355nm ZrO_2凝胶色分离光栅的设计和衍射效率测量

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ｎｒｐｔｅｈｏ．Ｔｈｒｔｎｓｒｆａｔｖｎｄｘｗａｅｓｒｄｗｉｈｅｌｐｓｍｅｅａｙｏｍｓｍｔｄｅｇａｉｇ’ ｅｒｃｉｅｉｅｓｍａｕｅｔｌｉｏｔｒ，ａｄｎｌｓｒｃｕｒａａｅｅｓｗｅｅａｑｉｅｙｗｈｉｅｌｇｎｅｆｒｍｅｅＴｈｓａｕｓｗｅｅｔｕｔｅｐｒｍｔｒｒｃｕｒｄｂｔｉｈｔｉｔｒｅｏｔｒｅｅｖｌｅｒ
５．Ｔｈｅｒｔｃｌｒｓｔｉｔｅｅｐｅｉｅｔｅ１３２ｎｍｏｅｉａｅｕｌｓｆｔｈｘｒｍｎｓＷ１
．
Ｋｅｒ：ｄｉｆａｔｏｆｉｉｎｃｙｗｏｄｓｆｒｃｉｎｅｆｃｅｙ；ｃｏｒｓｐａａｉｎｇａｉｇ；Ｚｒ；ｓｌｇｅｏｌｅｒｔｏｒｔｎＯ２ｏ－ｌ
ＤｅｉｎａｆｃｅｙＡｎｌｓｓｓｇｎｄＥｆｉｉｎｃａｙｉｏ５ｆ３５ａｍｏ２ＣｏｏｅｒｔｏａｉｇＺｒｌｒＳｐａａｉｎＧｒｔｎ
ＺＯＵａｇｈ，ＺＨＯＵｎ，ＬＵｕ —ｅＨＥＮＪｎＨＣｈｎ — ｅＢｉＩＣｈｎｚ，Ｓｕ，
。
使用白光干涉仪和
椭圆偏振光谱仪分别测试了光栅的几何结构参数和折射率；制程序计算了光栅的理论衍射效率；建编搭
结果显示，波长为３５对５埘的激光，栅的零级效率接近７Ｖ，对１６ｍ和５２ｎｌ激光，光０ｏ而４ｎ０３ｌ的Ｔ其残留约１％理论计算值与实测结３果符合较好。
收稿日期：０９１－７修回日期：０００ — ０２０—１２；２１～５２
基金项目：上海市教委科研创新项目资助（点项目０Ｚ２）上海市科委启明星跟踪计划项目资助（８重８Ｚ２；ＯＱＨ１Ｏ３４ｚ）；国家科技支撑计划资助项目（０９Ａ２０）新世纪优秀人才支持计划资助项目（ＣＴ０ —４５；海市科委纳米专项资助２０ＢＣ６Ｂ２；ＮＥ一８００）上
—Βιβλιοθήκη Baidu
ｍｅｔｌ．Ｔｈｅｕｔｈｗｈｔｔｅｇａｉｇｓｚｒｒｅｆｉｉｎｙｉｌｓｄｔ０ｆｒｎａｌｙｅｒｓｌｓｓｏｔａｈｒｔ ’ ｅｏｏｄｒｅｆｅｃｓｃｏｅｏ７％ｏｎｃ
３５ｎ５ｍ，ｗｈｌｂｕ３ｏｈｉｈｓｎｔｓｐｒｔｄｗｉｅｐｃｔ６ｍｎｉａｏｔ１％ｆｔｅｌｔｉｏｅａａｅｔｒｓｅｔｏ１０４ｎａｄｅｇｈ
周昌周，鹤，斌刘春泽，军，广明，沈吴张志华
（济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室，海２０９）同上００２
摘要：于光敏凝胶法二元光学元件制作工艺，计制作了ＺＯ。质色分离光栅基设ｒ介
．
ｎｉｐｕｔａｏｐｕａｉｎｔｏｃｍｔｔｏｐｒｇａｏｒｍｔｃｌｕａｅｔｅｏａｃｌｔｈｇｒｔｎ ’ Ｓｔｏｅｉａｄｆｒｃｉａｉｇｈｅｒｔｃｌｉｆａｔｏｎ
ｅｆｃｅｃＩｓｃｌｒｓｐａａｉｎｐｅｆｒｎｃｔａｍｅｖ１ｎｇｈｗａ１ｏｔｓｅｘｅｉｆｉｉｎｙ．ｔｏｏｅｒｔｏｒｏｍａｅａｉｄｗａｅｅｔｓａｓｅｔｄｅＤｒ
第４卷第８４期
２１年８００月
原
子
能
科
学
技
术
Ｖｏ．４，ｏ１４Ｎ．８
Ａｕｇ２１．００
ＡｔｍｉｅｇｉｎｅａｅｈｎｌｇｙｏｃＥｎｒｙＳｃｅｃｎｄＴｃｏｏ
３５ａＺＯ凝胶色分离光栅的５ｍｒ２设计和衍射效率测量
。
光路实测了光栅在设计波长的分频效果，与理论值进行了对比分析并
，
关键词：衍射效率；色分离光栅；ｒ溶胶凝胶ＺＯ；
中图分类号：４４０８文献标志码：Ａ文章编号：００６３（０００ — ９４０１０、９１２１）８０８ — ５
ＴｎＪｉｅｓｔｏｇｉＵｎｖｒｉｙ，Ｓａｇａ００２ｈｎｈｉ０９，Ｃｈ” ）２ｉ。
，
ＡｂｔａｔＺｒｏｌｒｓｐｒｔｏｎｇｒｔｎ（Ｇ）ｗａｖｉｅｙｐｔｓｎｉ￣ｅｓ１ｇｌｂｓｒｃ：Ｏ２ｃｏｅａａｉａｉｇＣＳｓｄｅｓｄｂｈｏｏｅｓｔｖ０－ｅｉ
ＷＵａｇｒｉｇ．ＺＨＡＮＧｈ — ｕＧｕｎ — ｎｕＺｉｈａ
（ｈｈｉｅａＤ＆ｏＹ０ｐｃⅡ ｔｆｉｉｌｉｒｓｒｆ“ ｅＭａｅｉｌｎｆ ∞ Ｚｇ）ＳａｇａＹＬｂｒｔｒｆＳｅｉｌＡｒｉｆｎｃｏ￡“ ｔｒｔｒａ５ｎｄＴｅｈ０．ＫＭ，