影响SI-GaAs单晶抛光片均匀性的因素研究

影响SI-GaAs单晶抛光片均匀性的因素研究
赖占平;齐德格;高瑞良;杜庚娜;刘晏凤;刘建宁
【期刊名称】《人工晶体学报》
【年(卷),期】2000(29)2
【摘要】高度PLmapping均匀的SI GaAs单晶抛光片是制作大功率微波器件和大规模超高速数字集成电路的理想衬底。

本工作对影响SI GaAs单晶抛光片均匀性的各种因素进行了研究。

发现位错密度对晶体的宏观电阻率均匀性和微观均匀性以及PLmapping均匀性都有一定的影响 ;而晶体的AB EPD和抛光工艺对PLmapping均匀性影响更大 ,AB EPD与热处理工艺有关。

对实验现象进行了解释。

【总页数】4页(P176-179)
【关键词】砷化镓;单晶;均匀性;抛光片;缺陷;衬底;集成电路
【作者】赖占平;齐德格;高瑞良;杜庚娜;刘晏凤;刘建宁
【作者单位】信息产业部电子第四十六研究所
【正文语种】中文
【中图分类】TN304.230;TN431.2
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