首款自主知识产权相变存储器芯片研制成功
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光 学精 密 机械
２１ ０ 第 ２期 （ 第 １ １期 ） １年 总 ２
然后， 科学家利用强磁场扫描隧道显微技术 科学 家 此 次所 使 用 的 材 料 制 备 技 术 等 为 国 对 薄膜进行 测量 。这种 测量 技术 具有 原 子水 际科 学界 进一 步研究 超 导体 提供 了新 工具 。 这项研究成果 已发表在美 国《 科学》 杂 平的空间分辨率和高能量分辨率。 陈 曦在 接 受新 华 社 电话 采 访 时 说 ， 国 志上 。 中
首款 自主 知识 产 权 相变 存储 器 芯 片 研 制成 功
从 中国科学 院上海微系统与信息技术 研究所பைடு நூலகம்悉 ， 国第一款具 有 自主知识 产 我
权的相变存储器 （ Ｃ Ａ 芯片研制成功 ， Ｐ Ｒ Ｍ） 打破了存储器芯片生产技术长期被 国外垄
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３ ・ ５
光 学精密机械
断的局面 ， 产业化前景可观。 据专家介 绍 ， 比于传 统存储 器利用 相 电荷形式进行存储 ， 变存储器 主要利用 相 可逆 相 变材 料 晶态 和非 晶态 的导 电性 差 异 实 现存 储 ， 称为 是 “ 纵原 子 排 列 而 实 现 被 操 存储 ” 的新 型存 储器 。 中国科 学 院上 海 微 系统 与 信 息 技术 研 究 所研 究 员 、 Ｃ ＡＭ 研 究 项 目负 责人 宋 志 ＰＲ 棠表示 ，Ｃ Ａ Ｐ Ｒ Ｍ相变存储器不仅综合 了 目 前半 导 体 存 储 器 市 场 上 主 流 的 Ｄ Ａ Ｒ Ｍ、 Ｓ Ｍ和 Ｆ Ａ Ｈ等存储 器的优 良特性 ， Ａ Ｒ ＬＳ 而 且 还具 有微 缩 性 能 优 越 、 挥发 性 、 环 寿 非 循 命长、 数据 稳定 性强、 功耗低 等诸多优势 ， 被认为是下 一代非挥发存储技术 的最佳解 决方 案 之 一 。 目前 ， 英特 尔、 光、 美 三星 等国际知名 半导体公 司均 在 Ｐ Ｒ Ｍ 产业化进程 中取 ＣＡ 得有 效 进 展 ， 中 美光 有 多 款 替代 Ｎ Ｒ 其 Ｏ Ｆ Ｓ Ａ Ｌ Ｈ的产品， 星已研制 出最大容 量为 三 ５２ １Ｍｂ的 Ｐ Ｒ Ｍ 试 验 芯 片 ， 投 人 量 产 ， ＣＡ 并 在 手机 存 储卡 中开始 应用 。
２１ ０ 第 ２期 （ 第 １ １期 ） １年 总 ２
上海微系统与信息技术研究所 已制成 的 Ｐ Ｒ Ｍ试验芯片存储容量为 ８ ｂ 在 ８ Ｃ Ａ Ｍ， 英寸硅片上的每一块存储芯片， 存储单元成 品率达 ９％以上。经语音演示 ， ９ 已证实该芯 片可 实 现读 、 、 的存 储 器 全 部 功 能 。截 写 擦 至 ２ｌ ０ ０年底 ， 款 Ｐ Ｒ Ｍ相 变 存储 器 已经 该 ＣＡ 获得 ５ Ｏ多项 发 明专 利授权 ，５ １０多项 专利 公 开 ， 专利分 布涵 盖从 材 料 、 构 工艺 、 相关 结 设 计到测 试的芯 片生 产全 部 流程 。专 家表 示 ， 此款 Ｐ Ｒ Ｍ 芯 片将 可取 代 Ｎ ＲＦ Ａ Ｈ 等 Ｃ Ａ Ｏ Ｌ Ｓ 传统存储器 ， 广泛应 用于手机存储 、 射频识 别等 多种消费 型电子产 品中。 宋 志棠 介 绍 说 ， 国半 导 体 存 储 器 市 我 场 规模 目前 已接 近 １０ ８０亿 元 ， 由于 长 期 但 缺乏具有 自主知识产 权 的制造 技术 ， 内 国 存储器生产成本极 为高昂。“ Ｃ Ａ Ｐ Ｒ Ｍ相变 存储器 自主研制成功 ， 我 国的存储 器芯 使 片 生产 真 正 摆 脱 国外 的 技 术 垄 断 。 他 表 ” 示 ， 款 Ｐ Ｒ Ｍ 相 变存 储器 预 计将 于今 年 该 Ｃ Ａ 年 内投入量产 ，我们计划在 １ 内， 中 “ Ｏ年 将 国的存储器 自给率提高到 ６ ％ 。 ０ ”
全 光 谱 太 阳 能 电池
两个吸光层都不需要妥协。 据美国物理学家组织网报道 ， 加拿大科 样 ， 学家表示 ， 他们研发 出了一款新式 的全光谱 该研究 团队在使用 Ｃ Ｄ制造 太阳能电 Ｑ 太 阳能 电池 ， 不 但 可 以吸 收 太 阳发 出 的可 池方 面一 马 当先 ，Ｑ 其 Ｃ Ｄ这 种纳 米 材料 很 容 易 见光 ， 可 以吸收 不 可 见光 ， 理 论 上讲 ， 也 从 转 被调 制来 对 特 定 波 长 的可 见 光 和 不 可 见 光 Ｑ 化效率可高达 ４ ％ ， ２ 超过现有普通太阳能电 作 出反应 。新 式 串联 Ｃ Ｏ太 阳能 电 池 捕 捉 池 ３ ％ 的理 论 转 化 率 。研 究 发 表 在 最新 一 光 波 的波 长 范 围 比普 通 太 阳 能 电 池 更 加 宽 １ 期的《 自然 ・ 光子学》 杂志上。 泛， 因此 ， 理 论 上 讲 ， 转 化 率 可 达 ４ ％ ； 从 其 ２ 此款基 于胶体 量子点 （ Ｑ ） Ｃ Ｄ 的高效 串 相 比之下 ， 最好的单结太阳能电池的最大转 接太 阳能 电池 由加拿 大首席纳米技术科 学 化率仅为 ３ ％ ， １ 而一般位于屋顶或 日常消费 家、 多伦多大学电子与计算机工程系教授泰 产品中的太 阳能电池的转化率仅 为 １％。 ８ 德・ 萨金特领 导的科研 团队研 制而成。论 研制高效的、 成本合理 的太 阳能电池是 “ 文主要作者王希华（ 音译） 表示 ， 该太 阳能电 全球共 同面临的巨大挑战。萨金特说 ： 全 池 由两个 吸光层 组 成 ： 层 被调 制 用 于 捕 捉 球 都需 要转 化效 率超过 １％ 的太 阳能 电池 ， 一 ０ 太阳发出的可见光 ； 而另外一层则可 以捕捉 并希望能显著降低现有光伏组件的零售价 。 太 阳发 出 的不 可 见光 。 最新 进 展提供 了一 条切 实 可 行 的道 路 ， 能 其 萨 金特 介 绍 说 ， 了做 到 这 一 点 ， 团 最 大 限度地捕 捉 太 阳发 出 的各 种光 线 ， 为 该 有望 队用 纳 米 材 料 串联 成 一 个 名 为 分 级 重 组 层 提 高转 化率并 降低 成本 。 ” 的设 备 ， 能往 返运 输 可 见 光层 和不 可见 光 层 萨金特希望 ， ５年 内， 在 将这 款新 的分 之间的电子 ， 有效地将捕捉可见光的吸光层 级重 组层 太 阳 能 电池整 合 人 建筑 材 料 、 机 手 和捕捉不 可见 光 的吸光层 结合在 一起 ， 这 和汽车零 件 中 。
２１ ０ 第 ２期 （ 第 １ １期 ） １年 总 ２
然后， 科学家利用强磁场扫描隧道显微技术 科学 家 此 次所 使 用 的 材 料 制 备 技 术 等 为 国 对 薄膜进行 测量 。这种 测量 技术 具有 原 子水 际科 学界 进一 步研究 超 导体 提供 了新 工具 。 这项研究成果 已发表在美 国《 科学》 杂 平的空间分辨率和高能量分辨率。 陈 曦在 接 受新 华 社 电话 采 访 时 说 ， 国 志上 。 中
首款 自主 知识 产 权 相变 存储 器 芯 片 研 制成 功
从 中国科学 院上海微系统与信息技术 研究所பைடு நூலகம்悉 ， 国第一款具 有 自主知识 产 我
权的相变存储器 （ Ｃ Ａ 芯片研制成功 ， Ｐ Ｒ Ｍ） 打破了存储器芯片生产技术长期被 国外垄
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光 学精密机械
断的局面 ， 产业化前景可观。 据专家介 绍 ， 比于传 统存储 器利用 相 电荷形式进行存储 ， 变存储器 主要利用 相 可逆 相 变材 料 晶态 和非 晶态 的导 电性 差 异 实 现存 储 ， 称为 是 “ 纵原 子 排 列 而 实 现 被 操 存储 ” 的新 型存 储器 。 中国科 学 院上 海 微 系统 与 信 息 技术 研 究 所研 究 员 、 Ｃ ＡＭ 研 究 项 目负 责人 宋 志 ＰＲ 棠表示 ，Ｃ Ａ Ｐ Ｒ Ｍ相变存储器不仅综合 了 目 前半 导 体 存 储 器 市 场 上 主 流 的 Ｄ Ａ Ｒ Ｍ、 Ｓ Ｍ和 Ｆ Ａ Ｈ等存储 器的优 良特性 ， Ａ Ｒ ＬＳ 而 且 还具 有微 缩 性 能 优 越 、 挥发 性 、 环 寿 非 循 命长、 数据 稳定 性强、 功耗低 等诸多优势 ， 被认为是下 一代非挥发存储技术 的最佳解 决方 案 之 一 。 目前 ， 英特 尔、 光、 美 三星 等国际知名 半导体公 司均 在 Ｐ Ｒ Ｍ 产业化进程 中取 ＣＡ 得有 效 进 展 ， 中 美光 有 多 款 替代 Ｎ Ｒ 其 Ｏ Ｆ Ｓ Ａ Ｌ Ｈ的产品， 星已研制 出最大容 量为 三 ５２ １Ｍｂ的 Ｐ Ｒ Ｍ 试 验 芯 片 ， 投 人 量 产 ， ＣＡ 并 在 手机 存 储卡 中开始 应用 。
２１ ０ 第 ２期 （ 第 １ １期 ） １年 总 ２
上海微系统与信息技术研究所 已制成 的 Ｐ Ｒ Ｍ试验芯片存储容量为 ８ ｂ 在 ８ Ｃ Ａ Ｍ， 英寸硅片上的每一块存储芯片， 存储单元成 品率达 ９％以上。经语音演示 ， ９ 已证实该芯 片可 实 现读 、 、 的存 储 器 全 部 功 能 。截 写 擦 至 ２ｌ ０ ０年底 ， 款 Ｐ Ｒ Ｍ相 变 存储 器 已经 该 ＣＡ 获得 ５ Ｏ多项 发 明专 利授权 ，５ １０多项 专利 公 开 ， 专利分 布涵 盖从 材 料 、 构 工艺 、 相关 结 设 计到测 试的芯 片生 产全 部 流程 。专 家表 示 ， 此款 Ｐ Ｒ Ｍ 芯 片将 可取 代 Ｎ ＲＦ Ａ Ｈ 等 Ｃ Ａ Ｏ Ｌ Ｓ 传统存储器 ， 广泛应 用于手机存储 、 射频识 别等 多种消费 型电子产 品中。 宋 志棠 介 绍 说 ， 国半 导 体 存 储 器 市 我 场 规模 目前 已接 近 １０ ８０亿 元 ， 由于 长 期 但 缺乏具有 自主知识产 权 的制造 技术 ， 内 国 存储器生产成本极 为高昂。“ Ｃ Ａ Ｐ Ｒ Ｍ相变 存储器 自主研制成功 ， 我 国的存储 器芯 使 片 生产 真 正 摆 脱 国外 的 技 术 垄 断 。 他 表 ” 示 ， 款 Ｐ Ｒ Ｍ 相 变存 储器 预 计将 于今 年 该 Ｃ Ａ 年 内投入量产 ，我们计划在 １ 内， 中 “ Ｏ年 将 国的存储器 自给率提高到 ６ ％ 。 ０ ”
全 光 谱 太 阳 能 电池
两个吸光层都不需要妥协。 据美国物理学家组织网报道 ， 加拿大科 样 ， 学家表示 ， 他们研发 出了一款新式 的全光谱 该研究 团队在使用 Ｃ Ｄ制造 太阳能电 Ｑ 太 阳能 电池 ， 不 但 可 以吸 收 太 阳发 出 的可 池方 面一 马 当先 ，Ｑ 其 Ｃ Ｄ这 种纳 米 材料 很 容 易 见光 ， 可 以吸收 不 可 见光 ， 理 论 上讲 ， 也 从 转 被调 制来 对 特 定 波 长 的可 见 光 和 不 可 见 光 Ｑ 化效率可高达 ４ ％ ， ２ 超过现有普通太阳能电 作 出反应 。新 式 串联 Ｃ Ｏ太 阳能 电 池 捕 捉 池 ３ ％ 的理 论 转 化 率 。研 究 发 表 在 最新 一 光 波 的波 长 范 围 比普 通 太 阳 能 电 池 更 加 宽 １ 期的《 自然 ・ 光子学》 杂志上。 泛， 因此 ， 理 论 上 讲 ， 转 化 率 可 达 ４ ％ ； 从 其 ２ 此款基 于胶体 量子点 （ Ｑ ） Ｃ Ｄ 的高效 串 相 比之下 ， 最好的单结太阳能电池的最大转 接太 阳能 电池 由加拿 大首席纳米技术科 学 化率仅为 ３ ％ ， １ 而一般位于屋顶或 日常消费 家、 多伦多大学电子与计算机工程系教授泰 产品中的太 阳能电池的转化率仅 为 １％。 ８ 德・ 萨金特领 导的科研 团队研 制而成。论 研制高效的、 成本合理 的太 阳能电池是 “ 文主要作者王希华（ 音译） 表示 ， 该太 阳能电 全球共 同面临的巨大挑战。萨金特说 ： 全 池 由两个 吸光层 组 成 ： 层 被调 制 用 于 捕 捉 球 都需 要转 化效 率超过 １％ 的太 阳能 电池 ， 一 ０ 太阳发出的可见光 ； 而另外一层则可 以捕捉 并希望能显著降低现有光伏组件的零售价 。 太 阳发 出 的不 可 见光 。 最新 进 展提供 了一 条切 实 可 行 的道 路 ， 能 其 萨 金特 介 绍 说 ， 了做 到 这 一 点 ， 团 最 大 限度地捕 捉 太 阳发 出 的各 种光 线 ， 为 该 有望 队用 纳 米 材 料 串联 成 一 个 名 为 分 级 重 组 层 提 高转 化率并 降低 成本 。 ” 的设 备 ， 能往 返运 输 可 见 光层 和不 可见 光 层 萨金特希望 ， ５年 内， 在 将这 款新 的分 之间的电子 ， 有效地将捕捉可见光的吸光层 级重 组层 太 阳 能 电池整 合 人 建筑 材 料 、 机 手 和捕捉不 可见 光 的吸光层 结合在 一起 ， 这 和汽车零 件 中 。