原子力显微镜指标

原子力显微镜（AFM）的指标主要涉及分辨率和成像模式。

分辨率：AFM的分辨率可以从侧向分辨率和垂直分辨率两个角度来衡量。

侧向分辨率主要由采集图像的步宽和针尖形状决定。

在扫描样品尺寸超过1μm x 1μm时，AFM的侧向分辨率主要由采集图像的步宽决定。

而在扫描样品尺寸较小，且探针的侧面角较大时，AFM的侧向分辨率可以达到较高水平。

垂直分辨率也与针尖有关。

针尖的曲率半径决定了最高侧向分辨率，而针尖侧面角则决定了最高表面比率特征的探测能力。

成像模式：AFM有接触模式和非接触模式两种成像模式。

在接触模式下，针尖与样品表面距离小，利用原子间的斥力，可以获得高解析度的图像。

然而，这种模式可能会对样品造成变形和针尖受损，不适合于表面柔软的材料。

非接触模式则是针尖距离样品5-20nm，利用原子间的吸引力。

这种模式对样品表面无损伤，可以测试表面柔软样品，但分辨率较低，且可能出现误判现象。