真空镀膜机技术参数
真空镀膜机基本技术要求
5、供电电源：380V 三相 50Hz 或 220V 单相
50Hz(由所用电器需要而定)；电压波动范围： 342-399V 或 198-231V；
着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
频率波动范围：49-51Hz. 6、设备所需的压缩空气，液氮，冷水、热
水等的压力、温度，消耗量等，均应在产品使用
着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
的位置。 6、合理布置加热装置，一般加热器结构布
局应使被镀工件温升均匀一致。 7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设
着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
计应使工件膜层均匀 8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和
离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常
说明书中写明。
着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
7、设备周围环境整洁，空气清洁，不应有
引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间 导电的尘埃或气体存在。
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着填答的方框，久久不能下笔，一番迷பைடு நூலகம்过后，趴在桌子
放电装置，维持稳定
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9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电
阻值的大小，均按 GB/T11164-1999 中的 4.4.6
1、环境温度：10-30oC 2、相对湿度：不大于 75%
着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
3、冷却水进水温度：不高于 25oC 4、冷却水质：城市自来水或相当质量的水
1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零
部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合 GB/T6070 的规定。
DM-450A真空镀膜机
到 位 免 费安 装 调试 长 期负 责维 修 咨询 定 期
技术培 训 服 务全 面 而 且 周 到 主要技 术性 能参数 镀 膜室尺寸
540mm
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北 京仪 器 厂 坚持 推 行全 面 质 量 管 理 按
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质量保证 建立 质量
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DM-450C真空镀膜机
保 证 膜 层 均 匀 结构可 靠 适应 性强 操作方便
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光学 测 厚 仪等 其 他 附件 其 蒸 发速率 和 膜层 厚
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热蒸发式真空镀膜仪技术参数
热蒸发式真空镀膜仪技术参数1. 工作条件1.1电力供应：380V（±6%），50Hz，功率不高于15KW，地线对地电阻4Ω1.2工作温度：15︒C-25︒C1.3工作湿度：< 60% (20︒C)1.5仪器运行的持久性：仪器可连续使用1.6 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定1.7 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准2. 设备用途：实现热蒸发式碳膜喷镀。
特别用于低温单颗粒三维重构中的的低温样品载网支持膜制备，确保样品制备中载网支持膜的导电性和良好的支撑性能。
3. 技术规格3.1 真空镀膜腔室尺寸不小于Ø350×H350mm3.2 真空镀膜腔室配有观察窗。
3.3 真空系统为无油系统。
*3.4 极限真空：≤5×10-5Pa*3.5 暴露大气10分钟内并充干燥氮气开始抽气，30分钟真空度≤6×10-4Pa，两小时内真空度≤1×10-4Pa。
3.6 设两组蒸碳电极，并配备直径3mm碳棒卡套。
蒸发电源为2kW/8V直流恒流电源3.7 蒸碳电极周围配备挡板，实现定向碳棒喷镀，降低真空腔体表面污染3.8 在样品与蒸发源间设有高度可调的电动挡板3.9 样品台可在电机驱动下绕自身轴线旋转，也可静止喷镀。
3.10 留出供inficon-SQC310C膜厚仪进行膜厚测量的接口注：*表示必须满足且重要的指标4. 技术文件：4.1 投标人应提供仪器主体及主要附件的详细的操作，安装，及调整说明书。
4.2投标人应提供电子版说明书。
5.技术服务5.1 设备安装、调试和验收5.1.1现场安装；现场调试；按照买方和卖方双方同意的标准对主机、附件，软件的性能和功能进行测试；在买方对主机、附件，软件的性能和功能进行测试合格的基础上，由买方授权人签字验收。
5.1.2服务：在中国设立两家或以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，北京地区至少1名工程师，能提供及时有效的售后服务。
ZZ1100箱式真空镀膜机说明书
1、概述本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。
整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。
蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。
蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。
阀门采用气动，操作方便，使用可靠。
液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。
蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。
本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。
本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。
是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
2、主要技术数据2.1真空：2.1.1极限真空：2×10-4Pa。
2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。
2.2 蒸发室：2.2.1直径：内部为φ1100mm。
2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。
2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。
3.3工件夹具：2.3.1外径φ1000mm。
2.3.2锥形球面夹具：2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。
2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。
2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定，功率5KW/只。
2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V2.8抽气系统2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s2.9光路系统：2.9.1透、反射光路。
2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。
2.10其它2.10.1电源：3相220V/380V 50Hz2.10.2总功率：约40KW2.10.3耗水：约30L/min2.10.4压缩空气：5～6Mpa2.10.5水压:0.2～0.25MPa2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控电柜：1400×600×2100（宽×深×高）3、工作原理及结构说明该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。
ZZ1100箱式真空镀膜机说明书解析
1、概述本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。
整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。
蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。
蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。
阀门采用气动，操作方便，使用可靠。
液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。
蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。
本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。
本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。
是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
2、主要技术数据2.1真空：2.1.1极限真空：2×10-4Pa。
2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。
2.2 蒸发室：2.2.1直径：内部为φ1100mm。
2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。
2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。
3.3工件夹具：2.3.1外径φ1000mm。
2.3.2锥形球面夹具：2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。
2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。
2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定，功率5KW/只。
2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V2.8抽气系统2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s2.9光路系统：2.9.1透、反射光路。
2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。
2.10其它2.10.1电源：3相220V/380V 50Hz2.10.2总功率：约40KW2.10.3耗水：约30L/min2.10.4压缩空气：5～6Mpa2.10.5水压:0.2～0.25MPa2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控电柜：1400×600×2100（宽×深×高）3、工作原理及结构说明该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。
ZZ-1880型有机玻璃真空镀膜机
2 2
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型 有 机 玻 璃 真 空 镀 膜 机
主 要 技 术参 数
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、
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真空卷绕镀膜设备通用技术要求
真空卷绕镀膜设备通用技术要求一、设备概述真空卷绕镀膜设备是一种在真空环境中，通过物理或化学方法，将金属、非金属或其他材料均匀地沉积或涂覆在薄膜或基材上的设备。
它广泛应用于电子、光学、装饰、医疗等领域，可以用于制造各种高性能和高精度的薄膜产品。
二、设备通用技术要求1. 设备设计应符合安全、环保和人性化的原则，易于操作和维护，能够实现高效、稳定和连续的镀膜生产。
2. 设备应具备完整的电气控制系统，能够实现自动控制和调节，包括温度、真空度、镀膜厚度等关键参数。
3. 设备应具备有效的清洗和防污染措施，能够保证设备的清洁度和薄膜的质量。
4. 设备应具备可靠的机械传动系统，能够保证设备的稳定运行和长寿命。
5. 设备应具备完整的真空系统，能够保证设备的真空度和清洁度。
6. 设备应具备完善的冷却系统，能够保证设备的正常运行和防止热变形。
7. 设备应具备安全保护装置，能够防止意外事故的发生。
8. 设备应符合相关的环保要求，能够实现废气、废水和固废的合理处理。
9. 设备应具备良好的可维修性和可维护性，方便进行定期的检修和保养。
10. 设备应具备稳定的性能和可靠的质量，能够保证生产的顺利进行和产品的质量稳定。
三、设备的关键技术参数1. 镀膜材料：设备的镀膜材料应具备高纯度、高密度、高附着力和良好的稳定性。
2. 镀膜厚度：设备的镀膜厚度应具备高精度和高均匀性，能够满足产品的性能要求。
3. 真空度：设备的真空度应能够达到一定的水平，以保证薄膜的质量和性能。
4. 温度：设备的温度控制应精确稳定，以保证镀膜材料的熔融和结晶过程。
5. 清洁度：设备的清洁度应能够达到一定的水平，以保证薄膜的质量和性能。
6. 生产效率：设备的生产效率应能够满足生产的需求，以提高生产的效率和降低成本。
7. 自动化程度：设备的自动化程度应高，能够实现自动控制和调节，减少人工操作和提高生产效率。
8. 安全性：设备的安全性应符合相关的标准和规范，能够保证操作人员的安全和设备的稳定运行。
真空镀膜设备优秀文档
E-mail:i四nfo@、有偿售后服务收费标准
⑴未经佛欣真空售后服务中心同意，私自改装、修理、更改或拆卸而造成的故障或损坏;
⑵1、因现自场然1安、灾装害调佛等试不欣后可，真抗售力后空（工如对程地师首震免、费次火为灾服您等提务）供原两客因小造户时成安提的全故操供障作或一、损维次坏护。免费的安装调试及人员的培训服
售后服务热线:400-608-6928 E-mail:info@ QQ: 1156505469 售后服务中心地址：佛山市南海区机场路联和丰岗工业区一路
注：以上服务信息如有变化，恕不另行通知，请以佛欣真空官方网站为准；本售 后服务条款最终解释权归佛欣真空所有。
感谢观看
1、佛欣真空对首次服务客户提供一次免费的安装调试及人员的培训服务，保修期内，如出现人为或者不按正常操作使用下，佛欣真空 会按公司规定适当收取一定人工费及配件费用。 2、保管及使用等造成的故障或损坏等等； ⑴免费保修期内，如须更换配件需提供产品的铭牌型号、出厂编号、损坏部件实 ⑵产品或部件已经超出保修期； 1、现场安装调试后，售后工程师免费为您提供两小时安全操作、维护 保养及使用培训 。 适用于各类货物的表面镀膜（如：工模刃具、水晶玻璃、手机外壳等），实现高效率表面加工处理作业。 三、不属于免费保修 1、属于下列情况的故障或损坏，无论是否在保修期限之内，均不在本服务承诺之内： ⑴无法证明佛欣真空标识的产品； ⑵产品或部件已经超出保修期； 适用于各类货物的表面镀膜（如：工模刃具、水晶玻璃、手机外壳等），实现高效率表面加工处理作业。 2、保管及使用等造成的故障或损坏等等；
保养及使用培训 。
2、保修务期内，，保在产修品正期常内使用，情况如下出，非现人为人因为素造或成的者损不坏，按如需正提常供维操修服作使用下，佛欣真空会按
富森真空镀膜机
产品介绍
Part
2
尺寸：直径1.8m高1.6m
功能：五金件卫浴件水龙头方式：溅射离子镀电弧离子镀
尺寸：直径1.5m高1.5m
功能：塑胶产品花洒
方式：溅射离子镀电弧离子镀
尺寸：直径1.8m高1.5m 功能：水龙头花洒
方式：电弧离子镀
尺寸：直径2.2m高4m
功能：不锈钢型材楼梯扶手展示架道具屏风方式：电弧离子镀
尺寸：直径1.6m高1.5m
功能：手机壳表壳表带五金件方式：磁控溅射电弧离子镀
尺寸：直径2m高1.8m
功能：汽车轮毂镀膜汽车配件镀膜方式：溅射离子镀
功能：手机壳金属件表壳表带方式：溅射离子镀电弧离子镀
尺寸：直径1.8m高4m
直径2m 高4m
直径2.2 高4m 功能：不锈钢板材型材方式：电弧离子镀
尺寸：直径1.8m高1.6m 功能：陶瓷镀膜
方式：电弧离子镀
尺寸：直径1.3m高1.5m
功能：汽车配件镀膜车标镀膜方式：溅射离子镀电弧离子镀
尺寸：直径1.3m高1.5m
功能：卫浴水龙头花洒五金件方式：电弧离子镀
尺寸：直径1.5m高1.2m 功能：汽车反光镜镀膜方式：溅射离子镀
尺寸：直径3.4m 高
2.2m
功能：热发电
反
光
瓦镀
膜方式：溅射离子镀
尺寸：直径1m高1m
功能：刀具镀膜模具镀膜
方式：电弧离子镀溅射离子镀。
真空镀膜生产参数表
30 4 KG 8 M 30 4.5 KG 1
除尘转料 温/湿度 喷房供风 除尘转料 温/湿度 2
20
UV转料 烘烤时间 5min
使用机台 IR温度 喷枪支数 使用机台 15min 5 IR温度 6 7
primer 70 ℃ 8 primer 70 ℃
30 20
喷房抽风 UV转料 烘烤时间
油漆配比
3
5167-000410 : 3900-6025 : 3000-6125 100 10 µm - 12 µm 油漆粘度 8″ : 5 : 2000
主轴速度
8 M
喷房供风
30
喷房抽风
32
喷枪支数
7
喷房转料 喷房气压 主轴速度 喷房转料 喷房气压 UV灯盏数 UV能量 百分比 UV能量数 主轴速度 喷房转料 喷房气压 主轴速度 喷房转料 喷房气压 UV灯盏数
产品放置方式 产品数量/炉 钨丝形状 温 湿 度 度 上涂
尾 5509-30001 ： 5509-30001M：3000-6158 30 顶 膜厚 侧 尾 ： 70 ： 50
油漆配比
12 µm - 14 µm 油漆粘度
备注说明：
核
准
阳极氧化 + PPS 设备参数
7
primer 70 ℃ 8 primer 70 ℃ 8
版 页
本 码
A1 1/1 2015-3-6 FINIA-04-FRD-007 MX85
FINIA
生产参ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ基准书
客
涂层 primer 配比 下涂 primer 顶 膜厚 侧 尾 5268-016450 : 3900-3088 : 3000-2214 100 下涂 顶 膜厚 侧 尾 中涂 primer primer配 比 膜厚 6 µm - 8 µm 油漆粘度 6 µm - 8 µm 油漆粘度 9″50 : 5 : 150
真空镀膜操作注意事项
1、概述DM220型高真空镀膜台主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜，也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜，以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层，也可对某些小零件作真空加热定型处理，配件附上，可作旋转倾斜、离子溅射、离子减薄、离子电镀和冰冻蚀刻等用途。
DM220型高真空镀膜台结构紧凑、小巧、美观大方、操作方便，可靠性好，其真空示意图见图所示。
2、主要技术参数：2.1 真空室容积Ø 220*230mm2.2 蒸发电流50A2.3 蒸发电压20V2.4 工作真空度 2.7*10^-3 Pa2.5 主机功能单相50HZ 220V 2KVA2.6 外形尺寸640*300*940（长*宽*高）mm2.7质量（净重）小于70Kg3、工作原理该仪器是采用了淀积原理的技术，对试样进行表面镀膜，也可作真空定型，真空清洗。
4、结构特点：4.1 结构该仪器分为独立的五大部件a、真空系统b、安全保护系统c、工作室d、控制系统e、供电系统4.2 特点4.21 仪器采用了机械、电气相结合，自锁、互锁相结合的保护系统。
4.22 仪器配有可升降的试样台，从50mm~75mm，满足不同距离的喷镀要求。
4.23 仪器突然停电后真空泵能自动进气以免真空泵返油，再恢复供电时，仪器不会自动启动。
4.24 仪器配上定向蒸发套，可在小区域内进行喷镀，避免整个钟罩污染。
5、安装调试和安全使用5.1、安装条件5.1.1 工作室内环境应清洁，不应有可能引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间导电尘埃和气体的存在。
5.1.2 环境温度10℃~30℃5.1.3 相对湿度不大于80%5.1.4 冷却水进水温度不高于25℃5.1.5 供电电源单相220V 电压波动范围 198-231V 频率波动范围49-51HZ 容量不小于2KVA5.2、调试和安全使用5.2.1 检查所有紧固件不得有松动，电器接插件应接触良好。
安装时应看图一。
真空镀膜机技术指标
真空镀膜机技术指标用途：本产品主要用于光学零件真空制备激光膜镀膜主要结构：真空室体、真空获得系统、工件转动系统、水冷却系统、气动系统、蒸发镀膜系统、电器控制系统等组成1.真空室：1.1.内腔尺寸：φ800×1000mm 。
蒸发室与抽气室整体连接。
底板为22mm，壁厚为5mm。
1.2.形式：立式前开门，室体门有装饰面板。
1.3.材料：优质不锈钢U304材料；外壁通冷却水。
1.4.防污板：真空室内衬优质不锈钢材料防污板，装卸简单方便（二套）。
1.5.观察窗：门上部斜趋式窗口一个，门下部中央设观察窗口一个。
窗口为直接水冷式，装备有耐高温玻璃、防辐射玻璃和防强光防护镜。
1.6.门上配备高压保护装置及开门限位装置。
2.真空系统：2.1.极限真空：2.8×10－4Pa。
2.2.恢复真空时间：大气→4×10－3Pa≤15min。
2.3.漏气率：在极限真空达到后关闭所有阀门,一小时真空度应≤3×10-1Pa。
2.4.测试方法：按照GB11164真空镀膜机通用技术条件测试，测试仪器为ZDF－Ⅲ型数字真空计。
2.4.1.真空度检测位置在抽气室侧面及在蒸发室电子枪上方200mm处。
2.4.2.室温环境应为真空室清洁、蒸发室无样品、镀膜材料。
2.4.3. 蒸发室烘烤后、经干燥氮气充气。
2.4.4.低真空测量：ZJ-25型电阻规，测量范围1×103 Pa～10-1Pa。
2.4.5.高真空测量：ZJ-27型电离规，测量范围10Pa～10-5Pa。
2.4.6. 测量规管加金属保护套。
2.5.真空系统配置：－630扩散泵+2X－70机械泵（TK－630扩散泵抽速12000L/S， 2X－70机械泵抽速70L/S）。
2.5.2.为了有效防止扩散泵返油，在泵口上方配紧密型水冷阱。
2.5.3.在抽气口设置百叶窗挡板和防滑片栅网，拆卸清洗方便2.6.真空系统测量点：电阻规二点、电离规一点。
一种使用寿命更长的真空磁控溅射镀膜机介绍
一种使用寿命更长的真空磁控溅射镀膜机介绍概述真空磁控溅射镀膜机是一种常用的薄膜材料表面处理设备。
它的原理是利用气体放电在真空室内，使靶材表面的原子或分子被击中并喷向基材反应形成膜层。
但是，传统的镀膜机存在一些缺点，如使用寿命短、能源浪费、制备精度低等。
为了克服这些问题，推出了一种使用寿命更长的真空磁控溅射镀膜机。
镀膜设备的特点这种真空磁控溅射镀膜机大大提高了靶材的利用率和使用寿命。
其主要特点如下：•冷压缩空气冷却：镀膜设备采用冷压缩空气冷却的方式降低了设备温度，减少了靶材的脆裂、脱落和扭曲等问题。
与传统的水冷方式相比，其不会产生腐蚀，处理效果更佳。
•智能化控制：镀膜机加入了智能化控制系统，可以实现远程监控和管理，通过它可以实时监测温度、真空度和压力等关键参数，以满足用户不同的工艺需求。
•权威认证：这种真空磁控溅射镀膜机已通过了ISO9001质量管理、ISO14001环境管理和CE安全标准认证，证书齐全、真实可靠，让用户使用更加放心。
镀膜机的应用领域这种镀膜机可用于制造晶体管、微处理器、CD、DVD、光学器件、太阳能电池等需求高精度镀膜的产品，同时在触摸屏、玻璃、陶瓷等方面也有广泛的应用。
镀膜设备的技术参数•镀膜方法：真空磁控溅射•靶材直径：2英寸、3英寸、4英寸和6英寸等•镀膜膜层类型：透明导电膜、金属膜、合金膜•镀膜材料：铜、铬、钒、铁、钴、镍、锌、锗、银、金等•温度控制：常温-450℃（±1℃）•泵速范围：磁悬浮分子泵速度范围：200~1400L/s•真空度：1×10⁻⁵Pa以下结论综上所述，这种新型真空磁控溅射镀膜机的出现，为满足市场需求提供了更好的选择。
它寿命更长、技术更精良、功能更强大、应用范围更广，成为薄膜材料表面处理行业的一项重要技术创新。
真空镀膜机配置及技术参数
真空镀膜机配置及技术参数1.镀膜室内尺寸：直径Ф1350mm，高1100mm2. 极限真空度：5×10-3Pa（空载、干燥、洁净）3.恢复真空抽气时间：从大气抽至5×10-2Pa≤8min（空载、干燥、洁净）4.循环水量：7T/hr5.漏气率：小于0.7Pa/小时6.功率：60KVA7.加热功率24KW8.烘烤温度：小于400度2、真空镀膜机主要配置项目生产厂家说明真空室真空室结构采用碳钢制造，箱式单开门结构，门、壳体、加热管等用冷却水管冷却，真空室底板开数个Φ32.5mm安装孔，以便安装电子枪、气动挡板等部件，并预留3个备用孔。
真空室尺寸立式（直径×高度）：1350×1100㎜观察窗门上安装3只直径100mm的观察窗，带防强光及防污挡板防污衬板2套，厚1mm，304不锈钢制造工件架材料吊装伞式工件盘2套，采用碳钢制造，表面镀铬，直径约1100mm。
上旋转方式，转速3-30rpm。
开孔尺寸按客户要求。
粗抽南光2X-70旋片泵1台。
增压泵上海萃曼RTO-600罗茨泵1台精抽泵KT-630扩散泵1台抽气系统维持泵南光2X-15旋片泵1台加热系统铠装加热上烘烤为3组4KW加热管加热，侧烘烤采用3组4KW加热管加热。
合计24KW，PID控制，控温准确。
真空计成都正华ZDF-III型复合数显真空计控制方式抽真空、加热、电子枪蒸发等全部采用手动控制电器元件台湾士林，德力西等优质名牌电控系统报警系统电路过载，水压，气压不足报警电子枪采用成都产6KW电子枪一台。
蒸发系统坩埚水冷却4穴位坩埚膜厚监控系统 晶振 英富康 SQM-160（暂时未按装）离子源：霍尔源 需要的话，可以添加联系人：刘伟189****1899。
SJ-Z450A镀膜机报价单-北仪
SJ-Z450A真空镀膜机技术配置SJ-Z450A镀膜机为北京北仪创新真空技术有限责任公司的标准定型产品，用来蒸镀半导体行业所需的各种电学膜、光学镜片的反射膜及各种装饰性薄膜。
一、机架机架采用型钢焊接而成，前、左、右有门。
机架后部装有水气路。
机架装有脚轮及支腿，便于移动。
二、真空室真空室钟罩采用不锈钢制成，内表面抛光，外表面喷漆处理。
配有一个观察窗，用于观察工件旋转及蒸发源的工作情况。
外壁焊有冷却水管，防止真空室温度过高造成部件损坏；底板采用碳钢表面镀铬制成；钟罩提升方式采用气动升降；真空室内腔尺寸（内径×高）Φ450×540mm；可镀工件直径Φ320mm；真空室内设有照明装置，便于工作期间进行观察工作情况。
真空室内配有不锈钢防污染保护衬板。
三、真空指标（空载冷态）极限压力：1×10-4Pa；恢复真空抽气时间：在连续抽气情况下，从大气至2×10-3Pa≤20min。
四、真空系统采用FF-200/1400分子泵一台及 TRP-36直联式真空泵一台，气动高真空蝶阀及气动角阀等组成。
五、电阻蒸发最多4组水冷蒸发电极，交替蒸发；蒸发功率2.5KW/组；蒸发电压5,10,20V；蒸发电流500,250,125A。
蒸发挡板采用电动控制。
蒸发转换方式主要为气动方式，适合全自动操作。
采用手动遥控盒控制蒸发。
六、直流离子轰击轰击功率0.6KW；轰击电压3400V；用于镀前对工件表面的清洗。
采用手动遥控盒控制轰击。
七、烘烤烘烤方式：上烘烤加热器件：管状加热器烘烤功率：2KW；烘烤温度：200℃采用进口数显温控仪自动测温、控温，PID调节。
八、工件旋转提供两套拱形工件盘，变频调速5～26r/min。
九、真空测量采用ZDF-5227 Ⅱ型复合真空计；采用两只电阻规ZJ-52T及一只电离规ZJ-27。
十、电器部分设有安全保护，各阀门具有互锁保护功能，当水压不足或断水断气具有报警功能。