐射加工方法，被广泛应用于食品、医药、材料等领域。
本文将为大家介绍电子束辐照技术的基本原理和使用方法，帮助读者更好地了解和掌握这一技术。
一、电子束辐照技术的基本原理电子束辐照技术是利用高能电子束对物质进行辐射处理的过程。
其基本原理是通过加速器将电子束加速至高能态，然后将其聚焦于待处理的物体上，使电子束与物质发生作用。
电子束与物质相互作用主要有两种形式，即电离和激发。
电子束与物质发生碰撞后，会使物质中的原子或分子失去或获得电子，从而形成带电离子或自由基。
这些电离子和自由基会引起分子链断裂、氧化和交联等化学反应。
二、电子束辐照在食品加工中的应用1. 杀菌和灭活电子束辐照技术可以用于食品杀菌和灭活，能高效地杀灭食品中的细菌、病毒和寄生虫，延长食品的保质期。
尤其适用于肉制品、水产品和调味品等易受污染和易腐败的食品。
2. 贮藏和保鲜电子束辐照可以抑制食品中的酶活性和微生物生长，延缓食品的腐败过程，使得食品能够长时间保存和保持新鲜。
这对于水果、蔬菜和鲜切生肉等易变质的食品尤为重要。
3. 食品品质改良电子束辐照可以改善食品的质地和口感，减少食品中的异味和不良气味，提升食品的整体品质。
例如，电子束辐照可以使果蔬保持鲜嫩、口感脆爽，增加食品的营养价值和观感。
三、电子束辐照在医药领域的应用1. 医疗器械灭菌电子束辐照可以用于医疗器械的灭菌，能够杀灭医疗器械表面和内部的各类微生物，确保医疗器械的无菌状态。
这一技术应用广泛，包括手术器械、注射器、导管等。
2. 药物辐照电子束辐照可以用于药物的辐射灭菌和辐射杀菌，提高药物的质量和药效稳定性。
同时，该技术还可以用于药物的脱氧和去除残留有害物质，确保药物的安全性和有效性。
四、电子束辐照技术的使用方法电子束辐照技术需要使用专业设备进行操作，一般包括电子加速器、束流控制系统和辐射探测器等。
具体操作步骤如下：1. 设置辐照参数：根据待处理物体的性质和要求，设置辐照剂量、辐照时间、辐照温度等参数，确保达到预期的处理效果。
电子束加工技术及其应用
电子束加工技术及其应用2008034121电子束加工是在真空条件下,利用聚焦后能量密度极高(106～109W/cm2)的电子束,以极高的速度冲击到工件表面极小的面积上,在很短的时间(几分之一微秒)内,其能量的大部分转变为热能,使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温,从而引起材料的局部熔化和气化,被真空系统抽走的加工技术。
其加工原理如图1所示。
图1 电子束加工原理1948年,德国物理学家K.H.Steigerwald发明了第一台电子束加工设备(主要用于焊接)。
1949年,德国首次利用电子束在厚度为0.5mm的不锈钢板上加工出直径小于0.2mm的小孔。
从而开辟了电子束在材料加工领域的新天地。
1957年法国原子能委员会萨克莱核子研究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机,其优良的焊接质量引起了人们广泛重视。
20世纪60年代初期,人们已经成功地将电子束打孔、铣切、焊接、镀膜和熔炼等工艺技术应用到各工业部门中,促进了尖端技术的发展。
微电子学的发展对集成电路元件的集成度要求不断提高,因而对光刻工艺提出了更高的要求,扫描电子束曝光机研制成功并在20世纪70年代进入市场,使得制造掩膜或器件所能达到的最小线宽已小于0.5μm。
近年来,国外对电子束焊接及其他电子束加工技术的研究主要在于以下几个方面:1)完善超高能密度电热源装置;2)掌握电子束品质及与材料的交换行为特性,改进加工工艺技术;3)通过计算机CNC控制提高设备柔性以扩大应用领域。
我国自20世纪60年代初期开始研究电子束加工工艺,经过多年的实践,在该领域也取得了一定成果。
虽然电子束加工目前已在仪器仪表、微电子、航空航天和化纤工业中得到应用,电子束打孔、切槽、焊接、电子束曝光和电子束热处理等也都陆续进入生产,但从电子束加工技术现状及新的发展趋势可以看出 ,我国在该领域的研究与世界先进水平差距很大。
按照电子束加工所产生的效应,可以将其分为两大类:电子束热加工和电子束非热加工。
电子束辐照技术的原理及其应用
电子束辐照技术的原理及其应用电子束辐照技术是一种高能电子束在物体表面或内部释放能量使得其分子、原子结构发生变化的技术。
这种技术已经被广泛应用于工业、医学等领域中，为许多领域带来了重大的发展。
此文将从电子束辐照技术的原理入手，探讨它在不同领域的应用。
一、电子束辐照技术原理电子束辐照技术是使用中、高能电子作为辐射源，利用电子的电荷与动质能，通过对物质的削弱作用达到杀菌、防腐、消毒、改性等目的的技术。
在电子束辐照过程中，电子束与物料发生相互作用，其中电子与物质相互作用，主要分为电离、激发或激光复合辐射、大量可损伤等。
电离过程指的是电子束的能量足够高，能够打击物质中的原子或分子，使其电离成为正、负电荷电离。
他们在电场的作用下，将形成电子、离子对和自由基等，因此，电子束辐照在微生物杀灭、物体杀菌处理及腐败物的控制等方面具有重要的应用价值。
电子束辐照技术所释放出来的能量大，可以导致物质中的分子、原子结构发生变化，这个过程就是激发辐射。
在电子束作用下，许多分子所携带的电子在获得能量后会被激发到一个更高的能级，分子辐射需要特定的波长或频率有效激光源。
因此，在物体改性、杀菌处理和油墨涂层等方面，激发作用具有广泛的应用。
二、电子束辐照技术的应用1.食品处理电子束辐照技术在食品加工、杀菌等方面发挥着重要的作用。
在食品的加工中，电子束辐照技术能够有效地杀死食品中的微生物和病毒，降低食品中的细菌数量，使食品能够更好的保鲜，并延长食品的保质期限。
2.医疗卫生电子束辐照技术在医疗卫生领域中也得到了广泛的应用。
例如，在医疗器械消毒、血液辐照、肿瘤治疗等方面，电子束辐照技术都有着广泛且显著的应用价值。
电子束在辐射生物机体后会引起DNA单线断裂、交叉连锁及其他基因材料的损伤，严重导致遗传性突变、白血病、淋巴瘤等，这些作用可以被利用在肿瘤治疗中。
3.材料改性电子束辐照技术的另一个应用领域是材料改性。
利用电子束辐照技术，能够使材料的分子、原子结构发生变化，此次变化可以使材料的性能得以进一步提升，如增强材料的强度、硬度、耐腐蚀和抗氧化性。
电子束光刻技术原理及其应用
电子束光刻技术原理及其应用电子束光刻技术是一种能够精细制造微小器件的技术。
它在集成电路、光电显示、生物芯片、MEMS等领域有着广泛的应用。
本文将探讨电子束光刻技术的原理和应用。
一、电子束光刻技术原理1.概述电子束光刻技术是利用电子束的高能量在光敏感材料上形成微小图案的加工技术。
与传统的光刻技术相比，它具有分辨率高、加工精度高的优点。
2.原理电子束光刻技术的基本原理就是通过加速加速器加速电子，使其获得高速度，然后将其聚焦成一束电子束，进而通过微细的控制系统将其定向、定位照射到光敏材料上进行加工。
电子束经过透镜控制，使光束紧凑，能够达到纳米级别的精度。
其分辨率可以达到10nm的数量级。
3.加工过程电子束光刻的加工过程一般包括三个步骤：（1）理化处理：将待加工的硅片或者其他材料进行表面处理，使其更容易与电子束反应，以提高加工的质量和精度。
（2）对溶剂的敏感性固化：将硅片或其他材料表面涂上一层溶剂敏感性固化剂，并让其干燥。
（溶剂敏感性固化让基材与光刻胶之间的性质发生变化，从而实现电子束刻画出的图案转移到基材上）（3）电子束照射：将聚焦好的电子束照射到经过表面处理和固化处理的硅片表面的特定区域上，从而制造出所需的微米或纳米级别图案。
二、电子束光刻技术应用1.集成电路领域在集成电路领域，电子束光刻技术是一种非常成熟的技术。
其在集成电路的制造工艺中，能够制造出新型微纳米级别元器件，如CMOS器件、三维集成器件、MEMS技术等，为电子行业的发展提供了宝贵的资源。
2.光电显示领域在光电显示领域，电子束光刻技术是制造高清显示和更小像素电视屏幕的主要工具之一。
利用电子束照射和刻画的方法，可以制造出高分辨率和更细腻的显示，并且精确制造出更小的像素和更高的亮度。
3.生物芯片应用电子束光刻技术对于生物芯片制造上的应用也十分突出。
生物芯片依赖于高度结构化的表面处理方法，以及各种数百到数千种反应液。
电子束光刻技术能够制造非常复杂的微型管道和反应器，并且在DNA、基因芯片等研究中发挥着非常大的作用。
电子束辐射照法的原理和应用
电子束辐射照法的原理和应用1. 电子束辐射照法的原理电子束辐射照法是一种通过利用电子束进行物体辐射照射的技术。
其原理主要包括以下几个方面：1.1 电子束的生成电子束主要通过电子枪产生。
电子枪由阴极、阳极和控制网构成。
在加上适当的电压后，阴极会释放出一些电子，而阳极会加速这些电子。
通过控制网，可以调节电子束的聚焦和定向。
最终形成稳定的电子束。
1.2 电子束的辐射特性电子束具有高能量和高穿透性的特点。
束流中的电子速度非常快，能够穿透物质并与之相互作用。
当电子束入射到物体表面时，其动能会被转化为热能或者电磁辐射能量。
1.3 辐射照法的原理当电子束照射到物体表面后，会释放出电子辐射和特征X射线辐射。
这些辐射能量可以被用于分析物体的成分、结构和性质。
通过检测和分析电子辐射和X射线辐射，可以得到物体的表面形貌、元素组成、晶体结构等信息。
2. 电子束辐射照法的应用电子束辐射照法在多个领域都有广泛的应用。
下面列举了一些常见的应用领域：2.1 材料科学电子束辐射照法可以用于材料的成分分析和表征。
通过电子束照射样品，可以获取样品的成分信息，了解原材料和制备工艺对样品性质的影响。
同时，电子束辐射照法也可用于材料的表面形貌和微观结构的观察和分析。
2.2 半导体工业在半导体工业中，电子束辐射照法作为一种曝光技术，被广泛应用于半导体芯片的制造过程中。
通过控制精密的电子束来制造高分辨率的芯片图像。
2.3 微型加工利用电子束辐射照法可以实现对微型结构的加工和制作。
例如，用电子束进行光刻，可以制作微型电路、微型传感器、微型光学元件等。
2.4 生物医学电子束辐射照法在生物医学领域也有一些应用。
例如，可以利用电子束照射样品，观察生物组织的微观结构，以及细胞和分子的信息。
此外，还可以通过电子束进行治疗，如癌症治疗中的电子束放疗。
2.5 其他领域电子束辐射照法在其他领域也有一定的应用，例如纳米技术领域、材料加工、工艺研究等。
3. 电子束辐射照法的优势和局限性3.1 优势•电子束辐射照法具有高分辨率，可达到很高的空间分辨率，可以对细微的结构进行观察和分析。
电子束辐照技术在加工制造中的应用
电子束辐照技术在加工制造中的应用随着科技的不断发展，各种新型的加工制造技术也不断涌现出来。
其中，电子束辐照技术是一种非常重要的加工制造技术，其应用范围非常广泛。
在本文中，我们将深入探讨电子束辐照技术在加工制造中的应用。
一、电子束辐照技术简介电子束辐照技术是一种利用电子束对材料进行加工或处理的技术。
电子束是由高速电子形成的，其速度可以达到光速的三分之一。
电子束的能量非常高，在绝对零度下，其速度可以达到1kV 的能量。
因此，电子束可以通过高能量的辐照来对材料进行加工与处理。
电子束辐照技术可以通过电子枪对材料进行加工，也可以通过束线对材料进行处理。
在电子束辐照的过程中，高能的电子束会与材料发生相互作用。
在这个过程中，电子会将能量转移到材料上，从而引发材料的化学反应和结构变化。
通过精密的控制电子束的能量和轨迹，可以实现对材料的高精度加工和处理。
二、电子束辐照技术在制造业中的应用电子束辐照技术在制造业中的应用非常广泛，其主要应用领域包括：1、精密加工电子束辐照技术可以实现对材料的高精度加工。
例如，在微电子制造中，电子束可以对晶片进行加工，通过控制电子束的能量和轨迹，可以实现对微电子器件的高精度加工。
此外，在模具制造中，电子束辐照技术也可以实现对模具的高精度加工。
2、表面改性电子束辐照技术可以通过改变材料表面的化学性质来改善材料的性能。
电子束可以改变材料表面的晶体结构和化学组成，从而提高材料的硬度、抗腐蚀性等性能。
此外，在涂层制造中，电子束辐照技术也可以实现对涂层表面的改性。
3、材料重组电子束辐照技术可以通过改变材料的结构和组成来实现对材料的重组。
例如，在金属制造中，电子束可以对金属进行熔炼和再结晶，从而实现对金属成分和结构的重组，提高金属的性能。
4、材料改良电子束辐照技术可以通过改变材料的分子结构来实现对材料的改良。
例如，在高分子材料制造中，电子束可以引发高分子链条的断裂和交联，从而改善高分子材料的性能，例如提高其强度、韧性等性能。
电子束光刻工艺及其应用研究
电子束光刻工艺及其应用研究电子束光刻技术是一种高精度微电子加工技术，它利用电子束照射在感光剂上，根据所需图形的形状，将光刻片上局部的感光剂进行化学反应，这个过程被称为暴露。
然后通过显影去除未受到暴露的部位的感光剂，最后形成所需的图形。
这种技术具有高精度、高速度、高分辨率等优点，已经广泛应用于制造微电子器件、光学器件、光电器件、生物芯片等领域。
1. 电子束光刻工艺原理电子束光刻技术中的核心设备是电子束光刻机，它主要由电子枪、感光镀膜、电子束扫描系统、显影设备等组成。
在磁透镜场的作用下，形成一束电子束，然后经过感光镀膜，这里需要说明一下，其实感光镀膜是先使用溶液将均匀分布的感光剂材料涂布在硅片的表层，然后加热到一定温度使其涂层完全固化后，形成一个支撑固体的感光膜。
接着，电子束扫描系统会将电子束在感光镀膜上扫描出所需的图形，通过暴露过程刻画出相应的识别码。
电子束光刻技术的高分辨率是由电子束的聚焦能力以及光刻机的扫描机构的精密度共同决定的。
电子束的直径可以控制在几个纳米的范围内，扫描电子束的速度可以控制在纳秒级别。
这些都极大地提高了整个加工过程的精密度。
2. 电子束光刻工艺技术优点电子束光刻工艺相较于传统微影、光刻工艺，有着其独特的一些优点：（1）高分辨率：根据电子束光刻技术的原理，可以将天然的单线条导向分辨率降到0.2um左右。
（2）高精度：电子束光刻机的扫描速率可以控制在每秒数百万点，并且大部分精密加工设备。
相较于其它加工技术，其加工精度更高。
（3）高装配度：电子束光刻加工中每个线条元件尺寸都可以直接控制，这样，微型化的电子元器件，特别是IC的制造可以更好的实现。
（4）非接触式加工：电子束光刻机不依靠任何媒介，需不需与物体接触，既可加工平面也可加工三维物体。
3. 电子束光刻在半导体行业中的应用随着半导体尺寸逐渐的变小，电子束光刻技术也越来越得到了广泛的应用。
毫无疑问，电子束光刻技术对于半导体制造的发展起到了至关重要的作用。
电子束辐射法的原理和应用
电子束辐射法的原理和应用1. 引言在现代科技发展的背景下，材料表面的加工和改性已经成为一个重要的研究领域。
电子束辐射法作为一种重要的表面加工方法，在多个领域显示出了巨大的应用潜力。
本文将对电子束辐射法的原理和应用进行介绍。
2. 电子束辐射法的原理电子束辐射法是一种利用高能电子束对材料表面进行加工和改性的方法。
其原理如下：1.电子束发射和聚焦原理：电子束来源于电子枪，通过对电子枪加高压以及使用聚焦系统对电子束进行聚焦，得到高能高密度的电子束。
2.电子与材料的相互作用：高能电子束射到材料表面后，会与材料原子发生相互作用。
主要有三种相互作用方式：–电子与材料原子的碰撞：电子束的能量会传递给材料原子，导致材料原子的激发、电子的俘获和散射等过程。
–电子与材料原子的离子化：高能电子将材料原子击离，形成离子。
–电子与材料原子的辐射损伤：电子束与材料原子的相互作用会产生辐射损伤，包括表面溅射、表面合金化等。
3.电子束辐射加工实现原理：通过调节电子束的能量、密度和聚焦方式，可以实现对材料表面的加工。
主要包括：–表面改性：通过电子束激发和离子化作用，改变材料表面的物理、化学特性，如硬化、晶格缺陷形成等。
–溅射沉积：通过调节电子束能量和角度，使材料表面原子通过溅射方式沉积在其他物质表面上，实现薄膜制备。
–光刻和微细加工：利用电子束刻蚀对光刻模板进行图案转移、微细器件制备等。
3. 电子束辐射法的应用电子束辐射法在多个领域有广泛的应用，以下列举几个典型的应用案例：3.1 材料科学•表面改性：电子束辐射法可以通过改变材料表面的晶格缺陷、化学成分等，实现材料力学性能的提升和表面功能的改变。
例如，通过电子束辐射处理钢材表面，可以提高其硬度和耐磨性。
•薄膜制备：利用电子束溅射沉积技术，可以在基底上生长出具有特定组成和结构的薄膜，广泛应用于显示、光电子学和信息储存等领域。
•材料成像：电子束辐射法的高分辨率和探测灵敏度，使其成为材料显微镜中重要的成像方式。
电子束曝光制备纳米结构的研究及应用
电子束曝光制备纳米结构的研究及应用近年来，随着纳米技术的迅速发展，纳米结构与纳米材料的研究和应用越来越受到人们的关注。
电子束曝光是一种制备纳米结构的有效方法，它具有制备精度高、图案可控、成本低等优点，因此，被广泛应用于纳米技术领域。
一、电子束曝光技术简介电子束曝光技术是一种先进的微电子制造工艺，它采用电子束照射样品表面，利用电子束聚焦和控制技术，精确地写出微小的图形和结构。
通过对电子束的聚焦和扫描，可以制备出步进自由曲面、梯形直角结构、圆形孔洞、纳米线等多种形状和尺寸的纳米结构。
二、电子束曝光制备纳米结构的原理电子束曝光制备纳米结构的原理是利用电子束的高能量和高效率，通过曝光和衬底反应等过程，使光刻胶分解、蚀刻等，形成所需的纳米图案和结构。
电子束曝光工艺主要包括以下几个步骤：首先，将样品表面涂上一层光刻胶。
其次，调节电子束曝光参数，如电子束能量、曝光时间、线宽等。
然后，采用电子束扫描技术，控制电子束在样品表面写出所需的图形和结构。
最后，将样品进行蚀刻或抛光等处理，得到所需的纳米结构。
三、电子束曝光制备纳米结构的应用电子束曝光制备纳米结构的应用广泛，其主要应用领域包括信息存储、微纳电子器件、生物医学等。
1. 信息存储电子束曝光技术可以制备出超高密度的纳米结构，可以用于信息存储材料的制备。
例如，利用电子束曝光技术制备的纳米孔阵列，在介电薄膜中嵌入了互补型的DNA链，可以实现高效的DNA测序。
2. 微纳电子器件电子束曝光技术可以制备出高精度的纳米结构，可以用于制备微纳米加工和器件制造。
例如，利用电子束曝光技术制备的金属线路可以用于制备高速、低功耗的微处理器和微芯片。
3. 生物医学电子束曝光技术可以制备出高精度的纳米结构，可以用于实现细胞培养、组织修复、药物研发等生物医学应用。
例如，电子束曝光技术制备的微型离子通道可以用于研究肿瘤细胞的特性和治疗方法。
四、电子束曝光制备纳米结构的挑战尽管电子束曝光技术具有高分辨率、全息成像和图案多样化等优点，但其制备纳米结构还面临着许多挑战。
电子束技术在加工制造中的应用
电子束技术在加工制造中的应用电子束技术是一种先进的加工制造方法，其基本原理是通过电子束的高速聚焦，将激光一样的能量聚集在一点，使得物体上的材料被蒸发或溶解，从而实现加工制造的目的。
随着科技的不断进步和应用技术的不断发展，电子束技术已经越来越广泛地应用在各个领域中，特别是在加工制造这一领域中，电子束技术已经成为了一种非常重要的技术手段。
一、电子束技术的基本原理电子束技术是利用能量高度聚焦的电子束，来加工材料的一种高级加工制造技术。
其基础是利用电子束的辐射能量，将其聚焦到半径很小的点，使得被加工的材料在这个点处被蒸发或者溶解。
具体来讲，电子束技术所需要的设备主要包括了电子枪、聚焦系统、控制系统等等。
其中电子枪主要负责产生电子束，聚焦系统将电子束聚焦在一点上，而控制系统则可以控制加工的速度和深度等参数，从而实现精确的加工效果。
二、电子束技术在制造业中的应用1、微电子加工微电子加工是电子束技术在制造业中的一个很重要的应用方向，主要针对的是半导体器件、MEMS器件等微型电子产品的制造。
利用电子束技术可以制造出一系列精密的微型结构，这些结构可以达到亚微米级别的精度，可以达到其它传统加工技术无法达到的效果。
2、光学玻璃加工光学玻璃是一种特殊的材料，其物理性质和化学性质都非常的特殊。
因此在其加工制造的过程中，需要精密的加工手段和高精度的制造设备。
电子束技术正是满足这一需求的技术手段之一。
利用电子束技术可以实现对光学玻璃的精密加工，制造出各种精密的光学元器件，如光学模具等。
这些光学元器件可以用于生物医学、半导体制造、光学无损测试等领域中。
3、金属微观结构加工金属加工是电子束技术在制造业中另一个非常重要的应用方向。
利用电子束技术可以制造出微米级别的金属结构，这些结构可以应用于新型电化学电容器、电解液中电气化学催化剂、微电子机械系统等。
此外，利用电子束技术还可以制造出高硬度的表面涂层，从而提高金属的耐磨性、耐腐蚀性，增强其性能和寿命。
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EB加工
PIKA加工面
x200
x200
射出成形 前・後 表面無變化
金属腐食 發生
手工打磨加工面 射出成形前
MD 発生
可維持表面改質的良好狀態
４．樹脂材料經電子束之加工例
1．EB照射後可使切削加工表面溶化成透明。
壓克力樹脂 在EB加工照射後的比較照片
（加工時間15分）
切削加工面
EB加工
※ 切削後霧化的表面也可輕鬆加工成透明製品
（KEYENCE VK-8500)
EB照射前
EB照射後
照射前的面粗度 Ra : 0.27μm
照射後的面粗度 Ra : 0.18μm
尖角軌跡照射前後之比較
－ 照射前 － 照射後
尖角重合的部分
比較照射前後的照片可以確認出有 疑似塌角R形狀，不過若以3D量測 器的形狀來比較，看不出基礎放電 面與照射後的差異。
射出成形後
手工打磨加工面
PIKA面加工
成形現場經電子束加工後之效果、効用
3．PIKA面在經過表面改質效果後可抑制金屬腐蝕
射出成形 ５萬模次 成形後之比較照片 （70小時連續運轉）
無
表面改質効果
有
手工打磨面
成形時因腐蝕 性氣體影響,表 面形成凹陷。
模具因成形時附 著之汙染物質的 影響，表面發生 斷差
X200
經電子束照射溶融層厚度與種類
表面改質層部分は
3μm
○SUS系
表面改質層
鉻層 鈷層 鉬層
○超硬材 ○其他
金屬組織
因金屬材質所含成分而 變化。
採用加強照射能量,或者增加照射次數,增加溶融層的厚度在通常的條件下 有３～５μm的改質層
經電子束照射後防鏽性提昇
耐腐食性、防鏽性
材質：SKD61
EB照射面
經電子束照射後的迴轉治具使用例
•
需要加工圓狀物或全周加工時有效
２．經電子束照射之微細模具應用例
電子束加工範圍與組裝方法
（バイスセット時の写真）
PIKA面加工裝置可在A4尺寸的磁性工作 檯上運作 工作盤範圍：３００×３００×１００mm
在照射面積φ６０ｍｍ的
廣域面積也可一次溶融 加工。
使用磁性工作檯之加工方法
200μm EB加工部之斷面 光學顯微鏡
50μm
ビレラ腐食
經電子束能量照射後表面溶融之結果 • 面粗度２８→３μｍRｚ
放電加工面
經電子束能量照射後表面溶融之結果 • 面粗度5→0.4μｍRｚ
切削加工面
X200
X200
經電子束能量照射後表面溶融之結果 • 面粗度2.0→0.5μｍRｚ
研磨加工面
X200
經EB照射瓶口精加工
• PET瓶口
材質：STAVAX
切削加工
加工時間 ８ min
可利用在難以手工 打磨之形狀
照射後
面粗度
照射前
１．０
μｍ（Ra)
⇒
０．３
μｍ（Ra)
短時間內可加工複雜的 形狀，大幅削減加工時 間
放電加工
經電子束加工後切削不同PITCH之比較 • シボ面形状
材質：STAVAX
1/100PITCH
電子束照射加工之 構造與應用技術
電子束PIKA面加工裝置 外觀
主要仕様
機 種
工作檯 外形寸法 （W ×D×H） 設置空間
100S
NC控制 1040×1452× 1800mm 2740×3050mm
300S
1040×1822× 1800mm 3440×3420mm
質量
可加工尺寸 入力電力 使用周圍溫度
製造商 ：
美蓓亞三美(株)殿
手工打磨
個人電腦專用鍵盤
1穴： 2時間×4個＝8時間
EBM加工 包含遮閉部分30min完成
手機
振動馬達部品
尖角加工的塌角在4µ m以下
經電子束加工總加工時數減少 • 削減手工打磨時間 實際範例
製造商 ：
美蓓亞三美(株)殿
型技術 第23巻 第9號 2008年 8月号 刊登
加工後之模具尖角好似呈塌角,但 實際以R形狀之光澤反射成果來看, 尖角看不出有無變化。
電子雷射加工 前、後看不出形狀有任何改變
打磨時間比較
100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 手磨き作業 EB加工 時間
磨き仕上げに要した時間
手工打磨 ： 打磨剩下的狀態
單面30分1枚 雙面60分總共 100小時
• インサートチップ形状
（自社オリジナル）
切削加工 EB照射前
切削加工 EB照射後+手磨き 加 工 材 質 ： 加 工 時 間 ：
手工打磨時間
超硬合金經EB加工後，表面的鈷與鎢經熱 化後、容易手工拋光。 也有抑制波浪提高品質的作用。
加
工
： 機 ：
超硬合金（WC） 5min（TOTAL） 真空吸引3.5min １min PF100S
保持光澤面
大気中放置大約一年
EB照射面
未處理面
可發現出現繡斑
經電子束照射後熱疲勞之比較
因為熱疲勞所產生的裂 痕數及深度大幅減少
DIE CASTING会議2006
經EB加工後改善效果
神奈川県産業技術中心 薩田工學博士發表
經電子束加工 熱鍛造的使用案例
適合電子束之優點
• • • 加工後可削減研磨工程 耐酸度提高熱裂紋減少 因氮化提高增加表面硬度
850Kg
100×100×100 mm
1215Kg
300×300×100 mm
三相、AC200V、30A、50/60Hz 20～30℃
使用周圍濕度
消耗電力 空氣 光束直徑
30～70％
2.2KW 0.4～0.6Mpa Φ60mm(工件平面、 標準光束條件使用時）
電子光束PIKA面加工裝置 外觀
照射能量弱 陰極15Kv
加工後塌角粗糙度容許範圍為客戶指定值的10μm以下
客戶要求塌角在10μm以下之加工結果在2條件
３．在成形上電子束的效果與效用
1．MD抑制（模垢）發生
經射出成形機
５萬模次 成形後的比較照片
（70小時連續運轉）
有
MD發生
無
手工打磨面
從以前到現在手工打磨面面臨的問題點 ○精度無法掌握
要點
EB加工面
模垢即塑膠射出成形模具的入塊之間或模仁 隙間中附著的堆積物。 堆積物一堆積,射出之成形品的形狀會出現 無法正確轉印等瑕疵
※東京精密社製 surfcom 測定
弊社 塌角測定資料（面粗度計） 照射前 No.1 R 4.5μm R 8.3μm
No.2
No.3 No.4 No.5
R 20μm
R 20μm R 35μm R 50μm
No.2
No.3 No.4 No.5
R 8.3μm
R 13.9μm R 16.7μm R 22.2μm
照射能量強 陰極30Kv
※照片是採用不同的照射能量
電子束照射特性
電子束與磁場關係
B
i
F
電子束沿著磁力線前進, 因工件的磁化,使電子束 集中
e e
e e
B：磁界之方向 i：電子運動方向 F：勞倫茲力
＋
工件
因磁場反轉電子 方向逆轉
＝
側面部分也
e e
可加工
側面經電子束照射後溶融關係
上面０～１５ｍｍ可均 一加工。
照射前
照射後
微細連接鞘
材質：使用SKD材
EBM照射部分
在磁性工作檯上可一次加工50枚 不需要照射改質之部分可用膠帶遮 蔽
連接鞘材質 實績 SKD11・HPM31・DC53・SKH51 HAP40・SKD61・其他
模具經電子束照射後之成形品
嵌件 側 樹脂材 ： PPS LCP（液晶聚合物） PBT
滑動 側
1/100PITCH
2/100
1/100
照射前
2/100PITCH
加工時間 12min
照射後
2/100PITCH
經電子束加工之3次元形狀加工例
遊戲機遙控器之凸形狀
遊戲機遙控器之凹形狀
加工尺寸２００×２００
※形狀高低差在15mm之 內的寬度的物品、可上面、 側面、底面一起溶融加工 寶特瓶瓶口之形狀 寶特瓶底部之形狀
○離形不佳 ○模具髒汙轉印,在成品上造成NG
○須頻繁清潔模具
成形現場經電子束加工後之效果、効用
2．觀察排氣孔部份可了解設計者的構思
所謂通氣孔,是指流道內的空氣有效 排氣的排氣管路,可使射出之溶融樹 脂可輕易充填
排氣孔的設計若不良,容ห้องสมุดไป่ตู้燒焦、形成模垢,所以
排氣孔部分須加強注意
射出成形前
射出成形後
射出成形前
EB加工 ： 貼在磁性工作檯遮蔽後將 兩面加工所需時間2小時
例 ： 一次打磨4個（400ピン）需400小時（50日/小時）若EB加工 8時間（１日/8時間） 即可完成，差距極大。
交點與R角距離的測定,尖角與塌角測定圖表
PIKA面 5個加工条件
客戶 塌角測定資料（顯微鏡）
照射前 No.1 －－－－ R 15μm
可應用之領域
熱鍛造、壓鑄等汽車零組件模具
壽命提高 生産性提昇
經電子束加工總加工時數減少
• 削減手工打磨時間
20
加工時間の比較
18
５０％削減
16 14 12
時間ｈ
ラップ 仕 ラップ 粗 EBM EDM仕 EDM粗
10 8 6 4 2 0
放電＋EBM
放電＋ラッ プ
經電子束加工總精加工時數減少 • 削減手工打磨時間 實際範例
UH430加工面再經EBM加工更可進一步 發揮效果。