先进制造技术-3精密与超精密加工技术
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通常，研磨为次终加工工序，将平面度降低至数 微米以下，并去前道工序(通常为磨削)产生的损伤层。 抛光是目前主要的终加工手段，目的是降低表面粗糙 度并去除研磨形成的损伤层，获得光滑、无损伤的加 工表面。抛光过程中材料去除量十分微小，约为几个 微米。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、3、1 研磨加工的机制和特点
超微细加工以电子束、离子束和激光束三束加工 为基础，采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进 行各种处理。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
4、超精密加工的主要研究领域包括:
超精密加工技术是以高精度为目标的技术， 它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益 求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到 的程度界限，实现新的高精度指标。
6、2 超精密磨削
加工精度：0.1um，Ra0.002~0.02um的磨削方法 超精密磨削一般采用细粒度（80＃－400＃)砂轮，经过 精细修整，光磨4－6次，便可获得粗糙度为Ra 0.005 ~ 0.02 um的加工表面。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（1）超精密磨削表面的形成机制
超精密磨削获得的极低的表面粗糙度，主要靠砂轮精 细修整得到的大量的、等高性很好的微刃来实现微量切削 作用。
升，以后磨损逐渐减慢。 注：由于积屑瘤的原因，一般将研磨好的锋利刀
尖有意加工成理想的稳定的磨损状态。 2）切削速度和振动
提高切削速度有利于获得良好的加工表面，但注意 以不产生振动为准则。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
(a) 直线刃刀头 (b) 直线刃刀头
(c) 圆弧刃刀头
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
精密与超精密加工技术
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
促进超精密加工技术发展的因素：
(1) 对产品高质量的追求 (2) 对产品小型化的追求 (3) 对产品高可靠性的追求 (4) 对产品高性能的追求
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
国际知名超精密加工研究单位与企业主要有： 美国LLNL实验室和Moore公司 英国Granfield大学和Tayler公司 德国Zeiss（蔡司）公司和Kugler公司 日本东芝机械、丰田工机和不二越公司等 国内主要的研究单位有北京机床研究所、清华大学、哈尔滨 工业大学、中国科学院长春光机所应用光学重点实验室、大连理 工大学和浙江工业大学等。
具备形成微刃的粒度才是超精密磨削砂轮选用 的粒度。超精密磨削所选用的磨料粒度为：80～ 400＃。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
普通工件材料的零件宜选用硬度中软、使用陶瓷结合剂且 组织紧密的砂轮，且磨粒分布要均匀；超硬磨料砂轮采用金 属结合剂。 2）砂轮修整的影响
砂轮的修整通常采用车削法和电解法。车削法适用普通 磨料砂轮的修整，而电解法适用超硬磨料砂轮的修整。 ELID砂轮修整方法
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
精密与超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度 的精密加工工艺。随着加工技术的发展，精密加工的技术指标 也在不断变化。
一般加工：精度值1-10μm左右，Ra0.1～0.8μm 精密加工：精度值0.1-1μm左右，Ra0.1μm以下 超精密加工：精度值0.1μm以下，Ra0.02μm以下 纳米加工：精度值低于0.001μm，Ra小于0.005μm
(1)金刚石刀头的特性 (2)金刚石刀头的制造 (3)刀头的使用特性 (4)刀头的形状
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
1) 金刚石的颜色和硬度选用
黄色金刚石：韧性较好，硬度较高，一般用于 金属材料和硬度较低的材料的加工
茶色金刚石：韧性差，硬度最高，一般用于难 切削材料的镜面加工中。 2）热传导率
先进制造技术之四
先进制造技术之四
弹性发射加工研磨抛光
先进制造技术之四
磁力研磨抛光
磁力研磨抛光是利用磁场作用进行研磨加工的新 方法，它能高效、快速地对各种材料、尺寸和结构的 零件进行超精密加工，是一种投资少、效率高、用途 广、质量好的研磨加工方法。
先进制造技术之四
磁力研磨抛光
先进制造技术之四
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
2、超精密技术的发展历程
（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期； （2）20世纪80年代至90年代为民间工业应用初期； （3）20世纪90年代至今为民间工业应用成熟期；
先进制造技术之四
原子弹“小男孩”原件模型
Y-12核武器工厂
先进制造技术之四
先进制造技术之四
亚微米超精密车床先进制造技术之四编辑ppt60非球曲面超精密磨削机床先进制造技术之四编辑ppt61elid超精密镜面磨削机床加工零件的表面粗糙度小于10nm先进制造技术之四编辑ppt621重视世界先进科技的发展积极引进和跟踪高新技术2重视全行业组织以廉价化策略为目标进行整体规划3重视工艺的固化工作4支持以创新为特色的基础研究为了尽快提升我国超精密加工的水平和能力应该加强超精密加工技术的研究力度工厂高校和研究所应密切合作重视以下几方面工作
空气静压导轨
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
摩擦驱动原理图
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（3）超精密加工的工作环境
超精密加工必须在超稳定的环境下进行，主要衡量 指标有三个：
超净 防振 恒温
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、 超精密加工的主要方法
6、1 金刚石刀具镜面切削
砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度 增加，机床振动变大，对工件加工不利。
工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低 一点的工作台速度。
磨削深度不能过大，一般小于0.003mm。
4) 光磨次数的影响 5) 冷却润滑液的影响
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、3 超精密研磨、抛光
研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相 对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。
1987年日本学者大森整提出的在线电解砂轮修整 (electrolytic in process dressing, ELID)方法，可以用于超精密 延性磨削。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
ELID修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在 机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注 的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋 利。
化学－机械研磨抛光
先进制造技术之四
水合研磨抛光
水合研磨抛光是一种积极利用在工件临界面上生 成水合化反应的研磨抛光方法。其主要特点是不使 用磨粒和加工液，而加工装置又与目前使用的研磨 盘或抛光机相似，只是在水蒸汽环境中进行加工。 为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材 料抛光盘。
先进制造技术之四
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
山东理工大学 精密模具省重点实验室
黄雪梅先进Biblioteka 造技术之四精密与超精密加工技术
1、超精密加工技术概述 2、超精密加工技术的发展历程 3、超精密加工的范畴 4、超精密加工的主要研究领域 5、超精密加工的主要方法 6、超精密加工的发展趋势
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
水合研磨抛光
先进制造技术之四
1、概述
精密与超精密加工技术是适应现代技术发 展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代 制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技 术中最活跃的因素,已成为一个国家制造技术水 平的主体。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
世界发达国家均予以高度重视。最近启动的研究 计划包括 ： 美国的NNI(National nanotechnologyinitiative)纳米计划 英国的多学科纳米研究合作计划IRC(Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology)， 日本的纳米技术支撑计划
先进制造技术之四
弹性发射研磨抛光加工
弹性发射加工 (Elastic EmissioMachining,EEM)是 一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微 小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具 (研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持 在45°角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持 载荷是1个常量。EEM采用亚微米（纳米）尺寸微粉 （氧化锆）,微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚 亚胺酯球表面下方与工件间距近似1μm（也就是大于研 磨微粉尺寸)加工工件。
通常使用尺寸为几个um至十几um大小的氧化铝和 碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、3、2 抛光加工的机制与特点
通常使用1um以下的微细磨粒，而抛光器则需要 使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制 材料制成。
超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个 或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的 研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很 高。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
大森整使用ELID方法加工光学玻璃非球面 透镜，精度达到0.2μm，表面粗糙度Ra达20 nm。
砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一 定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切 深、修整次数以及光修次数。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
3) 磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂 轮速度、工作台速度、磨削深度）
另外，要实现超微量的切削，必须配有微量移动工作 台的微进给驱动装置（摩擦驱动方式）和满足刀具角度微 调的微量进给机构，并实现数字控制。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
1）主轴：要求极高的回转精度和刚度。
空气静压轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的回转精度。
先进制造技术之四
2) 导轨及进给驱动装置：动作灵活，无爬行等不连 续动作， 直线精度好。通常采用空气静压导轨 。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（2） 影响超精密磨削质量的主要因素：
1）砂轮特性的影响：磨料材料、粒度、结合剂
磨料材料与工件材料的选配应遵循以下基本规 律：钢件和铸铁零件应选用单晶刚玉砂轮；对铜合 金和铝合金零件，单晶刚玉和碳化硅磨料均可；硬 脆材料零件的超精密磨削，应选用立方氮化堋、金 刚石磨料的砂轮。
超精密切削中的加工刀具，一般指天然单晶金刚 石刀具。超精密切削中必须保证金刚石刀具的刀面与 刃口质量。
超精密磨削的加工刀具砂轮的磨料品级与力度均 匀性在加工中十分重要。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（2）超精密加工设备
目前的超精密加工机床一般采用高精度空气静压轴承 支撑主轴系统；空气静压导轨支撑进给系统的结构模式。
金刚石的热传导率是矿物中最大的，切削加工 中发热量非常小。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
天然金刚石的加工多采用研磨加工方法，通 常采用空气轴承研磨机，由于振动小，可达到很 低的粗糙度和极小的刃口半径。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
1）刀尖的磨损 在切削距离到达100km以前，后刀面磨损急剧上
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
3、超精密加工的范畴
超精密切削（车削、铣削） 超精密磨削 超精密研磨、抛光 微细（超微细，纳米）加工
宏观加工技术 微观加工技术
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
微细（超微细）加工是在半导体集成电路制造技 术的基础上形成并发展的,是大规模集成电路和计算 机技术的基础，是信息时代、微电子时代、光电子时 代的关键制造技术之一。
化学机械－研磨抛光（CMP)
化学机械抛光分为干式和湿式抛光两种。干式抛 光是报道较多的用于加工蓝宝石材料的抛光方法。湿 式抛光法已被世界上广泛接受为一种加工半导体硅片 的标准方法。
先进制造技术之四
化学机械－研磨抛光（CMP)
先进制造技术之四
化学－机械研磨抛光
粗研 粗抛
精研 精抛(CMP)
先进制造技术之四
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（1）超精密切削刀具，刀具材料； （2）超精密加工设备； （3）超精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁 净控制等)； （4）超精密加工的测控技术。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
（1）超精密加工刀具
超精密加工要求刀具能均匀地去除不大于工件加 工精度且厚度极薄的金属层或非金属层。
随着磨削时间的增加，微刃被磨的平坦，等高性获得 改善，作用在每一个微刃上的磨削力减小。随着磨削作用 力的减小，磨粒的摩擦抛光作用加强。这种摩擦、抛光作 用在精密磨削过程中对稳定尺寸、降低表面粗糙度都起至 关重要的作用。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
硬脆材料超精密磨削的主要方式－延性磨削
在硬脆材料磨削加工中，为了使加工表面不产生脆性 断裂现象，使材料以“塑性”流动方式去除，必须保证未 变形切削厚度小于脆性-塑性(或称延性)转换临界值。该临 界值因材料而异，大约为0.1μm。能满足这种磨削条件的方 式称为延性磨削方式。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、3、1 研磨加工的机制和特点
超微细加工以电子束、离子束和激光束三束加工 为基础，采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进 行各种处理。
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精密与超精密加工技术
4、超精密加工的主要研究领域包括:
超精密加工技术是以高精度为目标的技术， 它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益 求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到 的程度界限，实现新的高精度指标。
6、2 超精密磨削
加工精度：0.1um，Ra0.002~0.02um的磨削方法 超精密磨削一般采用细粒度（80＃－400＃)砂轮，经过 精细修整，光磨4－6次，便可获得粗糙度为Ra 0.005 ~ 0.02 um的加工表面。
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精密与超精密加工技术
（1）超精密磨削表面的形成机制
超精密磨削获得的极低的表面粗糙度，主要靠砂轮精 细修整得到的大量的、等高性很好的微刃来实现微量切削 作用。
升，以后磨损逐渐减慢。 注：由于积屑瘤的原因，一般将研磨好的锋利刀
尖有意加工成理想的稳定的磨损状态。 2）切削速度和振动
提高切削速度有利于获得良好的加工表面，但注意 以不产生振动为准则。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
(a) 直线刃刀头 (b) 直线刃刀头
(c) 圆弧刃刀头
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精密与超精密加工技术
精密与超精密加工技术
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
促进超精密加工技术发展的因素：
(1) 对产品高质量的追求 (2) 对产品小型化的追求 (3) 对产品高可靠性的追求 (4) 对产品高性能的追求
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精密与超精密加工技术
国际知名超精密加工研究单位与企业主要有： 美国LLNL实验室和Moore公司 英国Granfield大学和Tayler公司 德国Zeiss（蔡司）公司和Kugler公司 日本东芝机械、丰田工机和不二越公司等 国内主要的研究单位有北京机床研究所、清华大学、哈尔滨 工业大学、中国科学院长春光机所应用光学重点实验室、大连理 工大学和浙江工业大学等。
具备形成微刃的粒度才是超精密磨削砂轮选用 的粒度。超精密磨削所选用的磨料粒度为：80～ 400＃。
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精密与超精密加工技术
普通工件材料的零件宜选用硬度中软、使用陶瓷结合剂且 组织紧密的砂轮，且磨粒分布要均匀；超硬磨料砂轮采用金 属结合剂。 2）砂轮修整的影响
砂轮的修整通常采用车削法和电解法。车削法适用普通 磨料砂轮的修整，而电解法适用超硬磨料砂轮的修整。 ELID砂轮修整方法
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精密与超精密加工技术
精密与超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度 的精密加工工艺。随着加工技术的发展，精密加工的技术指标 也在不断变化。
一般加工：精度值1-10μm左右，Ra0.1～0.8μm 精密加工：精度值0.1-1μm左右，Ra0.1μm以下 超精密加工：精度值0.1μm以下，Ra0.02μm以下 纳米加工：精度值低于0.001μm，Ra小于0.005μm
(1)金刚石刀头的特性 (2)金刚石刀头的制造 (3)刀头的使用特性 (4)刀头的形状
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精密与超精密加工技术
1) 金刚石的颜色和硬度选用
黄色金刚石：韧性较好，硬度较高，一般用于 金属材料和硬度较低的材料的加工
茶色金刚石：韧性差，硬度最高，一般用于难 切削材料的镜面加工中。 2）热传导率
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先进制造技术之四
弹性发射加工研磨抛光
先进制造技术之四
磁力研磨抛光
磁力研磨抛光是利用磁场作用进行研磨加工的新 方法，它能高效、快速地对各种材料、尺寸和结构的 零件进行超精密加工，是一种投资少、效率高、用途 广、质量好的研磨加工方法。
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磁力研磨抛光
先进制造技术之四
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精密与超精密加工技术
2、超精密技术的发展历程
（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期； （2）20世纪80年代至90年代为民间工业应用初期； （3）20世纪90年代至今为民间工业应用成熟期；
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原子弹“小男孩”原件模型
Y-12核武器工厂
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先进制造技术之四
亚微米超精密车床先进制造技术之四编辑ppt60非球曲面超精密磨削机床先进制造技术之四编辑ppt61elid超精密镜面磨削机床加工零件的表面粗糙度小于10nm先进制造技术之四编辑ppt621重视世界先进科技的发展积极引进和跟踪高新技术2重视全行业组织以廉价化策略为目标进行整体规划3重视工艺的固化工作4支持以创新为特色的基础研究为了尽快提升我国超精密加工的水平和能力应该加强超精密加工技术的研究力度工厂高校和研究所应密切合作重视以下几方面工作
空气静压导轨
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精密与超精密加工技术
摩擦驱动原理图
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精密与超精密加工技术
（3）超精密加工的工作环境
超精密加工必须在超稳定的环境下进行，主要衡量 指标有三个：
超净 防振 恒温
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精密与超精密加工技术
6、 超精密加工的主要方法
6、1 金刚石刀具镜面切削
砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度 增加，机床振动变大，对工件加工不利。
工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低 一点的工作台速度。
磨削深度不能过大，一般小于0.003mm。
4) 光磨次数的影响 5) 冷却润滑液的影响
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
6、3 超精密研磨、抛光
研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相 对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。
1987年日本学者大森整提出的在线电解砂轮修整 (electrolytic in process dressing, ELID)方法，可以用于超精密 延性磨削。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
ELID修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在 机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注 的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋 利。
化学－机械研磨抛光
先进制造技术之四
水合研磨抛光
水合研磨抛光是一种积极利用在工件临界面上生 成水合化反应的研磨抛光方法。其主要特点是不使 用磨粒和加工液，而加工装置又与目前使用的研磨 盘或抛光机相似，只是在水蒸汽环境中进行加工。 为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材 料抛光盘。
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精密与超精密加工技术
山东理工大学 精密模具省重点实验室
黄雪梅先进Biblioteka 造技术之四精密与超精密加工技术
1、超精密加工技术概述 2、超精密加工技术的发展历程 3、超精密加工的范畴 4、超精密加工的主要研究领域 5、超精密加工的主要方法 6、超精密加工的发展趋势
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
水合研磨抛光
先进制造技术之四
1、概述
精密与超精密加工技术是适应现代技术发 展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代 制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技 术中最活跃的因素,已成为一个国家制造技术水 平的主体。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
世界发达国家均予以高度重视。最近启动的研究 计划包括 ： 美国的NNI(National nanotechnologyinitiative)纳米计划 英国的多学科纳米研究合作计划IRC(Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology)， 日本的纳米技术支撑计划
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弹性发射研磨抛光加工
弹性发射加工 (Elastic EmissioMachining,EEM)是 一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微 小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具 (研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持 在45°角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持 载荷是1个常量。EEM采用亚微米（纳米）尺寸微粉 （氧化锆）,微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚 亚胺酯球表面下方与工件间距近似1μm（也就是大于研 磨微粉尺寸)加工工件。
通常使用尺寸为几个um至十几um大小的氧化铝和 碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。
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精密与超精密加工技术
6、3、2 抛光加工的机制与特点
通常使用1um以下的微细磨粒，而抛光器则需要 使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制 材料制成。
超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个 或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的 研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很 高。
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精密与超精密加工技术
大森整使用ELID方法加工光学玻璃非球面 透镜，精度达到0.2μm，表面粗糙度Ra达20 nm。
砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一 定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切 深、修整次数以及光修次数。
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精密与超精密加工技术
3) 磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂 轮速度、工作台速度、磨削深度）
另外，要实现超微量的切削，必须配有微量移动工作 台的微进给驱动装置（摩擦驱动方式）和满足刀具角度微 调的微量进给机构，并实现数字控制。
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精密与超精密加工技术
1）主轴：要求极高的回转精度和刚度。
空气静压轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的回转精度。
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2) 导轨及进给驱动装置：动作灵活，无爬行等不连 续动作， 直线精度好。通常采用空气静压导轨 。
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（2） 影响超精密磨削质量的主要因素：
1）砂轮特性的影响：磨料材料、粒度、结合剂
磨料材料与工件材料的选配应遵循以下基本规 律：钢件和铸铁零件应选用单晶刚玉砂轮；对铜合 金和铝合金零件，单晶刚玉和碳化硅磨料均可；硬 脆材料零件的超精密磨削，应选用立方氮化堋、金 刚石磨料的砂轮。
超精密切削中的加工刀具，一般指天然单晶金刚 石刀具。超精密切削中必须保证金刚石刀具的刀面与 刃口质量。
超精密磨削的加工刀具砂轮的磨料品级与力度均 匀性在加工中十分重要。
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（2）超精密加工设备
目前的超精密加工机床一般采用高精度空气静压轴承 支撑主轴系统；空气静压导轨支撑进给系统的结构模式。
金刚石的热传导率是矿物中最大的，切削加工 中发热量非常小。
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精密与超精密加工技术
天然金刚石的加工多采用研磨加工方法，通 常采用空气轴承研磨机，由于振动小，可达到很 低的粗糙度和极小的刃口半径。
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1）刀尖的磨损 在切削距离到达100km以前，后刀面磨损急剧上
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3、超精密加工的范畴
超精密切削（车削、铣削） 超精密磨削 超精密研磨、抛光 微细（超微细，纳米）加工
宏观加工技术 微观加工技术
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微细（超微细）加工是在半导体集成电路制造技 术的基础上形成并发展的,是大规模集成电路和计算 机技术的基础，是信息时代、微电子时代、光电子时 代的关键制造技术之一。
化学机械－研磨抛光（CMP)
化学机械抛光分为干式和湿式抛光两种。干式抛 光是报道较多的用于加工蓝宝石材料的抛光方法。湿 式抛光法已被世界上广泛接受为一种加工半导体硅片 的标准方法。
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化学机械－研磨抛光（CMP)
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化学－机械研磨抛光
粗研 粗抛
精研 精抛(CMP)
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精密与超精密加工技术
（1）超精密切削刀具，刀具材料； （2）超精密加工设备； （3）超精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁 净控制等)； （4）超精密加工的测控技术。
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精密与超精密加工技术
（1）超精密加工刀具
超精密加工要求刀具能均匀地去除不大于工件加 工精度且厚度极薄的金属层或非金属层。
随着磨削时间的增加，微刃被磨的平坦，等高性获得 改善，作用在每一个微刃上的磨削力减小。随着磨削作用 力的减小，磨粒的摩擦抛光作用加强。这种摩擦、抛光作 用在精密磨削过程中对稳定尺寸、降低表面粗糙度都起至 关重要的作用。
先进制造技术之四
精密与超精密加工技术
硬脆材料超精密磨削的主要方式－延性磨削
在硬脆材料磨削加工中，为了使加工表面不产生脆性 断裂现象，使材料以“塑性”流动方式去除，必须保证未 变形切削厚度小于脆性-塑性(或称延性)转换临界值。该临 界值因材料而异，大约为0.1μm。能满足这种磨削条件的方 式称为延性磨削方式。